任氏巨源WBMW-QXCJ4微波化学气相沉积炉
任氏巨源WBMW-QXCJ4微波化学气相沉积炉

¥10万 - 30万

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WBMW-QXCJ4

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中国大陆

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核心参数

产地类别: 国产

型号/model

WBMW-QXCJ4

可加热材料

                非易燃易爆的任何材料

微波频率

2.45GHZ±50MHz

加热方式

纯微波加热、传统电加热、混合加热

最大功率/KW

4  (功率可调)

温度测试元件

微波场专用传感器/红外测温可选

控温精度/

±2微波场专用传感器

加热管材质

石英管

高温合金管

刚玉管

加热温度/

1200

1200

1600

管径(外径/内经X长度)/mm

?45/?35×1200,可选配,最大外径?60mm

加热速度(最高)

200

升温速率不限

50

恒温区长度

标配恒温区长度10mm,恒温去长度10mm1000mm以上可选

温区

可多温区同时加热

气路法兰

不锈钢法兰

质量流量控制

           美国Alicat质量流量&控制器

           七星华创质量流量&控制器

            气柜、气路及各类阀门,

         可配套计算机自动控制系统及软件

气路数量

2路或3

流量范围

0-1SLM(标准升/分,可选配)氮气标定

精度

±0.2%F.S

响应时间

1sec

工作压力

进气压力0.05-0.35Mpa(表压力),流量规格≤10SLM

系统连接方式

采用KF快速连接波纹管、高真空手动挡板阀及数显真空测量仪

规格

高真空

系统真空范围

标准大气压~10-3Pa

真空泵

简单机械泵抽真空和不锈钢法兰

10-1Pa真空用高档机械泵及真空计

10-2Pa真空用高档机械泵、扩散泵及真空计

10-3Pa真空用高档机械泵、分子泵及真空计

炉腔尺寸/mm

700×350×530

加热腔标配

根据管径、加热区长度、加热温区数量确定

升温速率(标配)

01000/min可根据实际任意设定,可编程、分段加热

外型尺寸/mm

15007501560

微波泄漏/  mW/

0.4 

提供相关配件

高温手套×1中文说明书×1

保质期

                   整机免费保修1


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