美国ZYGO 3D表面台阶/轮廓仪

美国ZYGO 3D表面台阶/轮廓仪

特点:

◆快速非接触式扫描

◆亚微米级Z轴分辨率

◆先进的高精度测量能力

◆超强光学图像

系统:

◆原理: 非接触、三维白光扫描干涉仪

◆扫描装置: 闭环反馈压电陶瓷，高线性电容传感器

◆视场范围: 标准配置：0.07-9.3mm；如选配1K Camera：0.15-14.5mm；通过拼接功能可获得更大测试范围;具体视场范围取决于所配物镜.

◆光源: 均匀成像，高效率，特殊设计长寿命白光LED物镜座标配:可快速装卸单物镜夹具；

◆控制 :滤光板托架，视场光阑（辅助聚焦）测量阵列: 标配640×480 像素；选配992×992（1k）像素样件观察: 专用液 晶显示屏实时观察.

◆精密聚焦 :电控手动和自动聚焦

◆Z 轴驱动:直流无刷微步进电机驱动，200mm 行程，0.1μm 精度

◆尺寸:系统尺寸：157×132×2225px;

◆NewView：81×58×1025px

◆重量 :系统重量：约430Kg

◆附件（可选配）:物镜: 1 × ,2 × ,2.5 × ,5 × ,10 × ,20 × ,50×,100×,具体规格见物镜参数表

◆物镜座: 手动 6 位塔台；电控 6 位塔台；

◆样品台: 手动,俯仰,倾斜(±6°)和X,Y 平移(100mm)；电动,俯仰,倾斜(±4°)和X,Y 平移(152mm)；

◆测量标准块:横向校准标准块； 精密横向校准标准块；