日本小坂全自动 微纳米测量 接触式 探针式 台阶仪 轮廓仪ET200A
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¥45万

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小坂研究所

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ET200A

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亚洲

核心参数
  • 最大样品尺寸: 中200mm×高度52mm
  • 台面尺寸: φ160mm,手动回转(粗动360°,微
  • 倾斜调整范围: ±2°(X/Y手动)
  • 最大承载质量: 2kg
  • 测定力: 10μN-500μN(1mg-50mg)
  • 测定范围: 600μm
  • 感测方式: 差动变压器采直动式运动轨迹
  • 垂直分辨率: 0.1nm(6.4μm垂直范围下)
  • X轴扫描长度: 100mm
  • X轴直线精度: 0.2μm/100mm以下
  • X轴扫描速度: 0.005-20mm/s
  • X轴每次扫描数据点: 最大1.000.000点
  • X轴取样率: 2000HZ
  • Y轴驱动距离·方式: 25mm/电动(Max 2.0mm/s)
  • Y轴定位分辨率: 1μm
  • Y轴定位再现性: ±5μm
  • Y轴直线精度: 3μm/25mm以下
  • 量测软件(i-sta: 3D专用 测量软件
  • 观察部: 彩色CCD
  • 倍率: 固定式约135倍(使用8寸显示器时)
  • 视野: 1.2×0.9mm
  • 解析项且: 合阶解析/粗糙度各种规格解析/应力分析
  • 重现性(台阶测定): 1o1nm以内(600μm全行程范围,但
  • 电源: AC90-240V50/60HZ(不包括
  • 设备主体外观尺寸和质: W500×D440×H630mm约120


售后服务承诺

产品货期: 7天

整机质保期: 6月

培训服务: 提供付费培训

安装调试时间: 到货后15天内

电话支持响应时间: 24小时内

是否提供维保合同:

维修响应时间: 15天内

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