KEYENCE高清晰度电子显微镜3D
 KEYENCE高清晰度电子显微镜3D

¥50万 - 100万

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VE­9800

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亚洲

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核心参数

功能特点:

无需蒸金等前处理即可观察

◆ 使用以往的 SEM 进行观察时需要进行蒸金等前处理,因其会破坏测试材料,所以不能用于观察正在进行评价的试作品,蒸金等前处理可能会导致测试材料变质,有时不能进行正确观察。VE 系列则无需蒸金等前处理就可轻松进行正

确观察。

可清晰观察测试材料最表面部分
◆ 除可使用高加速电压外,还可使用低加速电压进行观察
◆ 使用低能量的电子光束观察测试材料表面所获得的图像可不受测试材料内部的组成和材质影响,正确再现测试材料表面。
被高能量的电子光束消除的细微形状也可清晰捕捉,从而进行更详细的解析。

将测试材料的损伤降至最小
◆ 尽可能抑制变形或对材料的损伤,可进行更正确的观察用于观察的电子光束的能量很低,所以可以将对测试材料的损伤或变形降至最小。这对怕热和含水分的测试材料观察特别有效,不仅可以详细观察表面形状,也可正确观察其初始状态.

技术参数:

型号VE-9800
倍率15-100000
观察范围9 (H) × 7 (V) mm-1.3 (H) × 1 (V) μm
辨识能力8 nm
观察图像两次电子图像·反射电子图像
观察模式高真空·低真空(3-260 Pa
显示辨识能力观察时640 (H) × 480 (V)
摄影时1280 (H) × 960 (V)
帧频4.5F/S(观察时)
图像保存形式2D 图像TIFF·JPG
3D 图像TIFF·JPG·EXE(附带播放功能)·AVI(动画)
加速电压0.520 kV
电子束电子束 钨丝夹·牵引盒式
最大测试材料尺寸φ64 mm
测试材料载物台5 轴(X·Y·Z·旋转·倾斜)优先选择式(X·Y·电动倾斜轴)
X :32mm·Y:32mm·Z:8-30mm·旋转:360°·倾斜:-10+90°
测试材料室内状况确认功能彩色摄像机
控制部专用工作站 OS: Window XP Professional SP2
电源电源电压AC100 V ±10% 50/60 Hz
消耗功率1500 VA 以下
环境适应性使用周围湿度15,+30
使用周围湿度70% 以下(不能结露)
外形尺寸本体宽 395 × 高 957 × 长 670 mm
外部泵宽 500 × 高 365 × 长 170 mm
质量本体约 125 kg
外部泵约 27 kg


 

 

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