March AP-600 等离子清洗机

March AP-600 等离子清洗机

特点和优势

* 触摸屏控制，图形用户界面显示实时工艺信息

* 灵活的电极布局适用于各种不同的零件、元件或载具

* 13.56 MHz 射频发生器带自动调谐网络，提供良好的工艺重复性。

* 方便的厂务设施连接，用于验证工艺的定期校准需求。

先进、紧凑的桌面结构等离子处理 

诺信MARCH的AP-600 等离子清洗机系统是设计用于提供均匀的等离子清洁和处理。具有良好的操作简单性、可靠性，以及更低的设备成本。

AP-600是完全自包含的系统，最小化占用桌面的面积。系统机架将等离子腔体、电子控制、13.56 MHz射频发生器、自动调谐网络（仅仅真空泵是独立于系统之外的）都包含在内。设备维护是通过一个互锁门和可拆箱面板来进入设备内部的。

等离子腔体是由高质量的铝和铝固定装置构成的，具有良好的耐用性。等离子腔体支持最多达到7层可以移动电源或接地电极板，以适合广泛的零件、元件、载具、托盘、料盒或各种舟。

等离子清洗，表面活化和附着力改善

AP-600系统适合多种多样的等离子清洗、表面活化和改善附着力等应用。这些能力可以用于半导体制造、微电子封装和组装、医疗设备和生命科学器件的制造等。

AP-600系统能够适合广泛的工艺气体，包括氩气、氧气、氢气、氦气及氟化气体。通过2个标准配置的气体流量控制器控制用于良好的气体控制。系统还可以选配2路气体，即最多可达4路。

规格: 

外形尺寸

W (宽)x D(长) x H(高)–占地面积        569(宽) x 869(进深) x 704(高) 毫米 

净重                           221公斤 (487磅)

设备间隙                        右侧、左侧、前面–至少 569毫米，后面–至少254毫米

处理腔体

最大容量                        50.4 升

多钟电极配置                        电源-接地、接地-电源、电源-电源

电极插槽数                        7

电极间距                        25.4毫米

电极

电源电极面积                        330(宽) x 330(进深) 毫米

多孔接地电极面积                        368(宽) x 330(进深) 毫米

悬浮电极面积                        330(宽) x 330(进深) 毫米

射频电源

标配电源                        600 W

频率                                13.56 MHz

气体控制

流量计                                10, 25, 50, 100, 250 或 500 sccm(标准毫升每分钟)

MFC最多可配置数量                4

控制和接口

软件控制                        PLC 控制，触摸屏界面

远程接口                        PlasmaLINK, ProcessLINK

真空泵

标配油泵                        19.5 cfm(立方英尺/分钟)，配有氧油除雾器

选配油泵                        19.5 cfm(立方英尺/分钟)，配有防锈油除雾器

选配干泵                        22cfm (立方英尺/分钟)

干泵净化氮气用量                2slm (升/分钟)

厂务设施

电源供应                       110 VAC，20A，50/60Hz，单相，12AWG，3线；或220 VAC, 10A，50/60 Hz，单相，12 AWG，3线

工艺气体管径及接口类型                外径6.35毫米(0.25英寸)，Swagelok管

工艺气体纯度                        实验室或电子等级

工艺气体压力                        最小0.69 bar (10 psig)至最大1.03 bar (15 psig)，可调节

净化气体管径及接口类型                外径6.35 毫米(0.25 英寸)，Swagelok管

净化气体纯度                        实验室或电子等级N2/CDA

净化气体压力                        最小2 bar (30 psig) 至最大6.9 bar (100 psig)，可调节

气动阀接口及管径                外径6.35 毫米(0.25 英寸)，Swagelok管

压缩空气纯度                        CDA、无油、露点温度 ≤7°C (45°F)，微粒直径 <5 μm

压缩空气压力                        最小3.45 bar (50 psig) 至最大6.89 bar (100 psig) ，可调节

排气                                外径38毫米(1.5 英寸)管道法兰

符合标准

半导体                                通过S2/S8 (环境&健康/人体工程学)认证

国际                                通过CE认证

辅助设备

气体发生器                        氮气氢气(需要其它不可选硬件)

设施                                冷却器、洗涤器