智能型多功能椭偏仪Smart SE

Smart-SE是一台具有价格优势的光谱型椭偏仪，它采用液晶调制器来调制偏振光，而不是传统椭偏技术中的机偏光械偏光装置。
这一技术提供了一台非常快、非常准确而又非常简洁、非常容易操作的椭偏仪。
Smart-SE光谱型椭偏仪在全谱范围内椭偏数据的获得以及一次测量（少于2秒的时间内）全16个元素Mueller矩阵的计算方面有着显著的优势。
因此，可高准确性和高精度地被获得椭偏角 Y 和 D数据。

创新点:
1.专利保护MyAutoView的光斑可视功能,可对薄膜样品直接观测测量光斑和样品表面,简单直接,提高测量精确度。直接观测测量点,可极快地准确判断测量点位置,避免光斑落在污点处,同时对于有图形的薄膜，配合自动平台，可以准确地定位微光斑，快速地进行椭偏测量。
2.采用反射式结构(无色差)微光斑技术,对于激发波长均保证光斑大小相同。6种光斑尺寸,极大地提供了空间分辨率。

規格
Smart-SE光谱型椭偏仪提供多种实验功能，包括：
*离线和在线配置
*一系列附件和自动选件，与UVISEL光谱型椭偏仪完全通用
DeltaPsi2软件用来控制Smart-SE光谱型椭偏仪。DeltaPsi2集成了一整套模型和分析数据库，既适用于椭偏仪初学者，又可以为数据采集和分析设定自动程序来实现快速分析。
Smart-SE是半导体、光学镀膜、化学、生物和在线实时控制等应用的理想选择。
应用
*在可见光范围内薄膜和多层结构的厚度、光学常数分析：
- 介质
- 无定形半导体
- 聚合物
- 金属薄膜
- 玻璃