无论样品的大小如何,Agilent 5600LS 大镜台 AFM 都能够交付高分辨率的结果。 多功能 5600LS 是全球唯一一款商用 AFM,结合使用 AFM 和 STM 扫描仪可支持大样品(在空气中)和小样品(在温度控制下,空气中或液体中)的成像。
5600LS 采用可完全寻址的 200 毫米 x 200 毫米镜台和全新的低噪声设计。 真空卡盘可轻松置入直径达 8 毫米,高 30 毫米的样品。 通过重新定位,镜台可容纳 300 毫米的晶片。 5600LS 是研究人员的理想工具,可用于半导体、材料科学、生命科学研究等纳米技术应用。
5600LS 系统可编程电动镜台可快速、精确地定位探头,以进行大小样品的成像和映射。 研究人员可准确地定位和识别感兴趣的区域,储存坐标,并快速、精确地自动重新定位样品以备进一步研究使用。
优势
方便的适用于8英寸或12英寸的样品
实现原子级的分辨率
极其的自动化设计,使用非常简单
样品台纳米级的步进精度,且全闭环控制
重复定位精度极高
特殊的设计,能提供超小的热漂水平
应用
电子材料
半导体材料
数据存储材料
材料科学
聚合物科学