酷塞目EM-30台式扫描电镜

   产品简介

       EM-30是一款高分辨台式扫描电镜，拥有EM-20型全部优秀特征以外，加速电压调节范围扩展到30KV，首先对于选配EDS的用户，分析能力获提升，其次获得更高电子光学分辨能力，有效放大倍数进一步提高。另外EM-30样品台增加了马达驱动倾斜台，由酷塞目[COXEM]NanoStation计算机导航自动操作，不但可实现立体对观察，而且通过对样品台精细地调节角度，可使用样品室SE探测器获得良好的背散射电子图像。  
       

技术特点：
      *自动高亮度电子枪，全数字化高压电源，0.5KV~30KV范围内随意调节；
      *聚光镜精细控制 Spot size设置10档调节；
      *圆锥形物镜，具有更高分辨性能；
      *四孔可变光阑，分别用于高分辨观察和不同的分析目的。
      *实时灰度直方图，自动亮度对比度；
      *X Y Tilt , 3 轴自动样品台  
      *可选Bse探测器、低真空功能和能谱仪。
      *酷塞目NanoStation操作软件，内含丰富的图像编辑处理功能

技术指标：

分辨率 : 5.0nm @30KV  SE Image

         10nm @30KV Bse Image (option)  

放大倍数 : x20 ~ x100,000                                           
探测器:  E-T型二次电子探测器
         高灵敏四分割半导体背散射电子探测器 （option）

加速电压: 0.5-30kv

电子枪 : 自动控制，钨丝阴极, 预对中灯丝 ,最大发射电流  ~150?

磁透镜系统 :聚光镜+物镜

物镜光阑 : 4位可移动，摇摆对中

扫描光栅电位移及旋转： +/-50um ，0~360°
样品室: 6个接口，可接配内置外置EDS.
样品台：三轴马达驱动，
         X (35mm),

         Y (35mm),
         Tilt (0~45°)    
         Z向手动（0-50mm）

样品尺寸(最大) : 直径70mm 高度45mm                                

扫描模式

    - 选区 (320 x 240 pixel)
    - TV全屏扫描模式：（640 x 480pixel）

 - 三档全屏慢扫描模式 (800 x 600 pixel)
    - 照相模式：1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840pixel
    -示波器扫描模式

图像格式 : JPG, TIFF, BMP                                                   

图像显示器: 21.5" LCD Monitor                                        

自动控制功能：

   - 电子枪饱和

 - 电子枪对中
 - 电子枪偏压

   - 亮度对比度

   - 聚焦

工作距离 : 4 ~50mm

真空系统 : 全自动 (真空时间: 小于2分钟)

   - 前级真空: 旋片式机械泵

   - 高真空 : 涡轮分子泵  4X10^-3 Pa
   - 低着空模式：样品室 1-100Pa  （option）

控制系统 : USB通讯接口计算机控制,Dell i5 PC, 21.5英寸显示器，独立显卡 2G内存，操作系统 : Windows 7 

图像处理分析软件 :
   -  图像标注编辑存储

   - 长度、角度，面积等测量功能
   - 实时图像灰度直方图显示

主机尺寸：400Wx600Lx550H mm

主机重量：80kg