酷塞目EM-20台式扫描电镜

产品简介

    EM-20是一款高分辨率台式扫描电镜，标配SE探测器，观察微观区域精细表面形貌，同时可选配BSE和EDS，表征微区成分信息，可扩展低真空观察模式，非导电样品直接用Bse探测器观察，免制备导电膜层。

             接配EDS                              四通道BSE探测器

    EM-20扫描电子显微镜使用当前最先进的电子光学设计，自动控制技术，二次电子分辨率达到7nm@20KV，
    
           高分辨率 大景深,精细表面形貌                             标配测量工具
    EM-20扫描电镜标准配置两轴马达驱动样品台，高速涡轮分子泵真空系统，电子光学系统调节，全部由酷塞目[COXEM]NanoStation计算机导航自动操作。除了自动功能以外，EM-20扫描电镜还提供给更加专业的用户所有手动调节功能，使得EM-20几乎具备大型机所有的调节功能，从而获得更加专业的图像品质。有别于其他“傻瓜”型台式扫描电镜，EM-20是一台“单反”型产品。

NanoStation操作软件 

技术特点：

      *自动高亮度电子枪，全数字化高压电源，0.5KV~20KV范围内随意调节；
      *聚光镜精细控制 Spot size设置10档调节；
      *圆锥形物镜，具有更高分辨性能；
      *四孔可变光阑，分别用于高分辨观察和不同的分析目的。
      *实时灰度直方图，自动亮度对比度；
      *X Y 两轴自动样品台  
      *可选Bse探测器、低真空功能和能谱仪。
      *酷塞目NanoStation操作软件，内含丰富的图像编辑处理功

技术性能：

分辨率 : 7.0nm @20KV SE image

         15nm@20KV   Bse image（option）

放大倍数 : x20 ~ x80,000                                           

探测器:  E-T型二次电子探测器
         高灵敏四分割半导体背散射电子探测器 （option）

加速电压 : 0.5-20KV

电子枪 : 钨丝阴极, 预对中灯丝

磁透镜系统 :聚光镜+物镜

物镜光阑 : 4位可移动，自动摇摆对中

图像电位移，电旋转： +/-50um WD=5mm，R ±360°
样品室:SE探测器，EDS探测器,Bse探测器等六个接口

样品台：XY两轴马达驱动样品台         

       行程：X (35mm), Y (35mm), 手动Z (5 ~ 50mm)

样品尺寸(最大) : 直径70mm 高度45mm                                

扫描模式

    - 选区 (320 x 240 pixel)    最快30帧/秒
    - TV全屏扫描模式：（640 x 480pixel）  最快10帧/秒

 - 三档全屏慢扫描模式 (800 x 600 pixel)
    - 照相模式：1280 x 960，2560 x 1920，5120 x 3840pixel
    -示波器扫描模式

图像格式 : JPG, TIFF, BMP                                                   

图像显示器: 21.5"                                          

自动控制功能：

   - 自动电子枪饱，一键成像

 - 电子枪对中
 - 电子枪偏压

   - 亮度对比度

   - 聚焦

工作距离 : 4 ~50mm

真空系统 : 全自动 (真空时间: 小于2分钟)

   - 前级真空: 旋片式机械泵

   - 高真空 : 涡轮分子泵
   - 低真空模式：样品仓1-100pa （option）

控制系统 : USB通讯接口计算机控制, 戴尔i5CPU品牌机.

      操作系统 : Windows 7 

图像处理分析软件 :
   - 图像标注编辑存储

   - 长度、角度，面积测量
   - 实时图像灰度直方图显示

主机尺寸：400Wx600Lx550H mm

主机重量：80kg