产地类别： 进口
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驰奔仪器，DESK-V型小型离子溅射仪，是一款高级低真空磁控溅射镀膜装置，广泛用于钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜样品制备或电极镀膜实验。采用专利的阳极保护栅网，实现镀膜过程中样品表面保持常温状态，是没有热损伤的冷溅射平台。该溅射仪具有等离子清洗刻蚀功能。也可选配碳蒸发附件。
主要功能：
1、精细磁控溅射镀膜
2、样品等离子刻蚀清洗
3、蒸碳镀膜
主要特点：
1、大的溅射样品室，获得更稳定的真空环境，镀膜质量更高。
2、对样品无热损伤的冷溅射。
3、样品等离子刻蚀功能，一个手动控制挡板降低样片在刻蚀过程中受到的污染。
4、基于PLC的强大控制系统，全部触摸屏操作，可手动、半自动控制、全自动控制。
5、具有高压真空互锁安全机制
6、标准的操作软件，实时监控各部件状态，方便技术支持，节约用户费用。
性能指标：
| 标准配置 | 描述 |
| 样品室 | φ150mm X 150mm(H) 耐热玻璃真空室 |
| 靶材 | 金GOLD或金钯合金GOLD/PALLADIUM（随机）φ50mmX0.1mm |
| 样品台 | φ50mm 旋转样品台 |
| 溅射电流 | 0-100mA |
| 真空规 | 皮拉尼 |
| 溅射气体 | 空气或氩气 |
| 真空泵 | 85L/Min 机械泵 |
| 选配 | |
| 膜厚监控 | 石英晶体膜厚监控器 |
| 样品台 | φ75mm 旋转样品台 |
| φ100mm旋转样品台（选此台，膜厚监控器无法安装） | |
| 旋转倾斜样品台 （选择此台，无法实现样品刻蚀功能） | |
| 蒸碳附件 | 碳棒或碳丝绳 |
