产地类别： 进口
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驰奔仪器：DESK-V TSC型小型离子溅射仪，是一款桌面高真空直流磁控溅射镀膜装置，广泛用于钨灯丝扫描电镜、超高分辨场发射扫描电镜或透射电镜样品制备或高质量镀膜试验。采用专利的阳极保护栅网，实现镀膜过程中样品表面保持常温状态，对样品无热损伤的冷溅射。该溅射仪具有样品等离子清洗刻蚀功能。可选配蒸碳附件用于高质量TEM碳支持膜制作。
主要功能：
1、精细、超精细磁控溅射镀膜（取决于靶材）
2、样品等离子清洗刻蚀
3、蒸碳镀膜
主要特点：
1、磁控溅射速度快。对于扫描电镜或透射电镜制样，抽真空-溅射-泄真空3分钟完成。
2、镀膜质量更高，可获得精细晶粒膜层，膜层结合力强度高。可使用结晶更细小的金属靶材。
3、对样品无热损伤的冷溅射。
4、样品等离子刻蚀功能，一个手动控制挡板降低样片在刻蚀过程中受到的污染。
5、基于PLC的强大控制系统，全部触摸屏操作，可手动、半自动控制、全自动控制。
6、真空高压互锁安全机制
7、标准的操作软件，实时监控各部件状态，方便技术支持，节约用户费用。
性能指标：
| 标准配置 | 描述 |
| 样品室 | φ150mm X 150mm(H) 不锈钢真空室，带观察窗 |
| 靶 | 金GOLD或金钯合金GOLD/PALLADIUM（随机）φ50mmX0.1mm |
| 样品台 | φ50mm 旋转样品台 |
| 溅射电流 | 0-100mA |
| 真空规 | 皮拉尼+热电偶 |
| 溅射气体 | 氩气 |
| 真空泵 | 85L/Min 机械泵 |
| Pfeiffer 70 lps涡轮分子泵 | |
| 15分钟抽到5E-6Pa 极限真空---金属密封 | |
| 选配 | |
| 膜厚监控 | 石英晶体膜厚监控器 |
| 样品台 | φ75mm 旋转样品台 |
| φ100mm旋转样品台（选此台，膜厚监控器无法安装） | |
| 旋转倾斜样品台 （选择此台，无法实现样品刻蚀功能） | |
| 蒸碳附件 | 碳棒或碳丝绳 |
