论疫情之下的电镜产业喜迎“小肥羊”TESCAN

记得2000年刚入行的时候，上手的电镜以日本的居多，像Topcon, ABT, Jeol, Shimadzu等，整体印象是电路板一水地PinThrough Hole工艺，Troubleshooting的时候可以热插拔，更换可以到元器件的程度；稍晚时期碰到的电镜还有Cambridge Instrument S240和S360，深刻印象就是写字台大的面板上满布按键和旋钮，底下也是满柜子的PTH电路板，使起来比日系的手感好，有开机器的快感；再后来就见到了Phillips的XL30，Leo S440和TeScan的Vega；Vega给我最初的印象是镜筒上一反三个聚光镜的传统设计，增加了一个“Intermediate Lens”中间镜，作用是协助偏转系统增大偏转角度，加大低倍下的FOV；后来又接触到了TeScan的与众不同的YAG高效背散射探头，这更让人认识到这是一家喜欢”另辟蹊径“，”标新立异“的厂家；但依旧没有脱离”廉价“，捷克”第二世界“的印象；即便是在2005年推出了场发射电镜后，甚至2007年推出了第一台FIB，TeScan依旧没有摆脱这样的形象；我想不少业内朋友也会有跟我差不多的对TeScan的印象；

那时候的TeScan在中国还是代理制，老方的三大徒弟之一的黄老板在国内卖了有好一阵子，销售比起同时期的LEO和FEI，还有日系的，还是抬不起头来；TeScan中国2009年成立，团队焕然一新，也嗷嗷待哺，急需上一批新产品来一改形象；

TeScan是从2013年跟法国FIB厂家Orsay physics合并后才开始发力，展露其“野心“的；Orsay原来是Zeiss FIB镜筒的原配，后来Zeiss看上了美国波士顿的ALIS公司，并购后与Orsay离婚；TeScan的扩张理念正好与被抛弃疗伤中的Orsay一拍即合，从此TeScan也就改名叫TeScan Orsay了；同年新婚之后的TeScan一路开挂，RISE的推出让人眼前一亮，原来电镜也可以这样跟跨界仪器Hybrid；TeScan自此一炮走红，愈发不可收拾，紧接着照方抓药，推出了TOF-SIMS电镜一体机，这两个爆款机奠定了TeScan在电镜“All in One“市场先行者的地位，TeScan也默默地被接纳成为电镜四大家之后的老五；

随着水涨船高，TeScan中国开始对用户和同行具有吸引力，根据需求研发的产品被证明生命力十足；来自Zeiss，甚至Thermo的用脚投票的也此起彼伏；TeScan收获了有生第一轮高潮；

TIMA作为“All in One“团队的重要一员，不仅帮着夯实了TeScan在这个方向的形象，也协助其尝鲜专业细分市场；2020年随着脱离FEI的Paul Gottlieb的QemSCAN老根的加入，得到了地质找矿新老客户的一致回归和首肯；国内的自动化找矿专业长期不受重视，TIMA叫好不叫座，令人唏嘘；

TeScan真正令人刮目相看的是在2018年对比利时XRE的收购，敏锐的行业嗅觉又一次让其做出了大手笔的决定；这一次它赶上了Zeiss对Xradia收购, Bruker对SkyScan收购的步伐，一次次的出手越来越像一个老手和大佬；

2021年，TeScan推出的初代EBL模组，让人重新定位了这家“东欧“厂家；EBL设备作为SEM仪器的专用升维产品，探首光刻，成为六家EBL厂家后的葫芦娃老七；这项Lanuch让人直接感受到TeScan对加入半导体市场的渴望；

回过头来重新看过传统电镜市场的五大家：除了Hitachi可以用稳如磐石的CDSEM在“无损、在线、原位“要求的半导体量测第一梯队市场独步之外，Thermo也被承认是第二战队的成员；缺乏电子束量测在半导体领域的耕耘，Thermo用的敲门砖是TEM+FIB，做的是”切割、离线、截面“式的量测；缺乏电子束量测手段来自上下游的配套，如光学量测、物理探针量测、X射线量测的全方位立体式的支持，Thermo在它的半导体之路上会增量有限；

另外一家原本有全套家底的厂家Zeiss，在2008就自卸下半身，砍掉了TEM，留下的FIB独木难支；早期供货Gemini镜筒给Raith做EBL，近期又供货JY做CDSEM，本尊却早早撤离SMT半导体分支，又将显微镜部撤编并入工业测量，步步退群半导体；与之截然相反的TeScan对Zeiss TEM的专利接盘由来已久，这是它对进军半导体领域的独具慧眼；

2016年6月份，ASML斥资1000亿新台币（约33亿美元），并购了HMI，成为半导体集成电路及光刻和量测为一身的绝世高手；同年9月，Thermo用42亿成功并购FEI，FEI一骑蹿红，成了世界第一的电镜厂家；Thermo本想趁热打铁，在2019年再接茬并购拥有关键电子光学能量过滤器EFTEM，电子直读检测DED和能量损失谱EELS技术的Gatan，不想被英国商务部叫停流产；Gatan从突然被卖，到被Thermo撩得奇痒，到主动插标卖首寻找下家，市场不负有心人，在同年10月以近10亿嫁妆成功入赘Ametek；这三家“小肥羊“的成功并购被看作是高端仪器市场通过资源整合提升自身的良性手段案例；

TeScan是捷克的电子光学三个分支中硕果仅存的一支，从上面这封TeScan总裁的内部公示信里，我们不难看出TeScan对自身定位和发展的布局由来已久；据业界消息，此次并购开价只有5亿欧元，感兴趣的买家居然有25家之多；对于一家如此专业和被用户认可的公司，这是不是估值太低了呢……，祝福TeScan疫情之下以金刚不坏之身，顺利合体。