半导体&电子测试测量,投稿:kangpc@instrument.com.cn
近日,东方晶源举行百日会战战区总结表彰大会,对做出突出贡献的个人和团队给予嘉奖。本次表彰大会主要针对电子束装备战区和HPO软件战区,此次百日会战成功实现了关键尺寸量测设备(CD-SEM)的顺利出机、EBI和CD-SEM配套软件的研发升级和从0到1完成离线数据分析系统oDAS的研发。
据了解,东方晶源微电子科技(北京)有限公司成立于2014年,总部位于北京亦庄经济技术开发区,是一家专注于集成电路良率管理的企业。今年7月份,东方晶源实现了国内首台关键尺寸量测设备(CD-SEM)出机中芯国际,标志东方晶源继2019年攻克电子束缺陷检测技术后,再一次取得了重大产品技术突破,填补了国内关键尺寸量测设备(CD-SEM)的市场空白。
东方晶源的关键尺寸量测设备(型号:SEpA-c410)面向300mm硅片工艺制程,通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案,搭配精准的量测算法,可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。进驻中芯国际后,将通过实际产线验证,进一步提升、完善设备性能,向产业化目标整体迈进。
而离线数据分析系统oDAS集数据的创建、传输、管理、分析和监控于一体,可实现Fab客户在工艺开发阶段对数据进行智能化管理和处理,是效率和良率提升的关键软件之一。
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