打破国外垄断，首台国产低能离子注入机顺利完成验证

在全球产能紧缺以及半导体国产化的浪潮下，国产半导体正面临前所未有的发展机遇，尤其是国产半导体设备中的离子注入机，近期好消息不断。

8月27日，万业企业披露财报，根据财报显示，在过去半年，万业企业的营收为6.09亿元，同比增长28.25%，其中集成电路设备收入同比增长223%，研发费用同比增长575.23%，这一串数据的背后既是万业企业不断创造辉煌的展现，也是国产离子注入机快速增长的证明。

国产离子注入机的春天

离子注入机作为半导体制造的关键设备之一，在整个晶圆加工中占比约5%，但这一设备长期被国外所统治，美国的应用材料（Applied Materials）和亚舍利（Axcelis）合计占据全球85%-90%的市场。长期以来，国内企业的市场份额一度近乎为0，凯世通是国内为数不多切入这个领域的企业。

2018年万业企业收购凯世通，一年之后，凯世通的集成电路（IC）离子注入机，就陆续在主流存储器芯片厂和国内12英寸晶圆厂进行产线验证，产品在束流强度指标上表现优异，实力可见一斑。

而如今，在凯世通的努力下，国产离子注入机迎来了一个朝气蓬勃的春天。

凯世通的离子注入机获得国内最高等级晶圆厂的验证，这不仅是凯世通从0到1的突破，也是国产离子注入机领域从0到1的突破。万里长征最难的是第一步，随着凯世通第一笔国产低能大束流设备订单销售的确认，凯世通后续的订单也会越来越多。

国产替代订单前景广阔

当前的趋势之下，国产半导体对于国产离子注入机的需求也是十分紧迫的。根据产业人士透露，2016年时，国产离子注入机产量仅4台，而需求已高达157台，供需差为153台。尽管过去几年需求增速低于国产产能速度，但离子注入的本土供需仍存在较大差距，进口替代迫在眉睫。

如果以现在国内新增产能52万片计算，预计新增晶圆产能需采购的离子注入机需要520-780台，市场潜力巨大，这也给了万业企业更多的机会与更高的要求。

可以看到，广阔的市场需求给了万业企业更大的成长空间，未来万业企业的订单也将越来越多，而万业企业在获得订单的同时，也没有忘记作为一个半导体企业的使命，那就是不断的攻克更尖端的技术。

加强人才技术研发投入

从万业企业的财报不难发现，从2018年到2020年三年间，其费用的年均复合增长率为238%，并且2020年研发费用超过了销售费用，这充分体现了万业企业在半导体设备国产化方面的决心。根据本次财报的披露，上半年用于设备的研发费用同比增长575.23%，这再次说明万业企业对于技术的执着追求。

凯世通的创始团队主要是来自全球知名的离子注入机公司，深耕离子注入机领域30多年，曾开发过多款畅销的离子注入机。所以在进行国产IC离子注入机研发过程中，凯世通在每款产品开发之初，就做了详尽的市场与知识产权调查，避免陷入专利纠纷，同时也积极的布局关键专利，为自己筑起一道雄厚的技术壁垒。

此外，人才是半导体企业的立身之本，对人才的尊重才能让企业更快速发展。为了完善人才激励机制，调动公司管理层和核心技术/业务人员的积极性，同时提高公司的市场竞争力。万业企业在今年6月推出了第一期员工持股计划。此举有效的调动员工积极性和创造性，增强员工凝聚力和提升公司集成电路业务的技术与市场能力。

两大引擎驱动板块成长

从万业企业的股权架构可以看出，当前万业企业的前三大股东分别是浦东科投，三林万业和大基金，三者分别持股为28.44%、12.9%、7.07%。

值得注意的是，浦东科技投是一家专注于高科技产业领域并购投资的专业机构，曾投资过数家知名集成电路设计公司，2014年参与收购澜起科技，并曾与紫光集团竞购锐迪科。有大基金与浦东科投的坐镇，也意味着万业企业与向下游形成产业协同时也更为顺利。

在经营方面，万业企业不仅收购了凯世通，还在2020年牵头境内外投资人收购Compart Systems。后者是全球领先的气体输送系统领域供应商之一，也是全球少数可完成该领域零组件精密加工全部环节的公司。

△Compart Systems精密零部件生产线

今年上半年，Compart Systems首度布局国内市场，相关产业正式打入国内集成电路设备公司的供应链。另一方面，万业牵头签约浙江海宁新建Compart研发和制造中心，该项目总投资30亿元，是海宁市2021年重点引进的半导体领域产业项目。

自此，万业企业集成电路板块正式形成双引擎驱动发展模式。一是以凯世通的离子束技术为核心，集科研、制造于一体的高科技项目，二是以Compart的集成电路设备气体传输系统为核心的零部件供应。两者目前都属于国产替代，成长空间巨大。

总结

一家半导体企业的成长靠的是什么？靠的是资金，靠的是技术，但更靠的是恒心。敢于挑战国际寡头的恒心，以及对研发持之以恒的投入，正是这种信念驱使着万业企业不断前行，也驱使着国产半导体产业不断前行。

回顾万业企业的转型，从2015年至今仅有6年，6年很快，但万业企业走得更快，不仅打破了国外对于IC离子注入机的垄断，还用专利筑起了自己的技术壁垒。此次中期财报，只是万业企业对过去半年的一次小结，在半导体国产化与产能紧缺的双重因素之下，以及万业企业对技术的投入，对人才的尊重，相信未来万业企业也定会踩着东风加速前进。