半导体国产化这件事 国产仪器宜早布局谋发展（一）

在复杂国际形势下，半导体的国产化被逐渐提上日程。国家也陆续出台免税补贴政策，积极引导国内半导体行业的发展，鼓励半导体产业摆脱对于进口的依赖，实现自立自强。

据SEMI数据，2020年全球半导体材料市场规模扩大5%，达到553亿美元。其中晶圆制造材料收入增长6.5%，达到349亿美元；包装材料市场在2020年增长了2.3%，达到204亿美元。目前国内半导体材料依赖进口现象严重。实际上，并不仅仅是半导体制造材料、设备等严重依赖进口，用于半导体研发的高端科学仪器也大多进口自美国、日本、德国等国家。国产科学仪器与进口相比，部分高端仪器的高精度检测性能存在差距，同时面向半导体行业的解决方案也相对匮乏。

长期来看，半导体领域的相关仪器蕴含着百亿级别的市场。国产仪器厂商应该从长远出发，规划面向半导体行业的布局，谋划未来国内国产仪器的龙头地位，拥抱国内半导体领域的巨大市场机遇。如习总书记所说，从国家急迫需要和长远需求出发，在石油天然气、基础原材料、高端芯片、工业软件、农作物种子、科学试验用仪器设备、化学制剂等方面关键核心技术上全力攻坚，加快突破一批药品、医疗器械、医用设备、疫苗等领域关键核心技术；在事关发展全局和国家安全的基础核心领域，瞄准人工智能、量子信息、集成电路、先进制造、生命健康、脑科学、生物育种、空天科技、深地深海等前沿领域，前瞻部署一批战略性、储备性技术研发项目，瞄准未来科技和产业发展的制高点，对所有国产仪器决策者而言，这是需要深度思考、决定企业未来方向的重要问题。

实现面向半导体行业科学仪器的国产化，这不仅需要国家出台接轨国际的通用标准，也需要国产仪器厂商在研发上加大创新，缩小与国际进口厂商的差距，更是鼓励强强联合，提供面向半导体行业的全套解决方案。

哪些仪器应是国产仪器面向半导体领域的重点攻关方向，仪器信息网根据部分企业采购情况，整理出了当前相对依赖于进口且在半导体领域有重要应用的十种科学仪器以及其当前进口主流厂商并列出了国内相关仪器的生产商，方便读者了解这些仪器的市场情况。

1.电感耦合等离子体质谱仪ICP-MS

适用于应用领域广泛的各种样品的元素分析、同位素分析任务；可以进行样品的定性、半定量、定量、同位素比分析；测量痕量阳离子；对高纯电子气进行化学元素分析检测，特别是对金属元素分析最擅长，ICP-MS的检测限最低，可以达到PPB级，甚至PPT级。

这类仪器的进口厂商以安捷伦、赛默飞、珀金埃尔默为代表；

国内生产ICP-MS的厂商有谱育、聚光、天瑞、钢研纳克、禾信等。

2.离子色谱仪

用于各类电子材料、电子元器件、PCB、PCBA等电子行业产品的阴、阳和弱有机酸离子浓度的定量检测。

这类仪器的进口厂商以赛默飞、瑞士万通为代表；

国内生产商有盛瀚、普仁、历元、埃伦通用、睿谱、皖仪、舜宇恒平等。

3.电感耦合等离子体发射光谱仪

适用于集成电路材料各种样品中微量重金属的定量分析及快速定性定量分析。

这类仪器的进口厂商以安捷伦为代表；

国内生产商有聚光、天瑞、钢研纳克、东西分析、谱育等。

4.原子力显微镜

主要应用于研究半导体和金属的表面重构、表面形貌、表面电子态及动态过程，三维高精度测试，纳米级尺寸，检测样品表面形貌和物理特性，定量粗糙度，机械性能检测，纳米级电气性能，超导体表面结构和电子态层状材料的电荷密度。

这类仪器主要来自进口厂商，如布鲁克、帕克等。

5.气相色谱仪

适用于有机产品各组分含量的测定。

这类仪器的进口厂商以安捷伦、岛津、珀金埃尔默、赛默飞为代表；

国内生产商有福立、科创、上分、东西分析、惠分、华爱、金普、北分瑞利、中科惠分、华盛谱信、磐诺、北分三谱、重庆川仪、北分天普、云铂仪器、舜宇恒平、漾林、华翼、天瑞、中教金源、中仪宇盛、北京恒久等。

6.水分仪

测试高纯电子气体中微量水分含量。

这类仪器的进口厂商以TigerOptics为代表。

7.金相显微镜

这类仪器主要进口自徕卡、奥林巴斯等厂商。

8.氦离子化气相色谱仪

主要用于检测电子、超高纯气体产品：电子工业用气体氢、氩、氦、氮；超纯氢、超纯氦、高纯氦、高纯氢、超纯氮、高纯氮、高纯氩、高纯二氧化碳等。

这类仪器的进口厂商以GOW-MAC为代表；

国内厂商有华爱、克柔姆、惠分仪器等。

9.扫描电镜系统

用于材料表面的微观形貌的高分辨观察，不仅可以观察和检测有机或无机的固体材料，还可在样品表面进行微米、亚微米级的表面微观特征形貌的观察和成份的定性和定量分析。亚微米级尺度内进行晶体结构分析，如晶体取向（微观结构分析、晶界特征分析、形变与再结晶的研究）、真实晶粒尺寸的测量、应变评估、物相鉴定、材料失效机理的研究等。

这类仪器的进口厂商以蔡司、日立为代表；

国内厂商有聚束科技、中科科仪、国仪量子等。

10.热重分析仪

检测固液样品的热稳定性。

这类仪器的进口厂商以TA、耐驰、梅特勒为代表。

注：部分合资企业未列出。

更多亟待国产化的半导体检测仪器类别，敬请期待。