半导体&电子测试测量,投稿:kangpc@instrument.com.cn
近日,上交所表示,终止半导体设备厂商中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司(以下简称“沈阳科仪”)发行上市审核。在沈阳科仪得招股说明书中显示,其正参与同步辐射装置、先进光源等大科学装置建设。
招股书显示,沈阳科仪主要从事干式真空泵、真空仪器设备的研发、生产和销售,并提供相关技术服务。干式真空泵是半导体制造工艺设备的核心附属设备,为集成电路、光 伏、LED、平板显示、锂电池等行业的生产设备提供所必需的高度洁净真空环境。沈阳科仪得真空仪器设备产品主要包括大科学装置、真空薄膜仪器设备、新材料制备设 备三大类。其中大科学装置指用于基础科学研究的国家重大科学工程的大型科研 装置与设施;真空薄膜仪器设备主要包括用于科研的PVD、CVD设备;新材料制备设备主要包括晶体材料制备设备、真空冶金设备等。
在招股书的发行人的主营业务经营情况部分中显示,发行人正在参与北京高能同步辐射光源、上海同步辐射装置、合肥先进光源、大连相干光源等国家重大科学基础设施的建设,发行人已成为国内大科学装置真空技术及真空科研仪器设备领域领先的产品与服务提供商。
资料显示,合肥先进光源(HALS)是基于衍射极限储存环的第四代同步辐射光源,其发射度及亮度指标的设计目标为世界第一,建成后将是全世界最先进的衍射极限储存环光源。合肥先进光源(HALS)设计定位世界唯一、位于中低能区、“具有鲜明衍射极限及全空间相干特色”的第四代同步辐射光源,将应用于动态世界的观测,为能源与环境、量子材料、物质与生命交叉等领域带来前所未有的机遇。
图源 大连相干光源
大连相干光源是一台采用高增益谐波放大运行模式的极紫外自由电子激光用户装置,是一种以相对论高品质电子束作为工作介质,在周期磁场中以受激发射方式放大电磁辐射的新型强相干激光光源。该装置是我国第一台自由电子激光大型用户装置,是世界上唯一工作在极紫外波段的自由电子激光用户装置,也是世界上最亮的极紫外光源。自由电子激光是近年来国际科技界飞速发展的一类重大科技基础设施,被称为“第四代先进光源”,具有超高亮度、超短脉冲、全相干等优异特性,大大提高了实验研究的时间和空间分辨率。
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