2015年7月21日,日立高新宣布推出200kV场发射透射电子显微镜HF5000,HF5000集合了日立高新的透射电镜及扫描透射电镜技术,达到了亚埃级的空间分辨率(0.1 nm或更低),球差校正器为其标准配置。将于2015年10月正式启动销售。
从纳米材料、电子器件的科学研究,到企业研发及质量控制,用户对于电子显微镜的空间分辨率及元素分析能力的需求都在提升。这反过来也促进了对于电子显微镜像差校正和高灵敏度分析的需求。
为了响应这方面的需求,日立高新开发了200kV及300kV透射电镜专用的STEM球差校正器和大立体角EDX。根据用户的反馈,日立高新将这两种技术整合到了200kV的透射电镜平台上,推出了HF5000场发射透射电镜,同时实现了亚埃级的高分辨率成像和高灵敏度分析。
HF5000透射电镜
HF5000继承了日立高新HD-2700扫描透射电子显微镜的技术特点,如它的内部球差校正器,自动像差校正功能,原子分辨率的二次电子像,并综合了日立高新HF系列透射电镜的技术。
另外,HF5000采用了日立高新经过考验而被认可的冷场发射电子枪技术,并且它的镜筒和样品台经过了重新的设计,从而显著提升了仪器的性能和稳定性。
主要技术参数
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