核心参数
仪器种类: 实验室
产地类别: 进口
适用领域: 通用型
控制温度范围: 室温+2℃~450℃
升温速度: 0.01℃~250℃/min
冷却速度: 450-50℃,约3.4分钟 可调
载气流量范围及控制: 0~1300mL/min He;0~600mL/min N2(程序段数:7段)
载气压力范围及控制: 0~1035kPa(程序段数:7段)
进样口最高使用温度: 450℃
进样口压力设定范围: 0~1035kPa
进样口总流量设定范围: 0~1300mL/min He;0~600mL/min N2
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采用高灵敏度的PDHID检测器,完成一次进样同时分析电子级六氟化硫中的永久性气体(O2、N2、CO、CO2)和氟化碳组分(CF4、C2F6、C3F8)。分析时间在30分钟内,使用目标组分浓度在10ppm左右的标样进行分析,重现RSD≤2%。
半导体
2024/01/04
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