中科微电子 单片甩干机CSM800S

一、设备概况
1.1应用领域：单片甩干机是一种用于半导体晶圆、掩膜板及其他基片材料的高洁净度清洗和干燥设备。其主要特点包括高速甩干、快速烘干以及高效能，能够处理不同尺寸的晶圆，并通过快速更换甩干头来适应不同的需求。这种设备广泛应用于半导体制造过程中的湿法清洗工艺，是该领域中不可或缺的关键设备之一。它不仅适用于2-8英寸的半导体晶圆，还被用于LED外延及芯片制造等其他相关行业。
1.2名称：单片甩干机
1.3型号:CSM800S

二、主要技术参数

2.1应用领域

单片甩干机是高洁净度清洗甩干设备, 具有高速甩干，快速烘干的特点，根据不同晶圆尺寸，可通过快速更换甩干头来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的干燥工艺。具有成本低，快速应用生产等优点。

2.2外观

2.2.1 外形尺寸：

2.2.2 机身结构：进口PP板外壳

2.2.3 适用2”-8”晶圆加工

2.3工艺参数

2.3.1 简便直接调速面板

2.3.2 旋转速度：100-6000 r/min

2.3.3 运行时间：0-999S

2.4设备配置

2.4.1 快速拆卸更换甩干头（快插式）

2.4.2 洁净阀门管件

2.4.3 喷药冲水清洗功能（可选配）

2.4.4 氮气加热吹净 （可选配）

2.4.5 静电消除装置和电阻率检测控制和探头（可选配）

2.5动力参数

2.5.1电气：220V，1KW

2.5.2 N2：OD6mm管，压力：0.25-0.3Mpa，流量：5L/min（无选配氮气加热功能无此项）

2.5.3 DI：OD6mm管，压力：0.3-0.4Mpa，流量：5L/min（无选配冲水功能无此项）

2.5.4 排水：OD 12mm(PFA)

三、售后服务及培训

3.1技术培训

设备试生产运行前，卖方负责培训买方相关操作和维修人员，内容包括设备操作维护、故障的分析和处理。

3.2售后服务

质保期内设备如发生故障，在得到买方通知后 4 个小时给答复，24 小时内卖方派有经验的工程师到现场进行维修。

卖方对设备提供终生的免费技术支持，随时处理、解答买方提出的技术问题。

质保期内每年派出 1～2 名相关技术人员到厂作指导及进行相应维护。

技术培训和售后服务期间卖方人员的费用由卖方承担。

四、设备验收

4.1设备交货期见商务合同

4.2交货方式

设备在买方的施工现场安装调试完毕、连续试生产正常运行 30 日后，验收合格整体交货。

设备到货开箱前卖方应提前3天通知买方，由买方、卖方和监理共同进行设备的初验。

卖方在设备包装发货前10天通知买方到卖方制造现场验收，经买方验收人员验收合格签字后确定发货时间;设备验收时须提供相关验收资料，但不作为设备的结束验收。