中科微电子 单片晶圆清洗机QSG-150-2Y

一、设备概况
1.1应用领域：单片清洗甩干机是高洁净度清洗甩干设备, 具有药液腐蚀，纯水清洗，高速甩干，氮气烘干等特点。不同晶圆尺寸，可通过快速更换甩干头来实现。是湿法清洗工艺的主要设备，体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的清洗干燥工艺。具有成本低，快速应用生产等优点。
1.2名称：单片清洗甩干机
1.3型号：QSG-150-2Y

二、主要结构特征
单片清洗甩干机主要伺服电机，PLC控制器，人机界面，高洁净阀门，PFA管，氮气加热器，防腐蚀外壳，以及甩干头等部分组成。
2.1材质：进口PP板，能够满足洁净室工作环境。
2.2专用伺服电机，可实现每分钟10-3000转，低速均匀清洗，高速离心甩干。
2.3工业PLC控制器和人机界面，稳定可靠控制各个部件，直观可视化操作模式。
2.4大功率氮气加热器，快速加热氮气，提高烘干效率。
2.5甩干头详情 可根据客户需要定制适用不同规格尺寸的甩干头。
2.6可配置多组药液冲洗，并有药液回吸功能。

三、主要技术参数

四、售后服务及培训

4.1技术培训

设备试生产运行前，卖方负责培训买方相关操作和维修人员，内容包括设备操作维护、故障的分析和处理。

4.2售后服务

质保期内设备如发生故障，在得到买方通知后 4 个小时给答复，24 小时内卖方派有经验的工程师到现场进行维修。

卖方对设备提供终生的免费技术支持，随时处理、解答买方提出的技术问题。

质保期内每年派出 1～2 名相关技术人员到厂作指导及进行相应维护。

技术培训和售后服务期间卖方人员的费用由卖方承担。

五、设备验收

5.1设备交货期见商务合同

5.2交货方式

设备在买方的施工现场安装调试完毕、连续试生产正常运行 30 日后，验收合格整体交货。

设备到货开箱前卖方应提前3天通知买方，由买方、卖方和监理共同进行设备的初验。

卖方在设备包装发货前10天通知买方到卖方制造现场验收，经买方验收人员验收合格签字后确定发货时间;设备验收时须提供相关验收资料，但不作为设备的结束验收。