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一、设备概况1.1应用领域:晶圆甩干机是高洁净度冲洗甩干设备, 具有高洁净冲洗,高速甩干,快速烘干,效率高的特点,不同晶圆尺寸,可通过快速更换转子来实现。是湿法清洗工艺的主要设备,设备本身有单腔室和双腔室2种结构,体型小运行平稳。其主要用于2-8英寸半导体晶圆、掩膜板、各种基片等材料的高洁净度冲洗及干燥工艺。1.2名称:双腔室甩干机1.3型号:CSM870S1.4尺寸:710mm*460mm*1850mm1.5晶圆规格:2-6 英寸二、主要结构特征2.1 结构特征双腔室甩干机主要由主轴传动部分,片盒夹具,工作腔,机架,门盖部分,洁净管路部分,电气控制等组成。2.1.1材质:不锈钢机架+10mm PP板外壳2.1.2设备机架:SUS304不锈钢材料,能够满足洁净室工作环境。2.1.3腔体和载体采用耐腐蚀SUS316L不锈钢并电化学抛光。片架载体可方便更换。2.1.4电机及转子经精密的动平衡处理,减少设备共振。2.1.5采用专用定制无刷电机及控制器,保证设备的稳定、可靠及满足系统对洁净度处理的要求。2.1.6管路系统:PFA洁净管路2.2 工艺腔体及载体2.2.1工艺腔数量∶2个 材质为不锈钢316L(腔体电解抛光处理)2.2.2规格∶ 加工尺寸 2-6 英寸全高片盒,可兼容。2.2.3工作转速∶ 200—2200 RPM/MIN2.2.4加热功能∶ 氮气加热 腔体加热2.2.5轴封:电机转轴采用氮气轴封。2.3 纯水控制单元:2.3.1采用扇形冲洗喷嘴。2.3.2排水口安装电阻率探头,对腔体排水水质进行监测。2.3.3冲洗工艺完成后,氮气将残留在冲洗管路内的去离子水吹净。2.3.4待机时,保持回水盒内有水流入且流量可调。
三、主要技术参数
项目
主要性能指标和参数
加工硅片尺寸
2-6 英寸圆片
单次甩干数量
50片
工位数量(个)
2
碎片率
≤0.01%
颗粒增加值
根据客户环境及产品要求确定
旋转速度 RPM/MIN
200-2000
甩干时间
5-8min
腔室及氮气加热方式
电加热器
氮气压力
0.25-0.3Mpa,氮气管接口3/8”
氮气耗量 L/min
80
纯水压力
0.25-0.3Mpa, 管接口3/8”
排水管
40mm圆管 PVC管
控制系统
三菱PLC可编程控制器
显示
4.3寸触摸屏
电源
AC220V
整机功率
5 KW
外型尺寸(深*宽*高)mm
710mm*460mm*1850mm
四、售后服务及培训
4.1技术培训
l设备试生产运行前,卖方负责培训买方相关操作和维修人员,内容包括设备操作维护、故障的分析和处理。
4.2售后服务
l质保期内设备如发生故障,在得到买方通知后 4 个小时给答复,24 小时内卖方派有经验的工程师到现场进行维修。
l卖方对设备提供终生的免费技术支持,随时处理、解答买方提出的技术问题。
l质保期内每年派出 1~2 名相关技术人员到厂作指导及进行相应维护。
l技术培训和售后服务期间卖方人员的费用由卖方承担。
五、设备验收
5.1设备交货期见商务合同
5.2交货方式
设备在买方的施工现场安装调试完毕、连续试生产正常运行 30 日后,验收合格整体交货。
设备到货开箱前卖方应提前3天通知买方,由买方、卖方和监理共同进行设备的初验。
卖方在设备包装发货前10天通知买方到卖方制造现场验收,经买方验收人员验收合格签字后确定发货时间;设备验收时须提供相关验收资料,但不作为设备的结束验收。
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企业名称
河北中科微电子有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(港澳台法人独资)
信用代码
91130400MAC38BJC4W
成立日期
2022-11-01
注册资本
300.000000万美元
经营范围
一般项目:半导体器件专用设备制造;集成电路制造:光伏设备及元器件制造;工业自动控制系统装置制造;电子元器件制造;电子测量仪器制造;机械电气设备制造;五金产品制造;塑料制品制造;集成电路芯片及产品销售;半导体器件专用设备销售:机械电气设备销售;工业控制计算机及系统销售;电子专用设备销售:电力电子元器件销售;工业设计服务;信息技术咨询服务;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;货物进出口;技术进出口,进出口代理;五金产品研发;专用设备修理;工业机器人安装、维修.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
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