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核心参数
产地类别： 国产
应用领域： 用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
适用工艺： 扩散、氧化、退火、合金及烧结
科研炉是半导体加工中的典型热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺。
主要技术参数：
◆工艺管数量：1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）
◆结构型式：卧式热壁型
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音：≤62dB（A）震动：≤3μm
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
◆控制方式： 工业微机控制
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企业名称
青岛晨立电子有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91370282686796380X
成立日期
2009-06-02
注册资本
贰佰万元整
经营范围
工业自动控制系统装置制造；半导体器件专用设备制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；电子专用设备制造；电力电子元器件制造；电子元器件制造；半导体分立器件制造；光伏设备及元器件制造；环境保护专用设备制造；工业自动控制系统装置销售；电子产品销售；半导体分立器件销售；半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售；半导体照明器件制造；电子专用设备销售；光伏设备及元器件销售；工业机器人安装、维修；工业机器人销售；货物进出口；技术进出口；环境保护专用设备销售；非居住房地产租赁。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）
青岛晨立电子有限公司
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山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
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