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核心参数
产地类别: 国产
应用领域: 用于大规模集成电路、电力电子、光电器件、光导纤维等行业
适用工艺: 氧化、扩散、烧结、合金
扩散炉用于大规模集成电路、电力电子、光电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
主要技术指标:
炉管数:1~4管
配工艺管口径:Φ90~360 mm (3~12英寸)
恒温区长度: 760~1000 mm±1.0℃ (300~800℃) 760~1000 mm±0.5℃(800~1280℃)
单点稳定性: ±1.0℃/24h (300~800℃) ±0.5℃/24h (800~1280℃)
气源路数: ≤7路
气体控制: 浮子/质量流量计
悬臂舟参数: 速度: 20~1000 mm/min 行程:2000 mm 定位精度:±1 mm 载荷:17 Kg
超净工作台: 净化等级:100级(万级厂房)
噪音: ≤62dB(A)
振动: ≤3μm
控制系统:整机控制系统采用工业控制计算机
晨立扩散炉设备,技术和质量已达国际水平,受到半导体设备制造企业和半导体行业高度关注.可完全替代国外同规格产品满足不同工艺的要求。
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企业名称
青岛晨立电子有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司(自然人投资或控股)
信用代码
91370282686796380X
成立日期
2009-06-02
注册资本
贰佰万元整
经营范围
工业自动控制系统装置制造;半导体器件专用设备制造;专用设备制造(不含许可类专业设备制造);电子专用设备制造;电力电子元器件制造;电子元器件制造;半导体分立器件制造;光伏设备及元器件制造;环境保护专用设备制造;工业自动控制系统装置销售;电子产品销售;半导体分立器件销售;半导体照明器件销售;半导体器件专用设备销售;半导体照明器件制造;电子专用设备销售;光伏设备及元器件销售;工业机器人安装、维修;工业机器人销售;货物进出口;技术进出口;环境保护专用设备销售;非居住房地产租赁。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
公司地址
山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼
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公司名称: 青岛晨立电子有限公司
公司地址: 山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼 联系人: 姜经理 邮编: 266200
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