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核心参数
仪器种类： 普通真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 6英寸
温度范围： 400-1280
最高升温速率： ±0.5℃
降温速率： 1
退火温度准确性： ±0.5℃
退火温度均匀性： ≤±5％（30~60欧姆）
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退火炉用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，其关键部件全部采用进口部件，仿国外热处理制造技术，已经被中科院、国内各大院校、国内多家厂家选为长期供货商，可根据客户不同需求定制，厂家直接供货。
主要技术参数
◆工艺管数量：可根据客户需求制作为1-4管
◆工艺管口径：Φ90-360mm（3～12英寸）
◆结构型式：卧式热壁型或立式
◆工作温度范围：400～1280℃
◆气体流量设定精度:±1％F.S
◆气路系统气密性： 1×10-7pa.m3/s
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
噪音：≤62dB（A）
震动：≤3μm
◆控制方式： 工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
我公司可根据客户需求个性化定制实验室科研退火炉、管式退火炉，管式真空退火炉、管式扩散炉、管式烧结炉、管式合金炉等高温电炉，厂家直接供货，欢迎广大用户来电咨询。
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