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SIC高温氧化炉 碳化硅氧化炉 青岛晨立电子

品牌： 晨立
产地： 山东
型号： cl4512
报价： ¥10万
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核心参数

产地类别： 国产

应用领域： 用于半导体器件烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等

适用工艺： 烧结、焊接、烘干、管壳气密封装等

产品介绍

设备用途：用于大规模集成电路、电力电子、光 电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。

设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。 主

要技术指标：

★ 炉管数：1～4管 

★ 配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸) 

★ 恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃) 760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃) 

★ 单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃) ±0.5℃/24h (800～1280℃) 

★ 气源路数： ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器

★ 气体控制： 浮子/质量流量计 

★ 悬臂舟参数： 速度： 20～1000 mm/min 最大行程：2000 mm 定位精度：±1 mm 最大载荷：17 Kg 

★ 超净工作台： 净化等级：100级（万级厂房） 噪音： ≤62dB（A） 振动： ≤3μm


售后服务
产品货期： 90天
整机质保期： 12月
培训服务： 安装调试现场免费培训；提供付费培训
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型号：CLzk-3

¥ 10万

工商信息

企业名称

青岛晨立电子有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人投资或控股)

信用代码

91370282686796380X

成立日期

2009-06-02

注册资本

贰佰万元整

经营范围

工业自动控制系统装置制造；半导体器件专用设备制造；专用设备制造（不含许可类专业设备制造）；电子专用设备制造；电力电子元器件制造；电子元器件制造；半导体分立器件制造；光伏设备及元器件制造；环境保护专用设备制造；工业自动控制系统装置销售；电子产品销售；半导体分立器件销售；半导体照明器件销售；半导体器件专用设备销售；半导体照明器件制造；电子专用设备销售；光伏设备及元器件销售；工业机器人安装、维修；工业机器人销售；货物进出口；技术进出口；环境保护专用设备销售；非居住房地产租赁。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）

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公司地址

山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼

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公司地址： 山东省青岛市即墨区泰山三路285号联东U谷即墨科技创新谷3号楼 联系人： 姜经理 邮编： 266200

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