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阿米精控音圈电机驱动三自由度晶圆调节平台，通过三轴音圈电机并联运动实现Z轴直线运动和θx/θy轴旋转运动。系统有效发挥了音圈电机高带宽、高精度和高动态的直驱作动优势，并配合NPC031音圈电机专用运动控制器内嵌的运动算法和软件，可以实现单轴直线运动、两轴线性插补、两轴圆弧插补、任意圆心旋转等复杂轨迹运动，并满足晶圆台在不同应用场景的定位、对准、扫描、轨迹跟踪的各类高精度、高动态和高可靠性运动需求。该系统可用于半导体设备、光学制造、激光加工等诸多产业领域。
性能参数：
· Z向行程：3mm
· Rx/Ry行程：±12.5mrad
· Z向重复定位精度：14.9nm
· Rx重复定位精度：12.2μrad
· Ry重复定位精度：15.1μrad
· 负载:1kg
· 整定时间:≤100ms
平台特点：
· 机械设计紧凑：在紧凑空间中实现三自由度 (Z, Rx, Ry) 运动
· 动态性能优秀：快速定位与对准、高速扫描和轨迹跟踪、宽频域扰动抑制与防抖等
· 可内置真空气路以及真空阀供真空卡盘使用
· 中空结构设计,可作为光学式检测或导通测试等运动模组使用
应用场景：
半导体：晶圆检测与量测、硅片对准与定位、半导体封装、芯片与器件测试等
主动光学：超分辨成像、电子显微成像、大视场成像、光学对准与操作等
精密制造：激光加工、增材制造、光学加工、MEMS制造与检测等
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企业名称
阿米精控科技（山东）有限公司
企业信息已认证
企业类型
其他有限责任公司
信用代码
91371109MA94WHMK1Y
成立日期
2021-09-13
注册资本
贰仟贰佰伍拾叁万陆仟伍佰元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备研发;机械设备销售;电子测量仪器销售;智能仪器仪表销售;实验分析仪器制造;电工仪器仪表销售;仪器仪表制造;通讯设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;电子产品销售;金属制品销售;电气设备销售;电力电子元器件销售;办公设备销售;软件开发;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);工程和技术研究和试验发展;专业设计服务.(除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动)
阿米精控科技（山东）有限公司
公司地址
山东省日照高新区新一代信息技术产业园15号楼1楼
客服电话
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