核心参数
产品种类: 电动位移台
产地类别: 国产
技术特点:
超高定位精度
多轴高动态协同联动
无摩擦、零间隙、免装配
高刚度、高负载
紧凑型结构设计
轴间运动学解耦设计
多运动模式:定位/扫描
可实现正置、倒置的灵活应用
真空兼容性,温度使用范围广
应用领域:
扫描电子显微镜
同步辐射光源
显微操作
双光子聚合
规格参数:
型号 | NP-ST-XYZ-100 |
运动轴 | X,Y,Z |
行程(um) | 100/X轴,100/Y轴,50/Z轴 |
闭环分辨率(nm) | 0.35 |
传感器类型 | 电容式传感器 |
X/Y/Z向上的空载谐振频率(Hz) | 600/600/550 |
负载(g) | 200 |
工作温度范围(℃) | 0~80 |
材料 | 铝合金、钛合金 |
外形尺寸(mm) | 40x40x41 |
质量(g) | 150 |
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纳米级尺寸电子束斑测量
阿米精控科技(山东)有限公司专注于纳米运动控制及超精密机电系统领域的创新设计及产品研发,是一家集研发设计、制造、销售于一体,拥有全自主知识产权的微纳测控及超精密自动化“系统级硬科技”公司。阿米精控纳米运动平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动,内置光栅/电容微位移传感器,通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制,具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
半导体
2024/03/08
企业名称
阿米精控科技(山东)有限公司
企业信息已认证
企业类型
其他有限责任公司
信用代码
91371109MA94WHMK1Y
成立日期
2021-09-13
注册资本
贰仟贰佰伍拾叁万陆仟伍佰元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备研发;机械设备销售;电子测量仪器销售;智能仪器仪表销售;实验分析仪器制造;电工仪器仪表销售;仪器仪表制造;通讯设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;电子产品销售;金属制品销售;电气设备销售;电力电子元器件销售;办公设备销售;软件开发;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);工程和技术研究和试验发展;专业设计服务.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
阿米精控科技(山东)有限公司
公司地址
山东省日照高新区新一代信息技术产业园15号楼1楼
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