核心参数
产品种类: 电动位移台
产地类别: 国产
XY长行程纳米促动器基于粘滑仿生运动原理及特殊设计的驱动和纳米伺服技术,具有纳米级重复定位精度,可实现数百mm的运动行程。该促动器结构紧凑,具有较高的保持力与长期的稳定性,能够实现跨尺度的纳米定位和复杂的轨迹运动。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点:
超长行程:10mm~数百mm
高分辨率:传感器分辨率为1.2nm
超高精度:重复定位精度小于5nm
运动速度:可达10mm/s
高稳定性:保持力可达8N
超高真空兼容性;
运动模式:支持开环与闭环
轻量化、结构紧凑,高可靠性
模块化设计,摩擦单元可替换
应用领域:
扫描电镜(SEM)样品操纵
主动光学
超分辨成像样品移动
大范围电子束直写(EBL)
微纳装备及制造
集成电路制造与检测
高真空样品精度对准及调姿
纳米聚焦与扫描
显微及纳米CT
规格参数:
型号 | NH-XY-16A | NH-XY-16B | NH-XY-36A | NH-XY-36B | NH-XY-36MS |
运动轴 | X轴、Y轴 | X轴、Y轴 | X轴、Y轴 | X轴、Y轴 | X轴、Y轴 |
传感器类型 | 光栅编码器 | 光栅编码器 | 光栅编码器 | 光栅编码器 | 光栅编码器 |
行程(mm) | 16 | 16 | 36 | 36 | 36 |
保持力(N) | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
最大承载力(N) | 20 | 20 | 20 | 20 | 20 |
尺寸(mm) | 52x52x22.5 | 60x60x26.6 | 52x52x22.5 | 60x60x26.6 | 60x60x26.6 |
重量 ( g) | 150 | 160 | 150 | 160 | 160 |
速度(mm/s) | 5 | 5 | 5 | 5 | 5 |
分辨率(nm) | 1.22 | 12.5 | 1.22 | 12.5 | 12 |
闭环重复定位精度(nm) | 5 | 50 | 5 | 50 | 50 |
材料 | 铝合金/钛合金 | ||||
真空度 (mBar) | 超真空兼容(5X10-9 ) |
阿米精控位移台NH-XY-16A的工作原理介绍
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企业名称
阿米精控科技(山东)有限公司
企业信息已认证
企业类型
其他有限责任公司
信用代码
91371109MA94WHMK1Y
成立日期
2021-09-13
注册资本
贰仟贰佰伍拾叁万陆仟伍佰元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备研发;机械设备销售;电子测量仪器销售;智能仪器仪表销售;实验分析仪器制造;电工仪器仪表销售;仪器仪表制造;通讯设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;电子产品销售;金属制品销售;电气设备销售;电力电子元器件销售;办公设备销售;软件开发;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);工程和技术研究和试验发展;专业设计服务.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
阿米精控科技(山东)有限公司
公司地址
山东省日照高新区新一代信息技术产业园15号楼1楼
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