核心参数
产品种类: 电动位移台
产地类别: 国产
高速长行程位移台基于音圈电机驱动和高精度导向模组实现纳米级超高分辨力的定位/扫描直线运动,内置光栅位移传感器,结构紧凑,通过自主研发的高性能纳米伺服系统获得优异的闭环控制效果,具有纳米级运动分辨率和运动精度,同时兼具高速、高动态位移定位和扫描功能。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点:
音圈电机直驱式精密设计
嵌入式纳米位移传感器系统
超高指向精度、高动态、低噪声
无摩擦、零间隙、免装配
多运动模式:定位/扫描
超长行程
应用领域:
扫描电镜(SEM)样品操纵
主动光学
超分辨成像样品移动
大范围电子束直写(EBL)
微纳装备及制造
集成电路制造与检测
高真空样品精度对准及调姿
纳米聚焦与扫描
显微及纳米CT
规格参数:
型号 | NP-VCM-X-100A |
主动轴 | X |
传感器类型 | 光栅传感器 |
驱动类型 | 音圈电机 |
行程( mm) | 100 |
最大负载( Kg) | 1 |
分辨率(nm) | 1.22 |
重复定位精度(nm) | 20 |
尺寸(mm) | 160x220x82.5 |
工作温度(℃) | 10-50 |
材料 | 铝合金/钛合金 |
推荐控制器/驱动器 | NPC-032 |
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企业名称
阿米精控科技(山东)有限公司
企业信息已认证
企业类型
其他有限责任公司
信用代码
91371109MA94WHMK1Y
成立日期
2021-09-13
注册资本
贰仟贰佰伍拾叁万陆仟伍佰元整
经营范围
一般项目:技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广;机械设备研发;机械设备销售;电子测量仪器销售;智能仪器仪表销售;实验分析仪器制造;电工仪器仪表销售;仪器仪表制造;通讯设备销售;计算机软硬件及辅助设备批发;计算机软硬件及辅助设备零售;电子产品销售;金属制品销售;电气设备销售;电力电子元器件销售;办公设备销售;软件开发;信息咨询服务(不含许可类信息咨询服务);工程和技术研究和试验发展;专业设计服务.(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)
阿米精控科技(山东)有限公司
公司地址
山东省日照高新区新一代信息技术产业园15号楼1楼
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