蒸发镀膜仪

产品型号

GSL-1800X-ZF4

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：设备配有自循环冷却水机（加注纯净水或者去离子水）

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

3、工作台：落地式，占地面积2m²以上。

4、通风装置：需要

主要特点

1、真空控制单元全部集合在一个控制盒内。

2、采用独立的蒸镀电流控制器，操作方便快捷。

3、真空腔体设有1个KF40旁抽阀（直接与前级机械泵相连，提高效率）、1个CF150闸板阀（直接与分子泵相连）、1个KF16法兰（安装电阻规）、6个CF35法兰（1个安装电离规，1个安装2芯电极，1个安装膜厚仪）
3个备用。

4、在腔体底部配有5个水冷电极，可支持4个蒸镀加热舟。

5、样品台安装在腔体的顶部。

6、腔内可装高分辨率的薄膜测厚仪，膜厚测量分辨率（铝）为0.1?。

7、可使用循环水冷机。

技术参数

1、输入：单相AC220V，50Hz/60Hz，功率<2.16KW（不含真空泵）

2、蒸发输出：电压AC 0-8V连续可调，极限蒸发电流200A，极限蒸发功率<1.6KW

3、真空腔：?300mm（内径）×400mm，不锈钢，内壁经电抛光处理

4、观察窗：?100mm，采用密封圈密封

5、真空泵：高抽速涡轮分子泵，抽速600L/s

6、真空度：8.0x10^-4Pa

7、极限真空8.0x10^-5Pa

8、漏率：6.7×10^-8Pa·L/S

9、样品台：φ120

10、蒸发舟与样品台间距：150-210mm

11、冷却水需量：15L/min

产品规格

尺寸：900mm×1100mm×1800mm；重量：230kg