合肥科晶1100℃带校准系统管式炉GSL-1100X-50-LVT

安装条件

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地 

3、气：如作为CVD系统使用，需自备气源（标准带有宝塔接头，可自费改制成为双卡套接头）

4、工作台：尺寸600mm×600mm×700mm，承重200kg以上

5、通风装置：需要。

主要特点

炉体结构

炉膛采用高纯氧化铝纤维材料，最大程度减少能量损失。

高度可调的不锈钢外壳。

背部可以调整的三个旋钮，灵活改变炉子的垂直位置（从控制盒平台到炉膛下端）。

多种配置适用于各种热处理需求。

                        多种位置可调                    可用作立式马弗炉         固定旋钮进行位置可调

认证

·所有电器元件（>24V）都通过UL/MET/CSA/CE认证，若客户出认证费用，本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。

质保期 

一年保修，终身技术支持。

特别提示：1.耗材部分如加热元件，石英管，样品坩埚等不包含在内。

          2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

技术参数

1、电压：AC 220V, 50Hz

2、极限功率：1.5KW

3、加热区：300 mm

4、极限温度: 1100℃（小于30min）

5、推荐升温速率:≤10℃/min

6、工作温度: 1000℃

7、炉管尺寸及材质

石英管Φ50×610mm；包括氧化铝管堵用于阻止来自内部管子的热辐射（管堵在加热前必须完全插入炉腔）。

8、温控系统

全自动PID自整定功能

30 段可编程控制器，方便客户按自己要求设定升温曲线

设有超温及断偶保护

K型热电偶

控温精度: ±1 ℃

9、加热元件:掺钼铁鉻铝合金

10、密封法兰及真空连接

不锈钢密封法兰(左端进气口为1/4”软管接口, 右端抽气口为KF-25接口)

标准的1/4“带针阀的宝塔嘴接口

    为了可以使用高压气体，您可以用1/4＂软管接头替换标准宝塔嘴管接头

产品规格

外形尺寸：260×380×400 mm (D x H x W)；重量：45kg

可选配件

石英管堵 (可提高炉管内部真空度及洁净度)

密封法兰及真空连接

   为了达到高真空，可以用KF25转接头替换标准宝塔嘴接头

可选真空连接：本公司进口的防腐型数字式真空显示计，其测量范围为3.8x10-5 至1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

KF25不锈钢波纹管

KF25快速装卸卡箍

真空系统

包括双旋片机械泵(220V, 226 L/m) 油雾过滤器& KF-D25 不锈钢真空波纹管和KF25卡箍

真空度可达到1E-2 Torr ( 50 m-torr)（参考值）

分子泵：1E-5 Torr（参考值）

应用注意事项

炉管内气压不可高于0.02MPa

由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀，建议在本公司选购减压阀，本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态

进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击