蒸发镀膜仪

本设备要求在海拔1000m以下，温度25℃±15℃，湿度55%Rh±10%Rh下使用。

1、电：AC220V 50Hz，必须有良好接地

2、工作台：落地式，占地面积2m²以上

3、通风装置：需要

主要特点

    1、采用桌面小型一体化结构，将真空腔体、镀膜电源及控制系统进行整合设计，体积与一台A3打印机相仿。

    2、采用电阻式双蒸发源结构，可快速实现蒸发源的转换。蒸发单元中装有两组蒸发电极可安装不同的蒸发源，适应相应的镀膜材料。

    3、配有0.1%精度蒸发电源，并具有恒流输出功能，对蒸发舟能起到很好的保护作用。

    4、可选配石英晶体膜厚控制仪，在镀膜过程中对镀膜速率和膜层厚度进行控制。

    5、可将采集到的镀膜数据保存到U盘，便于用户分析控制（选配）。

    6、本机将所有功能设计成标准化模块，根据用户不同的需求对相应模块进行组合，以达到优化的镀膜环境，并便于用户维修与维护。

    7、操作控制采用7英寸TFT显示屏显示操作界面，触屏操作，实现全图形化界面，易用易懂。

技术参数

     1、电源：AC220V  1500W

     2、蒸发电源功率：1000W  5V   200A

     3、蒸发电极有效距离：44mm

     4、样品台：?120mm（可旋转）

     5、膜厚测量精度：0.1?或0.01?（可选配高精度型）

     6、外接真空机组：扩散泵机组（可选配国产110机组或进口机组）（不建议使用扩散泵）

     7、极限真空度：>3.0×10^-3torr（扩散泵）、3.0×10^-4torr（分子泵）（不建议使用扩散泵）

     8、工作真空度：5.0×10^-3torr

     9、真空接口：KF40

    10、使用环境：温度35℃，湿度<75%（相对湿度）不结露，海拔<1500m

产品规格

　尺寸：440mm×240mm×260mm（不包括真空机组）；重量：约47kg（不包括真空泵）