匀胶机

laurell的WS-650-23B型匀胶机结构紧凑，具有先进的功能。这款650系列涂布机系统 将 可容纳最大150mm晶圆和5英寸×5英寸（127mm×127mm）基板，最大转速为12,000 RPM（基于100mm硅片）

过程控制器：650系列过程控制器采用 强大的微处理器，并使用其随附的 PC 软件（编写 在面向对象的编程语言中），它在过程中实现了几乎高的灵活性 定义和使用。该控制器允许操作员在流程执行过程中进行实时交互，包括暂停时间、 停下来，从那里继续。该系统可以并且将会持续更新，轻松快速 在现场提供可下载的固件修订版。

这些过程只会在控制水平下运行 我们提供的复杂性。650 系列控制器也可以与带有 Spin 3000 的 PC 结合使用。 Laurell 的流程管理软件。但是，这不是编程或运行设备所必需的。使用 PC 增加了在运行过程、远程操作、编程或通过 LAN 或 Internet 进行通信时记录过程的能力。该软件免费提供，允许操作员在实际安装的自旋处理器硬件之外创建虚拟过程模拟，实际上，让他们在进入过程之前可以尝试一下。所有 650 个系统都可以通过简单的插件模块进行升级或重新使用，而无需返回工厂，无论是实际的还是虚拟的，并且可以包含几乎无限数量的流程和步骤。

简要说明： 该系统的外壳通常由Laurell Technologies的固体共聚物混合物制成。与天然聚丙烯不同，这种材料能够抵抗溶剂和强酸和强碱。可根据要求提供样品进行测试和验证。提供坚固的 PTFE Hostaflon® TFM-1600 / Teflon® AF 外壳（适用于高温化学和亚微米颗粒研究）。

Laurell 的内部碗设计消除了飞溅回流，因此无需安装“飞溅环"。 我们的排气适配器带有可拆卸的储液罐，既实用又方便。

密闭的碗形设计，加上过程控制器的精度，使大多数涂层材料能够在静止状态下干燥，从而提高均匀性并最大限度地减少颗粒污染。上部增压室在底座内部关闭以提供重叠密封，盖子内部有一个特殊的排水沟，用于将流体引导到系统后部，以防止化学品意外滴落到基材上。

专有的迷宫式密封可保护电机和控制电子设备免受化学污染。该密封件为工艺室提供氮气吹扫，并且在现场测试中已被证明在亚微米级别上是无颗粒的。该系统的盖子具有耐化学腐蚀性，并且在整个系统的一些非润湿区域仅使用ECTFE涂层的316不锈钢螺钉。