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深圳市矢量科学仪器有限公司

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MaskTrack Pro 掩膜版清洗系统

品牌： 德国苏斯
产地： 德国
型号： MaskTrack Pro
报价： 面议
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核心参数

产地类别： 进口

产品介绍

掩模的完整性对高标准光刻工艺的成功起主要作用。MaskTrack Pro 掩膜自动处理系统满足下一代光刻节点在掩模清洗、烘烤和显影工艺方面的所有标准。它是应对 193i 1x half-pitch DPT、极紫外光刻 (EUVL) 和纳米压印光刻 (NIL)高要求的创新解决方案。以创新技术最大限度地提高光掩模性能。

MaskTrack Pro 允许用第三方的产品扩展工具集群，并提供一个全面的方法，在全控、高洁环境中存储、处理和加工光掩模。模块化设计确保其具有高度的灵活性并能高度适应客户的要求。MaskTrack Pro 在第一次运行就能提供最佳的清洁效果。

物理清洗

该系统为湿法清洗提供多种物理力技术，包括最高可达3个的预清洗与终清洗腔室，用于剥离隔离、预清洗和终清洗工艺。

  • 原位紫外表面处理与清洗技术

  • 频率最高达4 MHz的高频双兆声波清洗

  • 精密的纳米二元喷雾

  • 聚焦点清洗

化学清洗

  • DIW-H20脱气，用于控制兆声波工艺中的空化控制

  • 超洁净的冷/热CO2-DI水

  • 臭氧DI水和pH值稳定的电解H2

  • 超稀释的SC1

  • 用于进一步减少图案损伤的碱基新介质

  • 15 nm工艺介质过滤






售后服务
产品货期： 60天
整机质保期： 1年
培训服务： 安装调试现场免费培训
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德国苏斯光刻胶处理及清洗MaskTrack Pro 的工作原理介绍

光刻胶处理及清洗MaskTrack Pro 的使用方法?

德国苏斯MaskTrack Pro 多少钱一台?

光刻胶处理及清洗MaskTrack Pro 可以检测什么？

光刻胶处理及清洗MaskTrack Pro 使用的注意事项？

德国苏斯MaskTrack Pro 的说明书有吗？

德国苏斯光刻胶处理及清洗MaskTrack Pro 的操作规程有吗？

德国苏斯光刻胶处理及清洗MaskTrack Pro 报价含票含运吗？

德国苏斯MaskTrack Pro 有现货吗？

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售；增减材制造设备的研发与销售；电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修；系统集成；办公室用品批发；实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品)；国内贸易，货物及技术进出口；工程技术咨询服务；单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让；一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营)；仪器仪表制造；实验分析仪器制造；通用设备制造（不含特种设备制造）。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）；普通货物仓储服务（不含危险化学品等需许可审批的项目）；国内货物运输代理；装卸搬运；工程技术服务（规划管理、勘察、设计、监理除外）；通讯设备修理；运输货物打包服务；仪器仪表修理；信息系统集成服务；基于云平台的业务外包服务；金属制品修理；电气设备修理；通用设备修理；专用设备修理；通信传输设备专业修理；电子、机械设备维护（不含特种设备）；工业互联网数据服务；信息系统运行维护服务；通信交换设备专业修理。（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务；第二、三类医疗器械的销售。

联系方式

深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址

深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801

客服电话

深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国苏斯MaskTrack Pro 掩膜版清洗系统，德国苏斯MaskTrack Pro 产地为德国，属于进口掩模光刻胶处理及清洗设备，除了MaskTrack Pro 掩膜版清洗系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供更多掩模光刻胶处理及清洗设备,客服电话，售前、售后均可联系。
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公司名称： 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址： 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人： 王雨 邮编： 518132

主营产品：

化学气相沉积设备 物理气相沉积设备 纳米压印设备 退火炉

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