您好,欢迎访问仪器信息网
注册
深圳市矢量科学仪器有限公司

关注

已关注

银牌2年 银牌

已认证

粉丝量 0

当前位置: > 有掩模光刻机 > ULTRA 激光掩模光刻机

ULTRA 激光掩模光刻机

产地: 德国
型号: ULTRA 激光掩模光刻机
报价: 面议
获取电话
点击洽谈,获取最新优惠
留言咨询

核心参数

产地类别: 进口

产品介绍
QX模式FX模式
写作表现

地址网格 [nm]410
线边缘粗糙度 [3σ, nm]2040
位置精度 [3σ, nm]40100
覆盖层 [3σ, nm]3060
拼接 [3σ, nm]2060
第 2 层对准 [最大误差 / nm]100100
CD均匀度 [3σ, nm]3060
最小特征尺寸 [nm]500700
写入速度 [mm²/min]325580
6“ x 6” 的写入时间 [min]7545
操作
用户界面(软件)半兼容 GUI
最大写入区域228 x 228 mm² (可根据要求提供其他尺寸)
基板尺寸4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸和 9 英寸口罩(可根据要求提供更大的和其他基材)


系统特点
光学0.9 NA物镜
低失真紫外光学元件
自动校准程序
激光355nm波长的高功率二极管泵浦固体激光器
对焦系统实时光学自动对焦
对准摄像系统
失真补偿
全局和逐场对准
边缘检测器
数据路径实时压缩
可扩展的硬件概念
输入格式:所有标准格式,例如 GDSII 和 Jobdeck
空间光调制器频率 350 kHz
数据速率 2.4 GB/s
自动化全自动口罩处理,带两个最大 9 英寸的输送站;可选的 SECS/GEM 协议


系统尺寸系统 / 电子机架
宽度 [mm]2995 / 800
深度 [mm]1652 / 650
高度 [mm]2102 / 1800
重量 [kg]3400 / 180


安装要求
电气400 VAC ± 5%,50/60 Hz,16A,3 相
压缩空气7 - 10 bar (不含油或其他残留物)






售后服务
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
问商家

德国海德堡有掩模光刻机ULTRA 激光掩模光刻机的工作原理介绍

有掩模光刻机ULTRA 激光掩模光刻机的使用方法?

德国海德堡ULTRA 激光掩模光刻机多少钱一台?

有掩模光刻机ULTRA 激光掩模光刻机可以检测什么?

有掩模光刻机ULTRA 激光掩模光刻机使用的注意事项?

德国海德堡ULTRA 激光掩模光刻机的说明书有吗?

德国海德堡有掩模光刻机ULTRA 激光掩模光刻机的操作规程有吗?

德国海德堡有掩模光刻机ULTRA 激光掩模光刻机报价含票含运吗?

德国海德堡ULTRA 激光掩模光刻机有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市矢量科学仪器有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司(自然人独资)

信用代码

91440300MA5G1QDA16

成立日期

2020-01-10

注册资本

500万人民币

经营范围

散热材料的研发与销售;增减材制造设备的研发与销售;电气设备、仪器仪表、电子产品、通讯器材、电脑软硬件、配件、非标自动化设备的研发、销售、租赁和维修;系统集成;办公室用品批发;实验室仪器设备、工具、材料、耗材和试剂的开发与销售(不含危险化学品);国内贸易,货物及技术进出口;工程技术咨询服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管相关技术开发、原辅材料、制品的研发和技术转让;一类医疗器械的销售。(法律、行政法规、国务院决定禁止的项目除外,限制的项目须取得许可后方可经营);仪器仪表制造;实验分析仪器制造;通用设备制造(不含特种设备制造)。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动);普通货物仓储服务(不含危险化学品等需许可审批的项目);国内货物运输代理;装卸搬运;工程技术服务(规划管理、勘察、设计、监理除外);通讯设备修理;运输货物打包服务;仪器仪表修理;信息系统集成服务;基于云平台的业务外包服务;金属制品修理;电气设备修理;通用设备修理;专用设备修理;通信传输设备专业修理;电子、机械设备维护(不含特种设备);工业互联网数据服务;信息系统运行维护服务;通信交换设备专业修理。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动)水质检测服务、珠宝玉石检测服务、电气机械检测服务、无线通信网络系统性能检测服务、无损检测、电子产品检测、实验室检测(涉及许可项目的需取得许可后方可从事经营)、电气防火技术检测服务;第二、三类医疗器械的销售。

联系方式
深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供德国海德堡ULTRA 激光掩模光刻机,德国海德堡ULTRA 激光掩模光刻机产地为德国,属于进口有掩模光刻机,除了ULTRA 激光掩模光刻机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多有掩模光刻机,客服电话,售前、售后均可联系。

深圳市矢量科学仪器有限公司

查看电话

沟通底价

提交后,商家将派代表为您专人服务

获取验证码

{{maxedution}}s后重新发送

获取多家报价,选型效率提升30%
提交留言
点击提交代表您同意 《用户服务协议》 《隐私政策》 且同意关注厂商展位
联系方式:

公司名称: 深圳市矢量科学仪器有限公司

公司地址: 深圳市光明区凤凰街道塘尾社区恒泰裕大厦3栋3A-1801 联系人: 王雨 邮编: 518132

友情链接:

仪器信息网APP

展位手机站