匀胶机

aurell的H6-15系列匀胶机结构紧凑，具有先进的功能，设计为最容易安装在手套箱中的旋涂机。这款650系列HL涂布机系统 将 可容纳高达300mm 的晶圆和9英寸×9英寸（229mm×229mm）基板，最大转速为 12,000 RPM（基于100mm硅片）。

所有 HL 系列系统都包括一个无线平板电脑，该平板电脑具有Laurell Touch 过程控制软件。

通过使用其随附的PC 软件Spin 3000，它在流程定义和使用方面都实现了高的灵活性。该无线控制器允许操作员在实验室的任何地方进行实时交互，包括暂停时间、停止和从该点继续。该系统可以并且将通过可下载的固件修订版在现场轻松快速地持续更新。

这些过程在控制水平下运行，我们提供的复杂性。HL 系列控制器也可以与带有 Spin 3000 的 PC 结合使用， Laurell 的流程管理软件。但是，这不是编程或运行设备所必需的。

使用 PC 增加了在运行过程、远程操作、编程或通过 LAN 或 Internet 进行通信时记录过程的能力。该软件免费提供，允许操作员在实际安装的自旋处理器硬件之外创建虚拟过程模拟，实际上，让他们在进入过程之前可以尝试一下。所有HL系列系统都可以在不返回工厂的情况下通过简单的插件模块进行升级或重新利用，无论是实际的还是虚拟的，并且可以包含几乎无限数量的流程和步骤。

简要说明： 该系统的外壳通常由Laurell Technologies的固体共聚物混合物制成。与天然聚丙烯不同，这种材料能够抵抗溶剂和强酸和强碱。可根据要求提供样品进行测试和验证。提供坚固的 PTFE Hostaflon® TFM-1600 / Teflon® AF 外壳（适用于高温化学和亚微米颗粒研究）。

Laurell 的内部碗设计消除了飞溅回流，因此无需安装“飞溅环"。 我们的排气适配器带有可拆卸的储液罐，既实用又方便。

密闭的碗形设计，加上过程控制器的精度，使大多数涂层材料能够在静止状态下干燥，从而提高均匀性并最大限度地减少颗粒污染。上部增压室在底座内部关闭以提供重叠密封，盖子内部有一个特殊的排水沟，用于将流体引导到系统后部，以防止化学品意外滴落到基材上。

专有的迷宫式密封可保护电机和控制电子设备免受化学污染。该密封件为工艺室提供氮气吹扫，并且在现场测试中已被证明在亚微米级别上是无颗粒的。该系统的盖子具有耐化学性，并使用 ECTFE 涂层的 316 不锈钢螺钉固定在整个系统的非润湿区域。