电镜灯丝包括钨灯丝和场发射灯丝，电子显微镜的灯丝也被称为阴极或电镜电子源。北京大束科技提供FEI SEM 灯丝。电子显微镜按照发射源或电子源来分类，可以分为钨灯丝和场发射两种，而场发射又分为冷场灯丝和热场灯丝。钨灯丝是当灯丝加热到一定的工作温度，热电子运动加快，阴极灯丝的逸出功降低，由于灯丝尖端表面电场强，出射的电子便离开尖端，在阴极和阳极间的加速电压作用下，向阳极加速运动。由于栅极的电压低于阴极，当电子接近栅极时受到负偏压的排斥，部分电子在负偏压电场下反弹至阴极表面，其余电子被聚焦成一个收敛交叉束斑。由于钨灯丝寿命比较短，一般只可以工作几十个小时，更换频繁，另外使用钨灯丝的电镜的分辨率也没有场发射的高，但是钨灯丝电镜价格便宜，更换方便，用户可以现场自行更换，北京大束科技有限公司提供电子显微镜钨灯丝。冷场电子显微镜主要以日立电镜为代表，而热场电子显微镜主要以美国FEI和德国ZEISS为主，而FEI场发射扫描又是主流。  场发射电子枪所选用的阴极材料必需是高强度材料，以能承受高电场所加在阴极尖端的高机械应力，钨因高强度而成为较佳的阴极材料。目前扫描电子显微镜SEM的场发射材料主要是单晶钨，在针尖涂敷氧化锆涂层。场发射枪通常以上下一组阳极来产生吸取电子、聚焦、及加速电子等功能。利用阳极的特殊外形所产生的静电场，能对电子产生聚焦效果，所以不再需要韦氏罩或栅极。阳极主要是改变场发射的拔出电压(extraction voltage)，以控制针尖场发射的电流强度，而第二阳极主要是决定加速电压，以将电子加速至所需要的能量。要从极细的钨针尖场发射电子，金属表面必需完全干净，无任何外来材料的原子或分子在其表面，即使只有一个外来原子落在表面亦会降低电子的场发射，所以场发射电子枪必需保持超高真空度，来防止钨阴极表面累积原子。SEM灯丝尤其是场发射灯丝价格比较高，更换比较复杂，灯丝对中效果会直接影响到SEM的效果。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

电子显微镜的优缺点优点：1、分辨率高，光学显微镜的分辨率为0.2μm，透射电子显微镜的分辨率为0.2nm，也就是说透射电子显微镜在光学显微镜的基础上放大了1000倍。2、透射式电子显微镜常用于观察那些用普通显微镜所不能分辨的细微物质结构；扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌，也能与X射线衍射仪或电子能谱仪相结合，构成电子微探针，用于物质成分分析；发射式电子显微镜用于自发射电子表面的研究。缺点：1、在电子显微镜中样本必须在真空中观察，因此无法观察活样本。随着技术的进步，环境扫描电镜将逐渐实现直接对活样本的观察；2、在处理样本时可能会产生样本本来没有的结构，这加剧了此后分析图像的难度；3、由于电子散射能力极强，容易发生二次衍射等；4、由于为三维物体的二维平面投影像，有时像不唯一；5、由于透射电子显微镜只能观察非常薄的样本，而有可能物质表面的结构与物质内部的结构不同；6、超薄样品（100纳米以下），制样过程复杂、困难，制样有损伤；7、电子束可能通过碰撞和加热破坏样本；8、此外电子显微镜购买和维护的价格都比较高。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

扫描电子显微镜的发展史1926年汉斯·布什研制了第一个磁力电子透镜。1931年厄恩斯特·卢斯卡和马克斯·克诺尔研制了第一台透视电子显微镜。显微镜使用的还不是透视的样本，而是一个金属格。1986年卢斯卡为此获得诺贝尔物理奖。世界上第一台电子显微镜产生了。1934年提议加强图像的对比度。1937年第一台扫描透射电子显微镜推出。电子显微镜目的是显示在光学显微镜中无法分辨的病原体等。1938年他在西门子公司研制了第一台商业电子显微镜。1949年可投射的金属薄片出现后材料学对电子显微镜的兴趣大增。1960年投射电子显微镜的加速电压越来越高来透视越来越厚的物质。电子显微镜可以分辨原子的能力。1980年人们能够使用扫描电子显微镜观察湿样品。1990年电脑越来越多地用来分析电子显微镜的图像，同时也可以控制复杂的透镜系统，电子显微镜的操作越来越简单化。扫描电子显微镜的分辨率分辨能力是电子显微镜的重要指标，它的分辨能力以分辨的两点最小间距来表示，即最高点分辨率。显然分辨率越高数愈小，则仪器所能分清被观察的细节。电子显微镜观察微生物影像丰富，也就是说这台仪器的分辨能力或分辨本领越强。分辨率与样品的电子束入射锥角和波长有关。而电子束的波长与电压有关。根据二象性原理，高速的电子的波长比可见光的波长短，而显微镜的分辨率受波长的限制，因此电子显微镜的分辨率远高于光学显微镜的分辨率。当加速电压的电子束波长，由于电子束的波长远远小于可见光的波长，所以电子束的角为光学显微镜的光，电子显微镜的分辨优于光学显微镜。光学显微镜的最大放大倍率高，而电子显微镜最大放大倍率超过光学，所以通过电子显微镜就能直接观察到原子和晶体中排列整齐的原子点阵。放大率是指被观察物体经电子显微镜放大后，在同一方向上的长度与实际长度的比值。直线的比值将放大率为像与物的面积比这是错误的，会引起计算方法与结果的混乱。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

电子显微镜电镜的电子源和结构组成电子显微镜电子源是一个释放电子的阴极和栅极，一个环状的加速电子的阳极构成的形态。阴极和阳极之间的电压差是非常高的，一般在数千伏到百万伏之间。电子显微镜电子源能发射并形成速度均匀的电子束，所以加速电压的稳定度要求不低于万分之一。电子显微镜的样品架上面的样品稳定地放在样品架上。往往还有可以用来改变样品的装置位置。电子显微镜探测器是用来收集电子的信号或者次级信号。电子显微镜的真空装置是用以保障显微镜内的真空状态，这样电子在其路径上不会被吸收或偏向，由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等构成，并通过抽气管道与镜筒相联接在一起。电子显微镜的电源柜是由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组合而成的。扫描电子显微镜与物质的相互作用扫描电子显微镜的电子束不穿过样品，仅以电子束聚焦在一小块地方扫描样本。入射的电子被激发出次级电子。观察散射出来的电子，样品闪烁接收这些次级电子，通过放大后显像管的电子束强度，改变管荧光屏上的亮度。图像为立体形象，反映了标本的表面结构。显像管的线圈与外部电子束保持同步扫描，这样荧光屏就显示出样品外观的形貌图像，这与工业电视机的工作原理相类似。由于这样的显微镜中电子不必透射，因此电子的电压不必高。扫描式电子显微镜的分辨率主要决定于电子束的直径。放大倍数是显像管上扫描幅度与样品上扫描幅度之比，几十倍连续地变化到几十万倍。扫描式电子显微镜不需要很薄图像有很强的立体感，利用电子束与物质相互作产生的次级电子、吸收电子和射线等分析物质成分。扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子物质时，被激发产生二次电子、电子、射线和连续射线、散射电子、透射，以及在可见、紫外、红外光区域产生的电磁辐射。同时也可产生电子空穴对、晶格振动、电子振荡。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

1.准确对中灯丝安装、更换新灯丝时仍需检查灯丝的对中情况，最好将安装好的灯丝组件放在解剖镜下再检查一下，看灯丝是否居中，否则很容易导致灯丝亮度偏暗，而由此操作者又会增加偏压或电流来提高亮度，损伤灯丝。2.适当增加灯丝高度灯丝工作时发射电子束，灯丝的发射束流与灯丝的加热电流和灯丝高度有关, 灯丝高度越大, 则灯丝达饱和点的工作温度就越低，灯丝表面蒸发得也越慢。因此在保证理论高度的条件下, 我们可以将灯丝高度适当增加。新型扫描电镜一般配有几个可选灯丝垫片，其型号不一样，厚薄也不一样。在满足观察要求的情况下，我们可以选择厚一点的垫片以增加灯丝高度，减少灯丝饱和电流。3.及时手动调整灯丝电流在扫描电镜使用过程中，应经常观察灯丝的饱和程度，当发现灯丝电流不在饱和状态时，适当手动调整灯丝电流，使灯丝处于饱和状态。另外新型扫描电镜电子枪的调整一般分全自动调整和半自动调整，我们一般应选择半自动调整。否则，当自动调整电子枪时，灯丝电流也将一起调整且长时间处于过大电流，极大地消耗灯丝，严重影响灯丝寿命。4.保持镜筒的高真空度随时注意镜筒是否存在微小泄露，同时保证各级泵的性能，必要时要更换泵油。再有就是待观察样品应尽量干燥、无挥发性物质。5．其他一些有益措施（1） 新灯丝的表面可能吸附一定量的空气、水汽，当它被安装到电镜镜筒里时，会从灯丝表面缓缓释放，影响镜筒的真空度，腐蚀灯丝。因此，新灯丝在更换前要先经过“去潮、去气”处理，可在 45℃电热箱内放置数小时，然后放入透射电镜底片抽气室预抽气数小时以除去新灯丝上吸附的残余空气和水汽。（2） 干燥好的样品若暂时不用，可放在干燥器或真空中保存，样品粘台后最好放入透射电镜底片抽气室预抽气数小时再放入电镜观察。（3） 饱和点调低一点，满足要求即可。扫描电镜钨灯丝有两个饱和点：第 2 饱和点用于高分辨率观察照相，如果对图像要求不高或做EDS，可以在第一饱和点工作，这样可以延长灯丝的寿命。（4） 高真空抽到后等几分钟，让真空度更高。换样品放气前等几分钟，让灯丝冷却下来再放气，避免过热灯丝与大气接触氧化灯丝。（5） 加速电压不宜用得过高，满足要求即可，能用低电压就不用高电压。放大倍数不超过一万倍时一般 15-20 Kv 就可以了。同时，应保持工作电压与工作距离的相对稳定，如无特殊需要， 不要经常更换电压与工作距离。因为频繁更改电镜工作参数不利于电镜稳定工作。（ 6） 平时尽量少频繁开关灯丝，次数过多对灯丝不利。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

扫描电子显微镜（SEM）简称为扫描电镜，是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。扫描电子显微镜属于高精密仪器，其产品单价相对高昂，因此国内个人对于扫描电子显微镜的需求量较小，一般都是高校、企业等需要。根据数据显示，2020年我国扫描式电子显微镜行业需求量360台，同比2019年的334台增长了7.78%。近年来，中国扫描电子显微镜市场规模呈现逐年增长的态势，增长速度呈现下降趋势。2020年，中国扫描电子显微镜市场规模实现10.48亿元，同比增长2.95%。国内产品占据10%左右的市场份额，国外产品占据大部分市场份额。我国扫描式电子显微镜主要应用于主要用于纺织、化工、印染、 仪器仪表 、材料分析、教学科研等许多领域。其中材料、化工领域是最大的应用市场，2020年市场占比为40.8%，其次为生物、医学领域，2020年市场占比为33.5%。中国扫描电子显微镜的采购主体主要为高校、企业与科研机构。根据数据显示，中国扫描电子显微镜市场45%的采购主体为高校，企业和科研机构各占39%。即2020年，16.72亿元的中国扫描电子显微镜市场中，高校、企业和科研机构分别采购了约7.52亿元、6.52亿元和2.68亿元。由于国内扫描电子显微镜的技术水平与国际先进水平有一定差距，中国的扫描电子显微镜行业市场主要被海外知名扫描电子显微镜生产企业所占据。市场集中度较高，CR4在75%以上。其中，市场占比最大的企业为蔡司，市场占比达到22%；其次为赛默飞（含飞纳），市场占比为21%。在扫描电子显微镜产品布局方面，海外厂商的均已经应用了场发射电子枪技术，而我国除中科科仪和聚束科技外的其他品牌仍停留在分辨率和放大倍数较为逊色的钨灯丝扫描电镜阶段。此外，按国内扫描电子显微镜产品招投标的情况来看，受产品技术先进性影响，海外厂商扫描电子显微镜产品的平均价格也明显高于国内品牌。因为较高的技术壁垒，我国目前扫描电子显微镜的生产企业不多，其主要有中科科仪、聚束科技、国仪量子、泽攸科技和善时仪器等。这些企业均未上市，在市场占比方面，中科科仪是国产品牌中占比最大的企业，占全国市场的比重为7%，远低于国外品牌。显微镜广泛应用于半导体行业的研发、制造和质量分析，目前半导体已经成为了全球显微镜第二大应用需求领域，近年来市场规模持续增长。未来，检测需求、技术创新与政府支持将会推动全球显微镜市场规模进一步扩大。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

造成灯丝寿命短的原因是多方面的。既有材料自身和工艺方面的因素，也有电镜参数选择和人为操作的因素。对应不同的原因，则采取相应措施。常见的概括起来主要有以下几种：1、【镜筒真空度偏低】：镜筒保持高真空度状态是电镜工作的首要条件。如果真空度不高，过低的真空度使灯丝表面侵蚀加快，尤其是高温状态下，镜筒内残余气体的氧气和水分与灯丝发生化学反应，会不断腐蚀灯丝缩短其使用寿命或更加促使灯丝熔断。因此真空度是引起灯丝短寿命的主要原因之一。【处理措施】：电镜的真空度一方面是由电镜抽真空系统决定的，另一方面也取决于镜筒的密封程度。镜筒的真空度直接影响着灯丝的寿命，因此要保持镜筒的高真空度。要认真维护真空排气系统，以确保镜筒的高真空度。特别是要注意镜筒是否存在微小泄漏。换样品放气前等几分钟，让灯丝冷却下来再放气，放入样品后要充分预抽，高真空抽到后等几分钟，让真空度更高，避免过热灯丝与大气接触氧化灯丝。2、【灯丝加热电流工作点不合适】：如果灯丝电流过大并长期工作在过饱和状态，灯丝的饱和电流值也随使用时间增加而减少。则灯丝过热促使灯丝蒸发加快，导致灯丝变细，容易引起瞬间熔断。因此灯丝长时间在过饱和状态下工作就直接减少了灯丝寿命。【处理措施】：注意灯丝点的电流工作点的值并不是一成不变的，随着灯丝工作时间的延长，灯丝不断的变得纤细、阻值增大，因而灯丝加热旋钮的调节位置也要作相应改变，在保证照片质量的前提下，适当把灯丝电流工作点调低一点，目的是将灯丝电流调在欠饱和状态，这样就可延长灯丝使用寿命。3、【灯丝加热的方式不当】：钨丝冷阻较小，因此加热灯丝电流操作应缓慢进行，如果加热操作太快，由于瞬间负荷过重，超负荷往往容易造成灯丝熔断。因此在调节灯丝电流时切忌动作过猛，避免发生聚冷聚热导致灯丝断裂现象。【处理措施】：灯丝加热操作时，动作要缓慢。特别是灯丝工作点的位置要调准，切忌“大致如此”。一般以灯丝饱和像为据，准确找到灯丝的饱和点，并保证灯丝不工作在过饱和状态，满足要求即可。平时尽量不要频繁开关灯丝，开关次数过多对灯丝使用寿命不利。4、【灯丝安装位置不佳】：如果灯丝安装高度不合适，或灯丝对中不良偏离中心太靠近栅极，灯丝受热不均匀严重影响灯丝工作，这时束流过大，使灯丝寿命大打折扣相应缩短。【处理措施】：灯丝的高度要合适，除经常高倍工作需要除外，束流最好保持在20～30μA较为合适。荧光屏如有老化，应及时更换，以保证在低束流下获得较高的高度。这样及可获得高质量的图像，又可以延长灯丝的使用寿命。在进行灯丝高度及对中调整时要严格要求，一般可用放大镜或者解剖显微镜进行校验一下。5、【栅极与阴极间放电】：栅极孔受高温影响表面氧化变脏时，容易引起栅极与阴极之间放电，特别是灯丝高度不合适或兼有不对中时，更容易引起栅极与阴极之间放电。放电时电弧产生的高温与正常工作温度迭加，早期会促使灯丝腐蚀加快，后期则常会引起局部过热熔断。【处理措施】：电镜栅极与阴极间加速电压不宜用得过高，能用低电压就不用高电压，满足要求即可。同时，应保持工作电压与工作距离的相对稳定，如无特殊需要，不要经常更换电压与工作距离。因为频繁更改电镜工作参数不利于电镜稳定工作。6、【电子枪高压打火】：由于电子枪加速电压较高，几万伏的打火不仅可以造成灯丝的剥落，加快腐蚀，也可以因强烈的机械振动而造成灯丝折断。【处理措施】：定期清洗真空部件，要尽量清除镜筒内的粉尘及油气蒸发污染。特别是系统清洗镜筒以后，不要马上加上灯丝电加热电流，要把潮气、有机溶剂等气体充分排尽之后，再进行开机调节，以防电子枪高压打火。如发现灯丝欠饱和像不能调对称，或者像的边缘有毛刺，说明电子枪已变脏，虽然不一定打火，但最好对栅极窗口等处进行局部清洗，这样不仅对防止打火、延长灯寿命有好处。对保证工作质量的也很有必要。7、【灯丝老化】灯丝在高温下使用一定时间后，表面会发生升化现象，材料蒸发使灯丝毒化，这样既影响灯丝的工作效率，也使灯丝逐步老化减少灯丝使用寿命。【处理措施】：如果发现灯丝已经老化，在现有的条件下，可将灯丝固定浸泡在煮沸的去离子水中加热一段时间。然后将灯丝取出放入清洗槽内固定，利用去离子水超声清洗一段时间，取出进行干燥后再安装回镜筒。经过去老化处理的灯丝可以进行多次利用，以节省资源，提高资源利用率。此操作要格外小心，不能破坏灯丝的任何结构，否则有可能会造成灯丝报废。8、【新灯丝除气不佳】新灯丝的表面可能吸附一定量的空气、水汽，当它被安装到电镜镜简里时，会从灯丝表面缓缓释放，低真空时其影响可能忽略不计。但镜简内达到高真空阶段时，灯丝的表面放气量已成为主要的气体来源，此时就会影响镜筒的真空度，腐蚀灯丝。【处理措施】：电镜开始工作之前，需要除去新灯丝吸附的残余气体。新灯丝在更换前要先经过“去潮、去气”处理，可在恒温电热箱内放置数小时，然后放入电镜抽气室预抽数小时，即可除去新灯丝上吸附的残余空气和水汽。安装上新灯丝后对镜筒抽真空，当真空度基本保持不变，且已达到或接近工作真空度时，由低到高逐渐增加灯丝工作电流，并保持20秒钟后缓慢关闭，这样重复3～5次，但每次灯丝加热电流都要比上一次高一些，停留的时间可以适当短一些，直到最终荧光屏上出现的比较亮的光斑，经过预热处理过的灯丝，必要时还要重新调整灯丝尖间相对于栅极帽小孔的位置。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

电子显微镜-电子源电子显微镜通过发射电子与样品相互作用成像，用来“照射”样品的可靠电子源是电镜最重要的部分之一。电子显微镜对电子束的要求非常高。目前只有两种电子源满足要求：热电子发射源和场发射电子源。目前商用的，热电子发射源用的是钨灯丝或六硼化镧晶体（较常见）；场发射电子源用的是很细的针状钨丝（具体分为肖特基发射源和冷场发射源）。热电子源即为被加热时产生电子；场发射电子源则是在它和阳极之间加一个大电势时产生电子。肖特基电子源是热和场发射电子源的结合。场发射电子源的费用高于热电子源，且热电子（W 或  ）与场发射（W）电子源不能互换。与之对应的是，场发射电子源产生的是比热电子源单色性更好的电子。我们称热发射钨电子源为“灯丝”，因为钨可以被拉成细丝，类似白炽灯中用的灯丝。六硼化镧通常沿 取向生长来增强发射能力。事实上，把任何一种材料加热到足够高的温度，电子都会获得足够的能量以克服阻止它们离开的表面势垒（称为功函数 Φ）。大小约为几个电子伏。场发射电子源通常叫做 FEG，其工作原理和热电子源有着本质区别。基本原理是：电场强度 E 在尖端急剧增加，这是因为如果把电压 V 加到半径为 r 的（球形）尖端，则在场发射中我们称细针为“针尖”，钨丝是最容易加工成细针尖的材料之一，可以加工出半径小于 0.1μm 的针尖，场发射与钨针尖的晶体取向相关， 是最好的取向。场发射枪（FEG）相对简单，通过拔出电压将电子从针尖中拉出来，然后通过加速电压对电子加速。第一次启动时要缓慢增加拔出电压，使热机械振动不至于损坏针尖。这就是使用 FEG 要执行的唯一实际操作，并总是由计算机实际控制。对于做材料和纳米技术的，应该尽量选择最高可用高压，当然这可能也会带来更高的电子束损伤。但实际上，同一台仪器调节高压后需要稳定很长一段时间，所以一般不通过调节高压的方式以减小对样品的电子束损伤。肖特基发射枪具有较大的光源和能量发散度，但其束流稳定，噪声较小。总的来说。对常规的 FEG 工作，肖特基枪更好。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

电子显微镜的结构：电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。镜筒主要有电子源、电子透镜、样品架、荧光屏和探测器等部件，这些部件通常是自上而下地装配成一个柱体。电子透镜用来聚焦电子，是电子显微镜镜筒中最重要的部件。一般使用的是磁透镜，有时也有使用静电透镜的。它用一个对称于镜筒轴线的空间电场或磁场使电子轨迹向轴线弯曲形成聚焦，其作用与光学显微镜中的光学透镜（凸透镜）使光束聚焦的作用是一样的，所以称为电子透镜。光学透镜的焦点是固定的，而电子透镜的焦点可以被调节，因此电子显微镜不象光学显微镜那样有可以移动的透镜系统。现代电子显微镜大多采用电磁透镜，由很稳定的直流励磁电流通过带极靴的线圈产生的强磁场使电子聚焦。电子源是一个释放自由电子的阴极，栅极，一个环状加速电子的阳极构成的。阴极和阳极之间的电压差必须非常高，一般在数千伏到3百万伏特之间。它能发射并形成速度均匀的电子束，所以加速电压的稳定度要求不低于万分之一。电子显微镜按结构和用途可分为透射式电子显微镜、扫描式电子显微镜、反射式电子显微镜和发射式电子显微镜等。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

离子源的作用是什么？利用稀薄气体中的高频放电现象使气体电离，一般用来产生低电荷态正离子，有时也从中引出负离子，作为负离子源使用。在高频电场中，自由电子与气体中的原子(或分子)碰撞，并使之电离。带电粒子倍增的结果，形成无极放电，产生大量等离子体。高频离子源的放电管一般用派勒克斯玻璃或石英管制作。高频场可由管外螺线管线圈产生，也可由套在管外的环形电极产生。前者称为电感耦合,后者称为电容耦合高频振荡器频率为10 ～10 Hz，输出功率在数百瓦以上。从高频离子源中引出离子可有两种方式。一种是在放电管顶端插入一根钨丝作为正极，在放电管尾端装一带孔负电极，并把该孔做成管形，从中引出离子流。另一种方式是把正极做成帽形，装在引出电极附近，而放电区则在它的另一侧。不管采用哪种引出方式，金属电极都要用石英或玻璃包起来，以减少离子在金属表面的复合。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

SEM扫描电镜的应用领域和优缺点扫描电镜（SEM）是介于透射电镜和光学显微镜之间的一种微观形貌观察手段，可直接利用样品表面材料的物质性能进行微观成像。应用领域：扫描电镜以其超高的分辨率，良好的景深及简易的操作等优势在材料学、物理学、化学、生物学、医学、地矿学、考古学、食品学、微电子工业以及刑事侦查等领域有广泛的应用。它可以对组织进行形貌分析，断口分析，元素定性和定量分析以及晶体结构分析。SEM之所以有上述广泛的应用领域是因为它具有以下独有的优点：1）高分辨率　扫描电镜二次电子像的分辨率可达到3nm，超高分辨扫描电镜二次电子像的分辨率则高达1nm，比起光学显微镜的极限分辨率200nm要高两个数量级。2）景深大　在放大倍数为100倍时，光学显微镜的景深为1μm，而扫描电镜可达到1mm。随着放大倍数的增大，景深会减短。但即使放大倍数达到4万倍时，扫描电镜还可有1μm左右的景深。3）放大倍数在大范围内连续可调，在高放大倍数下图像也有足够的信号亮度。4）试样制备相对简便。5）可进行动态观察。SEM应用的缺点主要有以下几点：1）分辨率不及TEM和AFM（原子力显微术），不能观察到物质的分子和原子像。2）试样需置于真空环境下观察，限制了样品的类型。3）只能观察样品表面形貌，表面以下结构不能探测。4）没有高度方向信息，只有二维平面图像。5）不能观察液体样品。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

大束科技是一家以自主技术驱动的电子显微镜核心配件研发制造商及配套服务商。 目前公司主要生产电子显微镜的核心配件离子源、电子源以及配套耗材抑制极、拔出极、光阑等销往国内外市场，此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技致力于成为电子显微镜行业上游配件的研发制造供应商；未来将在满足本土市场的同时，进军国际高端电子显微镜市场。聚焦行业难点：1. 我国高端仪器高度依赖进口。国内高端市场基本被塞默斯、蔡司、日本电子等国外仪器供应商瓜分，国产仪器企业大部分只能在中低端市场艰难求存。2. 因对中国国内高端市场基本形成垄断，国外仪器供应商在销售和售后方面存在定价高、服务条件不公平等问题。3. 因大国之间的科技竞争，与国外企业进行电镜方面的技术合作可能会更加困难。我们的优势：1. 核心科技，自主研发：有能力在没有进口供应的情况下保证国内的电镜正常使用，避免因科技竞争而遭受卡脖子技术封锁而导致的风险。2. 本地化生产和库存，反应速度快。3. 经权威第三方评估，本公司的产品性能与国外进口产品相当，且价格大幅低于进口同类产品。可以匹配各种显微镜应用。4. 已攻克全部关键技术，随时可进行大规模量产。5. 有能力根据客户需求进行定制化生产。

大束科技自主研发生产的电镜配件电子源离子源已投入市场使用FEG场发射灯丝，用于FEI（赛默飞）的QuantaFEG，Quattro，Nova NanoSEM等型号的扫描电子显微镜，FEG场发射灯丝是热场发射灯丝，出厂时已做好预对中，且运输和保存过程中使用专用包装保护，增加了灯丝的稳定性，缩短了更换灯丝时间。配件清单：1.场发射灯丝  、电子源、离子源2. 钨灯丝3. 光阑 200um、300um、400um、500um、1250um4. 真空规       5. 机械泵密封圈6. 机械泵油     7. 密封圈目前已有国内知名高校、研究所、科研单位在使用大束科技的配件，并且使用效果良好。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。 

拉出极电极：用于FEI（赛默飞）聚焦离子束设备HT-SW型号的离子枪，拉出极是聚焦离子束加载拉出极高压的电极，用于将液态金属镓离子化，形成离子束。抑制极电极：用于FEI（赛默飞）聚焦离子束设备SW型号的离子枪，抑制极是聚焦离子束加载抑制极电压的电极，与拉出极配合，可对聚焦离子束的发射电流进行调节。光阑条：用于FEI（赛默飞）聚焦离子束TOMAHAWK型号的离子枪，光阑条是一个条状薄片上有多个不同孔径的圆孔，通过不同的孔径限制离子束的电流强度。以实现不同离子束电流间的切换。大束科技（北京）有限责任公司成立于2018年，是一家以自主技术驱动的电子显微镜系列核心配件研发制造的供应商和技术服务商。电子显微镜属于高端精密仪器，密集应用于我国的基础教学、科研平台、高科技项目研发等领域。目前公司主要生产电子显微镜的核心配件离子源、电子源以及配套耗材抑制极、拔出极、光阑等销往国内外市场，此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。

扫描电子显微镜是一种电子光学类仪器设备，其基本原理是利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描，电子束与样品表面物质进行相互作用，产生俄歇电子、二次电子、背散射电子、特征x射线、连续谱X射线、透射电子，和吸收电流等信号，使用不同探测器将产生的信号收集起来，分别用二维图像和谱线的形式表示，就会得到相应信号的电子图像及谱图，从而开展样品的形貌分析、成分分析、晶体结构分析等应用研究。SEM 主要构成扫描电子显微镜由三大部分组成：真空系统，电子光学系统，电气控制系统。SEM 基本参数放大倍数：通常是指底片放大倍数，即在标准尺寸下，量得照片上的长度除以实际扫描的长度。屏幕放大倍数：通过数码放大的方式，将照片进行虚拟放大，照片的实际长度就会比标准尺寸长度大很多，由此得到的放大倍数为屏幕放大倍数。盲目增大放大倍数，只能是虚拟放大，就像单反相机的实际放大倍数和虚拟放大倍数的差别。景深：透镜系统，对样品表面各个高低不平部位同时进行聚焦成像的一个能力范围。WD相同，物镜光阑越小，景深越好；物镜光阑相同，WD越大，景深越好；WD相同、光阑相同，放大倍数越小，景深越好；所以，高倍数下想要获得好的景深，用小的光阑，适当增加WD。工作距离：图像聚焦清晰时，样品表面距物镜下极靴的距离，简称WD。缩短工作距离，在一点程度上可以减小像差，达到提高图像质量的目的。SEM应用扫描电镜在基础科学研究、生产工艺控制、产品质量鉴定等方面得到十分广阔的应用，主要应用于国防、航天、生命科学、医学、生物学、地质勘探、病虫害的防治、灾害鉴定、刑事侦察等。具体为：新能源、新材料：电池正负极材料，复合材料、高分子材料、纳米材料等；半导体：器件表面、断面分析，半导体材料，封装焊点分析，硅片检查、电路分析等；生物领域：海藻、硅藻等动植物、微生物；冶金矿业：煤炭，石油、稀土、金属等；建筑行业：混凝土、耐火砖、水泥粉末等；化工行业：染料、四钼酸铵、碳酸锰凝聚颗粒等；陶瓷行业：陶瓷晶粒、氧化锆、过滤陶瓷等陶瓷行业；大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。

造成灯丝损坏的原因是多方面的。既有材料自身和工艺方面的因素，也有电镜参数选择和人为操作的因素。一般来说，电镜枪室的真空以及灯丝电流大小影响灯丝的使用寿命。真空度越高，使用寿命越长；灯丝电流处于饱和点时灯丝使用寿命最佳，再高就会降低使用寿命。1、镜筒真空度偏低：镜筒保持高真空度状态是电镜工作的首要条件。如果真空度不高，过低的真空度使灯丝表面侵蚀加快，尤其是高温状态下，镜筒内残余气体的氧气和水分与灯丝发生化学反应，会不断腐蚀灯丝缩短其使用寿命或更加促使灯丝熔断。因此真空度是引起灯丝损坏的主要原因之一。2、灯丝安装位置不佳：如果灯丝安装高度不合适，或灯丝对中不良偏离中心太靠近栅极，灯丝受热不均匀严重影响灯丝工作，这时束流过大，使灯丝寿命大打折扣相应缩短。3、电子枪高压打火：由于电子枪加速电压较高，几万伏的打火不仅可以造成灯丝的剥落，加快腐蚀，也可以因强烈的机械振动而造成灯丝折断。4、灯丝老化灯丝在高温下使用一定时间后，表面会发生升化现象，材料蒸发使灯丝毒化，这样既影响灯丝的工作效率，也使灯丝逐步老化减少灯丝使用寿命。5、新灯丝除气不佳新灯丝的表面可能吸附一定量的空气、水汽，当它被安装到电镜镜简里时，会从灯丝表面缓缓释放，低真空时其影响可能忽略不计。但镜简内达到高真空阶段时，灯丝的表面放气量已成为主要的气体来源，此时就会影响镜筒的真空度，腐蚀灯丝。如果灯丝需要重新更换，各个厂家的更换方式略有不同，需要看您的电镜型号。还是需要询问电镜的专业维修人员，因为各个厂家的电镜是有很大差距的。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。

无论是SEM还是TEM，其实看到的都是不是图像，是一系列的强度信号。我们所看到的黑白图像是根据这些信号的相对强弱转换出来的。所以我们实际上看到的是信号之间的不同，即衬度。我们之所以认为TEM和SEM看到的图像都是黑白的，就是因为这个转换过程默认是用灰度来表示的。实际上我们也能经常见到“彩色”的电镜图。电子显微镜常用的有两种：扫描电镜（SEM），透射电镜（TEM）。为什么用电子显微镜，电子显微镜不是像电子计算机的那种电气化，而是用电子打在样品上，用电子束成像。这主要是因为电子的波长小，光的波长在400到700纳米量级，而电子的波长公式是 lambda=h/(mv)，一般用的电压是80kV 到 300kV，电子的波长就是在0.01纳米左右，和原子的大小接近。更短波长的好处，是可以观测到更小尺寸的东西，否则会因为波的衍射和干涉无法分辨。通常看到的生物样品，和高倍昆虫图片，是用扫描电镜拍到的，实际上这是电子显微镜中放大倍数最低的，纯科普的。这些其实还可以用光学显微镜看。我们说的「颜色」是可见光的颜色，对于电子来说，它不是光，因此没有颜色一说。所以楼主说的用电子显微镜看叶绿体，你说是什么颜色呢？扫描电子显微镜目前最广泛的用途是看电子元件，像CPU现在都是25纳米制程，这些的检查都是用高分辨率的扫描电镜。还有一些生物样品，比如骨头断面组织之类也会用到扫描电镜。还有纳米线的形貌像（外观）。透射电镜顾名思义，就是电子要透过样品，在后面成像。所以可以想见样品要非常薄，减薄到几个纳米，在边缘更薄，否则就是一片漆黑了。但是其实电子束在200kV下面还是很有穿透性的，是可以穿透金属和各种材料的，所以他的终极意义就是看到「原子」。加引号，是因为我们不能真正看到原子，只能看到「原子柱」。而且有时候内部结构复杂，看到的图像也是多种因素造成的结果，但总的来说是最接近看到原子的成像了。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。

普通光学显微镜的光阑不容易受损和污染，所以光阑的寿命几乎是永久性的。但是扫描电镜的光阑不同，它需要经常清洗和更换。电子光学通道中的光阑在电子束的照射下，正是污染物最容易沉积的地方，由真空系统中的碳氢形成的聚合物慢慢沉积在光阑的表面，特别是光阑的上表面。物镜的光阑一旦受到污染，光阑孔的边缘受到污染物的堆积，使孔径变小，边缘又不整齐，从而使像散会随之加大，信噪比下降，分别力也会相应变差，对于钨灯丝电镜而言通常一年清洗2次，而加热型可变光阑通常是2年进行更换，光阑清洗后边缘会变钝，随意重复清洗往往都是1次，第二次就需要进行更换新的光阑了。光阑清洗：1. 对于光阑可用镊子夹住，在酒精灯火焰中灼烧，当它变为黄色时保持20-30s。2. 也可以使用另外一种方法，使用等离子刻蚀的方法来进行处理，对光阑的表面的污染物进行刻蚀后，在使用离子溅射仪在其表面溅射一层铂金，以增加其导电性。3. 对于光阑同样可以使用金属研磨膏进行擦拭，然后用红外烘烤灯进行烘干，趁热进行组装。为了更好的延长光阑的使用寿命，应尽量减少电镜真空系统带来的污染。应定时对真空系统的真空泵进行更换机油，不同型号的电镜，其光阑的尺寸也有差别的，他们的主要作用都是用于遮挡掉那些非旁轴的杂散电子和限定聚焦电子束的发射角，使旁轴的电子能更好的汇聚成电子束，减小像差，让图像更清晰。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。

电子显微镜的操作注意事项电子显微镜具有高分辨率和高清晰度品质，可通过CCD摄影系统将物件图像传送到监视器、电视或电脑，广泛适用于电子设备、半导体、LCD、LED等领域的数码成像观察、检测和测量 。使用各种不同的照明系统，可以满足观察不同物体的需求。   1、镜头清洁：   由于物镜镜头是朝上的，很容易附着灰尘，因此保持镜头清洁尤为重要。镜头表面必须保持清洁，如果镜头表面有灰尘，可使用吸耳球吹除，也可用软毛刷轻轻的拂掉。切不可用棉团、干 布或干的镜头纸擦试镜头表面，否则会使镜头表面被刮伤，镜头受损。也不可用水擦试镜头，残留的水渍会滋生霉菌而损坏显微镜。如果镜头表面沾有指纹或油污时，用脱脂棉蘸少许混合液轻轻擦拭即可清除。   2、机身部件清洁：   用软布蘸少量中性洗涤剂轻擦机身及镜头以外的部件即可；千万不可用有机溶液清洗剂擦抹部件表面，尤其是对塑料零件，更不能使用有机溶液清洗剂清洁。   3、调焦：为避免划伤物镜，调焦时千万注意不要使物镜碰到试样。   4、亮度调节：在调整亮度时，切忌忽明忽暗，更不要过亮，有助于保护视力，同时也避免影响灯泡的正常使用寿命。   5、切换：当载物台垫片圆孔中心的位置偏离物镜中心位置时，不要切换物镜，以免物镜被划伤。功能切换时，动作一定要轻，要切换到位。   6、工作间歇：电子显微镜工作间歇，为防止灰尘进入镜筒或透镜表面，目镜可留在镜筒上，并盖上防尘盖，或用防尘罩将仪器罩住也可。   7、设备移动：显微镜尽可能不要移动。如需移动，应轻拿轻放，避免碰撞。禁止随意拆卸仪器，尤其是中间光学系统或重要的机械部件，以避免因不当拆卸而降低仪器的使用性能。   8、关机：使用完毕，旋转转换器，使物镜镜片置于载物台下侧，防止灰尘的沉降。大束科技（北京）科技有限公司工程师多年的售后服务经验，可提供FEI电镜维修、赛默飞电镜维修，移机搬迁过大量的电子显微镜设备，为SEM移机搬迁、TME移机搬迁、FIB移机搬迁提供良好的技术保障，也可以提供二手赛默飞各种类型电子显微镜已经易耗品配件等。

近五年来，国家政策支持下，中国电镜产业化发展之路上多点开花，其中不仅包含扫描透射电镜、场发射扫描电镜、聚焦离子束显微镜、透射电镜原位研究系统等重要技术的商品化，也不乏场发射枪、高压电源、光阑等电镜关键部件的攻克。在国产电镜技术产业化呈现复苏、国家对电镜设备产业化问题高度重视背景下，仪器信息网《仪咖说》栏目特策划“电镜核心部件”系列直播，选取电镜核心部件代表企业共同探讨中国电镜产业核心部件市场的机遇与挑战。电子源是电镜重要核心部件之一，“电镜核心部件”系列第一期，仪器信息网邀请到电镜电子源等核心配件研发制造——大束科技（北京）有限责任公司总经理郝占海，以“中国电镜核心部件行业现状与展望-电子源篇”为主题，为大家分享中国电镜产业链发展现状，电子源等核心部件当前面临的机遇与挑战。本期分享将于9月16日下午14:00-16:00在仪器信息网视频号直播，欢迎大家提前关注仪器信息网视频号预约观看。一、主办单位：仪器信息网二、本期直播时间2022年9月16日下午14:00-16:00三、直播平台仪器信息网视频号四、本期直播嘉宾大束科技（北京）有限责任公司总经理郝占海毕业以后在国有企业从事电气自动化工作，期间先后在冶金部自动化研究院、天水电气传动所学习。从国有企业离职后先后从事自动化控制系统设计调试、电子产品设计开发、芯片反向研究、二手电子显微镜翻新及贸易、电子显微镜部件研发。前半生是不断学习的过程，能自己编写软件、设计电路图、可以独立设计机械零件、熟悉机械加工、对控制系统设计有丰富经验。正是在不同行业工作，设计研究不同的产品，为研发大型科研仪器电子显微镜打下了基础。2007年，开始创立公司，逐渐进入电镜领域。2018年创立大束科技（北京）有限责任公司，定位为自主技术驱动的电子显微镜系列核心配件研发制造的供应商和技术服务商。并作为研发负责人，先后将场发射电子源产品、液态镓离子源产品研发成功并实现量产，供科研院校、研究所、科技企业等使用，已使用用户复购率达100%。五、本期直播议题进入电镜及核心部件领域这20年中国电镜产业链发展现状与展望中国电镜核心部件产业现状与机遇电子源/离子源技术与市场情况中国二手电镜市场有哪些机会？电镜及核心部件发展的困境与建议……扫描二维码提前预约

FIB系统中镓离子源为什么是最合适的？产品介绍：在FIB系统中，镓一般是作为液态金属离子源的不二选择，是因为镓的哪些特性才让他成为当之无愧的首选呢？我们在选择FIB液态金属离子源的时候需要考虑以下因素：第一，该液态金属可以湿润离子源针尖，并且对针尖无腐蚀作用；第二，熔融状态下具有较高的蒸气压。满足这两个条件的也有不少，仅仅单元素离子源就有镓，金，铯等等。但是之所以选择镓离子，是因为镓在常温下为液态，别的金属则需要加热液化处理，而且，镓离子的寿命普遍较长。因此，金离子，铯离子在离子源系统中的运用比较特殊，并没有镓离子源来的广泛。大束科技是一家以自主技术驱动的电子显微镜核心配件研发制造商及配套服务商。 目前公司主要生产电子显微镜的核心配件离子源、电子源以及配套耗材抑制极、拔出极、光阑等销往国内外市场，此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域，项目公司具有很强优势。大束科技致力于成为电子显微镜行业上游配件的研发制造供应商；未 来将在满足本土市场的同时，进军国际高端电子显微镜市场。

电子显微镜是国家科委统管共用的23种大型精密仪器之一，它的应用已扩展到物理、化学、生物、医学、地学、材料科学等很多领域，对这些学科的发展正起着越末越大的推动作用，同时，电子显微镜也是一种昂员、复杂的精密仪器，管理、使用、维修都需专门的知识，如何使其长期处于正常的工作状态，提高工作效率是每一位电镜工作者的基本职责。下面简要谈一下电镜的日常维护及故障的检修1 日常维护1.1 保持电镜室的洁净，室内温度要求在20±5℃，湿度在65％以下。这些条件可通过空调、门窗、排气扇等来达到。1.2 长期保持镜筒在一定的真空状态，即使电镜不工作期间，也要做到每星期排气1～2次，以防镜筒内部锈蚀。1.3 机械泵的油量必须保持在窗口油位刻线的水平上，并定期用热偶规真空计测定其排气性能，以确定机械泵油是否需要换。如用直观的方法观察到窗口油的颜色呈茶色，说明油需要换。1.4 定期更换机器内扩散泵油。1.5 定期清洗镜筒，确保电子光路的正常工作。清洗的范围是电子束经常照射的有关易污染部件，如各活动光栏、样品杯、电子枪室等。清洗的方法有所区别，如光栏有真空喷涂仪加热清洗，电子枪室用酒精和内酮按1：1混合用棉球清洗，但不论清洗哪一个部件，最好少用或不用抛光膏。1.6 定期开启电镜各功能部分，每次时间不应小于1小时，防止电气元件的老化。1.7 定期检测电镜X射线的泄漏情况。2 故障的检修电镜是由电源系统、真空系统、成像系统（镜，筒）三大部分组成。如出现故障，首先应判断故障的大体部位，然后逐级检查，将导致故障的范围逐渐缩小，最后查出故障的元件。2.1 初步检查：故障出现后，切不可带也盲动，更不可乱拆乱卸。要用眼看（如电脑程序混乱、元件脱落、打火等现象），耳听（如声音的异常），鼻嗅（如高压放电的嗅氧味、元器件被烧的气味），手摸（元件是否发热等）来检查。2.2 判断部位：如初检未能排除故障，就要进一步检查，首先检查各级供电电源的输入、输出信号，确定故障所发生的部位。2.3 查找故障的元件：确定故障的部位后，要进一步检查，最后找出发生故障的元器件，采取措施，使仪器恢复正常的工作。检查的手段很多，这里只介绍仪器检测法和替换法。（a）仪器检测采用示波器、数字电压表、信号发生器、频率计以及万用表等进行检查，速度快、效率高。根据故障的情况，可用不同的仪器进行波形法、电压法、电阻法检查。波形法：凡用示波器能测出波形的电路都可用波形法检查。电压法：除用波形法外应尽量的使用电压测试的方法，这种方法不必断开元器件，要求维修人员必须熟习电路和装配工艺。电阻法：采用电压法虽然价值很大，但当电路出现元件的短路、冒烟、打火等现象时，就必须关掉电源。在这种情况下，就必须用欧姆表来检查元器件的开路、短路、虚焊等故障。（b）替换法这是日前对大型进口仪器较为实用、简便、准确的检查方法。因目前进口的大型仪器随机所带的线路图简单，有时，多个元件被封闭无法检查，所以只能替换同型号机器上的线路板或元件来确认故障的出处。替换时一定要确认机器型号一样，线路板编号一样，元件标号一样，注意安插到位以免短路造成更大的损失。2.4 维修后的检查：故障排除后，不要立即开机使用，必须对所检查过的部位进行认真复查，确认无误后再开机使用。大束科技是一家以自主技术驱动的电子显微镜系列核心配件研发制造的供应商和技术服务商。目前公司主要生产电子显微镜的核心配件离子源、电子源以及配套耗材抑制极、拔出极、光阑等销往国内外市场，此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均有优势。

仪器信息网讯 7月底，由中国工程院、国家制造强国建设战略咨询委员会指导，国家产业基础专家委员会编制的《产业基础创新发展目录（2021年版）》（以下简称《目录》），在浙江省宁波市“2022国家制造强国建设专家论坛”上发布。国家制造强国建设战略咨询委员会主任周济院士，国家产业基础专家委员会主任陈学东院士，工业和信息化部总经济师许科敏，宁波市市长汤飞帆，纪正昆、张纲等专家共同参加《目录》的发布。《目录》编制和发布，是深入贯彻习近平总书记打好产业基础高级化和产业链现代化攻坚战的指示精神，落实《国民经济和社会发展第十四个五年规划和 2035 年远景目标纲要》中“加强产业基础能力建设”的任务目标。在中国工程院和国家制造强国建设战略咨询委员会指导下，国家产业基础专家委员会组织60位院士，700余家行业协会/学会、高校与科研院所、重点企业，约1000余位专家参与，历时6个月研究，召开120余次专题研讨会，终形成1047条产品和技术清单，是参与编制工作的院士和专家们集体智慧的结晶，是一份十分珍贵的重大成果。【全《目录》下载链接】1047条产品和技术清单《目录》中，仪器仪表领域包含53项（基础零部件和元器件37项，产业技术基础16项）。值得一提的是，由仪器信息网、大束科技(北京)有限责任公司等共同参与调研提交的电镜核心部件高亮度热场发射电子源和液态镓离子源均被收录。其他入选的零部件或产业技术基础还包括：高可靠涡轮分子泵、大功率X射线管、高端位移传感器、多性能图像传感器、高性能光谱仪、工业气相色谱仪、在线氧分析仪等。仪器仪表领域包含53项目录详细如下：此次《目录》在《工业“四基”发展目录（2016 年版）》基础上，新增了工业基础软件，构成了“五基”（即，基础零部件和元器件、基础材料、工业基础软件、基础制造工艺及装备、产业技术基础）创新发展目录。同时，考虑到产业发展和产品技术迭代，本目录中的重点领域将动态修订，攻关产品和技术每 3 年滚动修订一次，为社会各界共同推动我国产业基础高级化提供参考和指引。两大编制背景老《目录》发挥作用显著。为推动产业基础高级化，国家制造强国建设战略咨询委员会于 2016 年发布了《工业“四基”发展目录（2016 年版）》，配合工业强基工程，在引导制造强国建设十大重点领域关键核心技术攻关，在社会上产生了广泛影响，在营造全社会重视产业基础氛围、引导企业从事产业基础领域产品和技术的研究开发和产业化、鼓励社会资本参与产业基础领域发展等方面发挥了重要作用。实践证明，《工业“四基”发展目录（2016年版）》是凝聚合力，明确产业基础发展“靶向”，实施产业基础再造的重要抓手，是推动我国经济建设的一种创新的模式。新时期发展要求更高。当前国内、国际环境发生巨大变化，行业技术发展出现新趋势。我国制造业与制造强国目标相比，与高质量发展要求相比，产业基础不牢、地基不稳的问题仍相当突出，各领域都存在一些短板产品和技术，产品质量、可靠性和一致性较差，试验验证条件不健全，推广应用困难。解决产业基础能力薄弱问题是我国加快制造强国建设的核心问题，也是实现高质量发展的关键问题，更是解决人民日益增长的美好生活需求和不平衡不充分的发展之间的矛盾不可能绕过的重大问题。三大发挥作用《目录》是为我国完善产业基础顶层设计的重要组成，也是产业基础再造工程实施的重要抓手。《目录》旨在为各级政府部门确定支持重点提供决策支撑作用；为广大企业和科研院所在审慎考虑自身条件和进行充分市场分析的基础上，选择《目录》中的产品和技术进行开发，提供参考指南；引导金融机构、信用担保和保险机构等充分利用多种金融手段，支持《目录》产品的产业化和推广应用。《目录》的发布将达到营造全社会重视产业基础氛围、引导企业从事产业基础领域产品和技术的研究开发和产业化、鼓励社会资本参与产业基础领域发展的重要作用。四大内容亮点一是以产业基础发展需求为出发点，领域广泛。《目录》针对国民经济建设、国防安全和人民幸福影响大的发展需求，确定了信息通信设备、基础软件及工业软件、机床与基础制造装备及机器人、先进轨道交通装备、电力装备、农业装备、家用电器、环保低碳及资源综合利用装备等 21个重点领域，涵盖领域广泛，能够有力夯实我国产业发展的基石，支撑制造强国的建设。二是集中力量重点攻破，目标清晰。《目录》不是产业基础技术全面开花，而是遵循服务国家重大战略，立足我国现实国情，科学选择产品和技术，以集中有限的资源去攻破有限目标，取得最好的成效。这里面既有一定时间能实现突破和产业化的技术和产品，也有市场规模较大的技术和产品，还有处于世界领先的技术和产品。三是发挥市场和政府合力，分类布局。《目录》从发挥市场决定性作用和政府引导作用入手，三个层次分类布局。第一类发挥政府的优势，集中突破一批“卡脖子”项目，解决5~10%的工业基础问题。第二类政府和市场相结合的优势，形成长效政策机制，解决15~20%的工业基础问题。第三类坚持发挥市场化机制的优势，以培养一大批专精特的“专精特冠军”企业为抓手，解决70%~80%工业基础问题。四是产业基础和产业链是相互支撑，链式推进。《目录》围绕各个产业链的“五基”核心环节，打造基础零部件和元器件、基础材料、基础制造工艺及装备、产业技术基础、工业基础软件的链式系统。通过链式系统促进产业基础能力“点式突破”与全产业链“链式创新”相结合，推动产业基础和产业链是相互关联、相互支撑，克服点式抓一个个“五基”产品和技术而存在的碎片化问题。五大工作计划为进一步增强和发挥《目录》的实效，接下来将国家产业基础专家委员会将继续在国家制造强国建设战略咨询委员会的统筹安排和指导下，扎实推动以下五个方面工作。一是开展《目录》进“企业、进园区、进地方”活动，充分发挥国家产业基础专家委员会和各领域专家组作用，选择具体地区、产业园区、产业集群、企业等，对接其需求，并结合优势、特色，建立《目录》台账，分年度、分批次商定推广清单。二是探索建立《目录》应用后评估机制，作为推动实现产业基础高级化中长期战略目标的重要参考依据。三是“链式推进”解决“五基”问题，围绕《目录》的落地实施，探索通过“链式推进方式”系统解决一批重要产业的“五基”问题，鼓励地方政府出台相应的鼓励政策、措施和央地协同机制。四是引导社会资本向工业基础领域逐步聚集，面向金融机构、证券市场进行宣讲，推动金融机构、证券市场加大基础领域投资力度，探讨发布支持《目录》产品和技术产业化的普惠行动。五是建立一支较稳定、可持续攻关的队伍，开展专题研究和推进。《目录》全文

Quanta200 场发射扫描电镜   场发射扫描电子显微镜FEI Quanta 200环境扫描电子显微镜主要用于生物样品、材料样品表面精细形貌和结构的观察和分析。图像具有高分辨率和高放大倍数，富于立体感，可真实、生动地显示样品的三维结构。广泛应用于生命科学、医学、材料学等诸多学科。在环境保护和环境监测中，扫描电镜也发挥了不可替代的作用。扫描电镜图像生动、真实地显示了在污水处理中，颗粒污泥、絮状污泥和各种载体上生物膜的生长情况，为深入研究微生物在污水处理、环境保护中的作用、机理和效果提供了有力依据。主要技术指标：1. 分辨率：3.5nm （高真空模式，30kv）；2. 3.5nm (低真空模式，30kv）；3. 3.5nm (ESEM环境真空模式， 30kv）；、4. 15 nm (低真空模式，3kv）；5. 放大倍数: 50-50,000x；6. 最大象素: 3584 x 3094。7.加速电压：500V～30kV 8.最大样品尺寸：50mm×50mm9.形貌观察分辨率: 高真空模式2nm，环境扫描模式2nm 10.能谱的分辨率:132eV，元素测试范围：B5~U92主要功能：1. 无机物纳米材料等样品的结构信息；2. 不导电样品低真空模式下观察；3. 含水样品在环境扫描模式下观察；4. 动植物微生物等样品干燥、镀金处理后表面形貌观察。综合场发射电镜高分辨和ESEM环境扫描电镜适合样品多样性的优势，能在高真空模式、低真空模式和环境扫描模式下对各种（包括导电样品、不导电样品、含水样品、生物样品等等）进行静态、动态观察和分析。 可以在一定压力的水蒸气条件下进行各种物质的表面形貌分析和微区成分分析，避免样品在真空条件下因失水而发生表面形貌变化，在这种情况下非导体物质可以不需要进行喷镀导电膜即可以进行表面形貌和微区成分分析。 可以广泛应用于各种生物活体、含水物质、非导体材料等物质的表面形貌分析。我司现有几台FEI二手场发射电镜出售，功能正常，售后有保障，我司工程师都是在FEI和ZEISS服务多年的资深工程师，可以提供电镜各种故障的排除和维修，包括软件设置、电光学光路部分的调校和清洗、电路部分的检查维修、真空测量维修等。

我司现有几台二手场发射电镜出售，功能正常，售后有保障，我司工程师都是在FEI和ZEISS服务多年的资深工程师，可以提供电镜各种故障的排除和维修，包括软件设置、电光学光路部分的调校和清洗、电路部分的检查维修、真空测量维修等。如有需要购买二手电镜可联系我们。ZEISS SUPRA 系列电镜为肖特基（Schottky）热场发射扫描电镜。 目前欧美地区比较推崇热场发射电镜，而日本较热衷于冷场发射电镜。肖特基热场发射电镜与冷场发射电镜相比具有一定的优势。ZEISS 场发射扫描电镜主要有如下特点：1．探针电流较大，可达10nA（20nA可选），可容易进行 BSE、EDS、WDS、EBSD、CL等分析。而一般冷场发射探针电流达不到这个数量级，有些分析工作（如WDS、EBSD、CL等）在冷场电镜上难以进行。2．电子束噪声较小，＜1％。3．束流稳定度高，优于0.2％／h，适宜于长时间的各种精确分析。上述两项指标其它厂家均未给出。在理论上冷场发射比热场发射要差一个数量级。4．所需的工作真空度（包括电子枪真空度和样品室真空度）较低，对环境、样品要求不高。而冷场发射电镜的真空度比热场要高2个数量级，真空系统复杂，如样品不清洁、有挥发、放气等情况，抽真空较困难。5．维护简便，且工作稳定。冷场电镜每天都需要Flash（阴极还原），且发射电流不稳定，使用维护麻烦。而热场电镜无此麻烦。6．分辨率较高。ZEISS场发射电镜由于其独特的镜筒设计（GEMINI镜筒），具有优越的性能，高档扫描电镜分辨率可达1nm，不比冷场发射电镜差。7．ZEISS 场发射电镜具有极好的低加速电压性能，加速电压最低可达100V，且在100V时具有较高的分辨率，优于其它品牌。8．超大样品室、全部坐标马达驱动样品台及较大的移动范围，为使用提供了极大的方便。9．抽屉式样品室拉门，方使样品更换及大样品、形状复杂样品的观察。而冷场扫描电镜由于要求的真空度较高，不宜破坏样品室的真空，一般用“样品交换气锁”来更换样品，操作麻烦，且进出样品的尺寸、形状受限。10．真空系统全自动控制，不需人工干预。11．独特的环形In—lens二次电子探测器，探测效率高、圆周对称。而其它厂家的In—lens 探测器安装在一侧，且结构复杂。12．ZEISS 热场扫描的有些型号具有独特的VP（可变压力）工作方式，压力范围2～133Pa。冷场发射电镜一般没有可变压力（低真空）工作方式。13．采用电磁、静电复合式物镜，杂散磁场小，可对铁磁体样品进行高分辨率成像。14．末级光栏采用多孔光栏结构，用电磁方式进行更换和对中调整，操作方便。镜筒上无需用户调整的部件。15．德国制造，设计先进，工艺考究。物镜、分子泵、电路板散热器件均用水冷，冷却水恒温，大大增强了稳定性、可靠性和可重复性。

QUANTA250 场发射扫描电镜 FEI Quanta 250 扫描电子显微镜功能介绍FEI Quanta 250扫描电子显微镜能观察样品表面细微的三维立体结构，具有很强的真实感。可用于观察的样品主要有动、植物的器官和软组织，坚硬样品和生物硬组织，金属和导电样品等。场发射扫描电子显微镜能高效的收集样品电子显微图像、衍射花样、元素分布等有用信息，并能直接进行纳米尺寸的观察和研究，这样便可以对金属或纳米材料在原子尺寸上获得其微结构和缺陷方面信息。英文名称：sweep electron microscope主要技术指标：（1）Quanta250可用于不同的真空模式以分析导电及不导电样品并同时收集表征表面形貌和元素衬度信息的二次电子像和背散射像；（2）很大程度降低样品制备：低真空/环境扫描可确保对不导电样品及含水样品进行无表面荷电的成像和分析；（3）高真空模式图像分辨率为：二次电子像3.0nm@30kV,8.0nm@3kV,及背散射电子像4nm@30kV；（4）低真空模式图像分辨率为：二次电子像3.0nm@30kV,10nm@3kV,及背散射电子像4.0nm@30kV（低真空下低加速电压性能保证了对不导电仪器特点:配有高真空探头、低真空探头和环扫探头，能适应观察不同样品的需求；具有漂移校正的功能；样品导航功能。管理规定该仪器属于精密仪器，使用需在平台管理人员参与下进行。我司现有几台FEI二手场发射电镜出售，功能正常，售后有保障，我司工程师都是在FEI和ZEISS服务多年的资深工程师，可以提供电镜各种故障的排除和维修，包括软件设置、电光学光路部分的调校和清洗、电路部分的检查维修、真空测量维修等。

Quanta400 场发射扫描电镜     仪器名称：Quanta 400 FEG场发射扫描电镜价格型号：Quanta 400 FEG仪器分类：分析仪器/电子光学仪器/电子能谱仪应用领域：冶金矿产;机械设备;技术指标:电子光学系统： Quanta 400 FEG的特点是电子光学镜筒的光轴预先调整到达最高分辨率和稳定电子束的最佳状态。电子光学系统主要包含以下内容： 电子源 肖特基场发射电子枪。电子枪部件调整到最佳状态，高亮度大束流，提供无噪音成像。 加速电压 200V ~ 30kV 束流 >100nA 分辨率 (用碳膜上的金颗粒来测试) 高真空：1.2nm@30kV (SE)；2.5nm@30kV (BSE)；3.0nm@1kV (SE) 低真空：1.5nm@30kV (SE)；2.5nm@30kV (BSE)；3.0nm@3kV (SE) 扩展的真空模式(ESEM)：1.5nm@30kV (SE) 焦距范围 2.5 ~ 99 mm 放大倍率 12x (长工作距离) ~ >2,000,000x 在19"LCD显示器上单一像限观察 视野范围 在高、低真空模式具有同样的视野范围 (最大工作距离17mm)应用范围Quanta 400 FEG是一个场发射扫描电子显微镜，可以产生和收集任何样品的信息。它是最通用型的高分辨低真空的场发射扫描电镜，具有低真空性能可用于真正有挑战性的样品和动态实验。我司主营二手场发射扫描电子显微镜,二手电镜.二手FIB,二手SEM,二手FEM等，专业维修FEI电镜、维修ZEISS电镜。作为第三方服务提供者，我们快速响应的优势，同时我们有大量的备品备件和耗材的储备，对于一般为题经过判断后工程师可以带维修备件直接到现场维修。在维修技术和经验上，我司工程师都是在FEI和ZEISS服务多年的工程师，可以提供电镜各种故障的排除和维修，包括软件设置、电光学光路部分的调校和清洗、电路部分的检查维修、真空测量维修等。

现在不仅有可以放大几千倍的光学显微镜，还有可以放大几十万倍的电子显微镜，让我们对生物体的生命活动规律有了进一步的认识。普通中学生物教学大纲规定的实验大部分是用显微镜做的，所以显微镜的性能是观察好实验的关键。显微镜是一种精密的光学仪器，已有300多年的历史。自从显微镜出现以来，人们看到了许多过去看不见的微小生物和生物的基本单位：细胞。什么是光学显微镜：光学显微镜是利用光学原理对人眼无法分辨的微小物体进行放大成像，从而使人们提取微观结构信息的光学仪器。什么是电子显微镜：电子显微镜是以电子束为照明光源，通过电子流在样品上的透射或反射以及电磁透镜的多级放大，在荧光屏上成像的大型仪器，而光学显微镜是利用可见光照明，形成微小物体放大图像的光学仪器。一、不同的成像原理在电子显微镜中，作用在被检样品上的电子束被电磁透镜放大，然后打在屏幕上成像或作用在照相胶片上成像。电子强度不同的机理是，当电子束作用于待测样品时，入射电子与物质的原子发生碰撞而散射。因为样品的不同部分对电子的散射程度不同，所以样品的电子像出现在强度和强度上。而样品在光学显微镜中的物像是由亮度差呈现的，亮度差是由被测样品不同结构吸收的光的差异造成的。 二、所用样品的制备方法不同用于电镜观察的组织和细胞标本制备程序复杂，技术难度大，成本高。在取材、固定、脱水、包埋等步骤需要特殊的试剂和操作。最后，需要将包埋的组织块放入超薄切片机中，切成厚度为50 ~ 100 nm的超薄标本。光学显微镜观察的标本一般放在载玻片上，如普通组织切片标本、细胞涂片标本、组织压片标本和细胞滴片标本等。三、不同的照明源电子显微镜使用的照明源是电子枪发射的电子流；光学显微镜的照明光源是可见光(太阳光或光)。由于电子流的波长比光波的波长短，所以电子显微镜的放大倍数和分辨率明显高于光学显微镜。四、不同的镜头电子显微镜中起放大作用的物镜是电磁透镜(能在中心部分产生磁场的圆形电磁线圈)；光学显微镜的物镜是由玻璃制成的光学透镜。电子显微镜中有三组电磁透镜，相当于光镜中的聚光镜、物镜和目镜。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。

电子显微镜镀膜技术简介在电子显微镜领域，为了提高样品的成像效果，需要对样品进行镀膜。在样品上形成金属导电层可以抑制电荷积累，减少热损伤，提高SEM检测样品拓扑结构所需的二次电子信号量。在X射线显微分析中，栅格上的支撑膜，复制品样品中背衬支撑膜的TEM观察，涉及到对电子束透明但同时具有导电作用的精细碳膜。要采用的具体涂层技术取决于分辨率和应用。扫描电镜成像前需要涂层处理材料样品(陶瓷、聚合物等。)导电性差或不导电性的需要碳涂层或金属涂层。样品在低温冷冻断裂后进行金属涂层处理(徕卡EM  ACE600冷冻断裂和徕卡EM  VCT500冷冻断裂)，并在低温扫描电镜下成像。透射电镜成像前的涂层处理formvar覆盖的TEM网格需要碳涂层处理以获得导电性。用辉光放电处理网格，否则溶液不会附着分布在网格上。将冷冻样品低角度涂上金属，然后在薄膜上涂上碳(徕卡EM  ACE600冷冻断裂或徕卡EM  ACE900冷冻断裂)，从而生成一个可以在TEM中成像的复制品。溅射涂膜扫描电镜的溅射镀膜是在不导电或导电不良的样品上镀上金(Au)、金/钯(Au/Pd)、铂(Pt)、银(Ag)、铬(Cr)或铱(Ir)等超薄导电金属涂层的工艺过程。溅射镀膜可以防止样品由于静电场的积累而积累电荷。溅射镀膜还可以增加扫描电镜中从样品表面检测到的二次电子数量，从而提高信噪比。扫描电镜溅射膜的厚度通常为2-20纳米。扫描电镜样品上金属溅射涂层的优点；减少显微镜的电子束损伤增加热传导减少样品电荷积累(提高电导率)改善二次电子发射减小电子束穿透深度，提高边缘分辨率。保护对光束敏感的样品碳蒸发碳的热蒸发广泛应用于电子显微镜的样品制备。在真空系统中，碳源安装在两个大电流电极之间——无论是线还是棒。当碳源被加热到其蒸发温度时，一小股碳将沉积在样品上。碳蒸发在电镜中的主要应用是x光显微分析和透射电镜网格上的样品支撑膜。电子束蒸发金属和碳可以蒸发。电子束蒸发法可以获得最精细的涂层，这是一种非常定向的涂层工艺，其涂层面积相对有限。电子会聚在目标上，目标被加热并进一步蒸发。电子束中的带电粒子被去除。因此，具有非常低电荷的电子束击中样品表面。当热量减少时，带电粒子对样品的影响就会减小。几次操作后，电子源必须重新加载和清理。一般来说，当需要定向涂覆(投影和复制)或需要精细涂覆时，使用电子束蒸发涂覆。低温技术介绍冷冻断裂包括一系列技术，可以揭示和复制细胞器和其他膜结构的内部组成，以便在电子显微镜下检查。冷冻蚀刻通过升华去除冰层，露出原本隐藏的膜面。冷冻干燥，简称冻干处理，可以在高真空(升华)下除去冷冻样品中的水分。这样，可以获得干燥和稳定的样品，并且可以在电子显微镜下成像。大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。

扫描电子显微镜是我国金属科学研究工作中应用最广泛的“神器”。可以说，几乎每一个研究生都把自己最重要的科研经历花光了，对于扫描又爱又恨。今天，我们将向需要应用扫描的新老学生和科技工作者系统介绍扫描电镜的原理和应用。电子显微镜使用电子成像，类似于光学显微镜使用可见光成像。因为电子的波长比光的波长短，所以电子显微镜的分辨率比光学显微镜高。扫描电子显微镜(SEM)，简称扫描电子显微镜，已成为一种功能强大、用途广泛的材料表征工具，并已广泛应用于材料、冶金、矿物、生物等领域。扫描电镜的结构和工作原理扫描电镜的主要部件有：光电系统、信号采集与处理系统、图像显示与记录系统、真空系统、电源与控制系统等。它用精细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品的相互作用，观察和分析样品的表面或断口形貌，产生二次电子和背散射电子。在扫描电镜中，电子束以网格模式扫描样品。首先，电子枪在镜筒顶部产生电子。当电子的热能超过源材料的功函数时，就会释放出来，然后高速加速到带正电荷的阳极。整个电子镜筒必须处于真空状态。像电子显微镜的所有部件一样，电子枪被密封在一个特殊的真空室中，以保护它免受污染、振动和噪音。除了保护电子枪不受污染，真空环境还有利于获得高分辨率图像。没有真空环境，镜筒内可能会有其他原子和分子与电子相互作用，使电子束偏转，从而降低图像质量。高真空环境也提高了镜筒中探测器的电子收集效率。样品和电子之间的相互作用可以产生许多不同类型的电子、光子或辐射。就扫描电子显微镜而言，用于成像的两种电子是背散射电子和二次电子。二次电子是核外电子，由于入射电子“碰撞”获得的能量，它们从样品表面逃逸。其主要特点是：(1)能量小于50eV，容易被探测器前的电场吸引，因此遮蔽效应较弱。(2)只有样品表面浅部(约10nm)激发的二次电子才能从样品表面逃逸，因此二次电子图像的分辨率较高。(3)二次电子的产生主要取决于样品表面的局部斜率，因此二次电子图像主要是形态图像。可以看作是由很多细节组成，比如凸起、台阶、凹坑等。由不同倾斜度的表面组成。这些细节不同部位发射的二次电子数量不同，造成对比。二次电子图像分辨率高，无明显阴影效应，景深大，立体感强，是扫描电子显微镜的主要成像方式，特别适合观察粗糙的样品表面。反向散射电子是被样品“反射”的入射电子，其特征在于：(1)能量高，从50eV到能量接近入射电子。(2)穿透能力远强于二次电子，可以从样品中更深的区域(微米级)逃逸。在这样的深度范围内，入射电子横向扩展相当广泛，因此样品中产生的范围大，图像分辨率低；(3)背散射电子的产生量随着原子序数的增加而明显增加，即样品平均原子序数Z较大的部分产生较强的背散射电子信号，在荧光屏上形成较亮的区域；另一方面，平均原子序数较低的部分产生较少的反向散射电子，在荧光屏上形成较暗的区域，从而形成原子序数对比(成分对比)。与二次电子图像相比，背散射图像的分辨率较低，主要用于观察样品表面不同组分的分布，如有机-无机混合物、合金等。然而，严格来说，背散射电子也有形态信息。尤其是背散射电子由于能量较高，可以认为是直线行进，因此具有明显的遮蔽效应。对于形貌起伏较大的样品表面，立体感甚至优于二次电子像。只有当样品表面平坦时，即使经过抛光，后向散射图像也可以等同于成分图像。同样，二次电子也有成分信息，但远不如后向散射电子明显。分解率对于微区成分分析，分辨率是指可以分析的最小面积；对于成像来说，它指的是可以区分的两点之间的最小距离。SEM分辨率主要受三个方面的影响：入射电子束的束斑直径、入射电子束在样品中的膨胀效应、成像方式和所用的调制信号。二次电子图像的分辨率约为5-10纳米，背散射电子图像的分辨率约为50-200纳米。一般来说，SEM分辨率是指二次电子图像的分辨率。放大倍数放大倍数可以从十倍到几十万倍连续调节。倍率：M=L/I，其中L为显像管的尺寸，I为光栅扫描时相邻两点之间的距离。m是通过调节扫描线圈的电流来实现的。当电流较小时，电子束的偏转角较小，放大倍数增大。放大倍数越大越好。应根据有效放大倍数和分析样品的需要进行选择，并与分辨率保持一定的关系。景深景深是指镜头能够同时聚焦和成像不均匀样品所有部分的能力范围。估计景深D=2 r/a=0.2/(aM) mm，a-电子束张角，M-放大率。SEM物镜采用小孔视角、长焦距，可获得大景深。对比包括表面形貌对比和原子序数对比。表面地形对比是由样品表面的不平整引起的。原子序数对比是指扫描电子束入射时产生的背散射电子、吸收电子和X射线，对微观区域的原子序数差异相当敏感。原子序数越大，图像越亮。二次电子受原子序数的影响较小。聚合物中各组分的平均原子序数差别不大。因此，只有一些特殊的聚合物多相系统可以使用这种对比成像。扫描电镜应用：成分分析能量色散x射线光谱学(EDX)能谱分析被当今材料领域的研究者广泛使用。如图3所示，使用扫描电镜，各种信号可以提供给定样品的不同信息。当扫描电镜与EDX探测器结合使用时，x光也可以作为信号产生化学信息。EDX借助样品发射的特征X射线的波长和强度进行分析，根据波长确定样品中含有的元素，根据强度确定元素的相对含量。根据探针在待测样品表面的不同扫描方式，可分为点、线、面三种分析方式：点分析将分析范围精确定位到样品中的感兴趣点进行定性或定量分析通常用于微观结构的成分分析，如材料的晶界、析出相和夹杂相。线条分析通过沿特定方向扫描电子束，可以获得元素含量变化的线性分布曲线。如果将样品的形貌与样品的形貌进行比较，可以直接分析元素在不同相或不同区域的分布和变化趋势。表面分析用电子束扫描样品表面的特定区域，可以通过阴极射线管上的亮度分布(定性分析)显示样品表面元素的分布。点扫描成分分析：显示了氧离子-质子-电子导电纳米复合材料BaCo0.7(Ce0.8Y0.2)0.3O3-(BCCY)的表征。d为A点和b点的EDX扫描结果，证实了元素ce、Co、Y、Ba、O的存在，并给出了相应的内容。(二)STEM图像；(d)A点和b点的EDX扫描结果线性扫描成分分析：硅/铜/碳纳米核壳复合材料(SCP)样品的EDX扫描结果中，C和Cu信号几乎重合，证明了Cu2在聚吡咯层中是均匀分布的，而不是集中在硅颗粒与聚吡咯层的界面处。从c中的EDX扫描结果可以得到相同的结论。具有CCI保护层的硅/铜/碳纳米核壳复合材料的结构表征：(b)核壳复合材料的EDX扫描；SCP的EDX扫描图；(d)C-CP的透射电镜图和(e)相应的EDX扫描图。扫描电镜应用：取向分析电子背散射衍射(EBSD)材料的晶体结构和取向信息对新材料的研究和开发具有重要意义。目前，的研究方法主要有三种。首先用X射线衍射或中子衍射进行宏观统计分析；其次，利用透射电镜中的电子衍射分析了微区晶体结构。再次，利用扫描电镜中的EBSD技术分析了微区晶体结构和取向信息。EBSD技术是在SEM上增加一套EBSD采集硬件和分析系统，使样品的微区晶体结构和取向信息可以在SEM中进行分析，微区晶体结构和取向信息可以对应微观结构形貌。实例：用EBSD技术分析钛合金的变形孪晶。画沿RD压缩至15%的纯钛材料的EBSD测量结果：(a) IPF图；(b)确定在颗粒A中开始的双胞胎类型及其变体；(c)A晶粒的孪晶带与母晶粒之间的晶体关系；颗粒的散射点(0001)极图在EBSD技术诞生之前，人们一般用透射电镜来研究材料变形引起的孪晶。缺点是扫描面积有限，不适合大量统计材料中的孪晶。EBSD扫描的面积相当于扫描电镜的面积，可以统计出双胞胎的数量。通过反极图(IPF)和极图，我们可以清楚地看到孪晶的取向以及孪晶使晶粒旋转变形的方式。晶粒A的分析结果表明，在变形过程中，先形成拉伸孪晶，然后出现压缩孪晶。变形过程中出现了一个孪生变体和五个孪生变体。从(0001)极图可以发现，孪晶偏离C轴约85，孪晶非常杂乱，最终晶粒的C轴取向也非常分散。扫描电子显微镜是金属科学与技术领域中观察微观结构和表面形貌最广泛使用的设备。多在电脑上练习掌握如何使用SEM是很有必要的，也逐渐成为金属专业研究人员的好帮手。荀子说：“不积则不达千里，不积则不成河。希望这篇文章能帮助你理解和学习。”