电镜的日常维护及故障的检修

电子显微镜是国家科委统管共用的23种大型精密仪器之一，它的应用已扩展到物理、化学、生物、医学、地学、材料科学等很多领域，对这些学科的发展正起着越末越大的推动作用，同时，电子显微镜也是一种昂员、复杂的精密仪器，管理、使用、维修都需专门的知识，如何使其长期处于正常的工作状态，提高工作效率是每一位电镜工作者的基本职责。

下面简要谈一下电镜的日常维护及故障的检修

1 日常维护

1.1 保持电镜室的洁净，室内温度要求在20±5℃，湿度在65％以下。这些条件可通过空调、门窗、排气扇等来达到。

1.2 长期保持镜筒在一定的真空状态，即使电镜不工作期间，也要做到每星期排气1～2次，以防镜筒内部锈蚀。

1.3 机械泵的油量必须保持在窗口油位刻线的水平上，并定期用热偶规真空计测定其排气性能，以确定机械泵油是否需要换。如用直观的方法观察到窗口油的颜色呈茶色，说明油需要换。

1.4 定期更换机器内扩散泵油。

1.5 定期清洗镜筒，确保电子光路的正常工作。清洗的范围是电子束经常照射的有关易污染部件，如各活动光栏、样品杯、电子枪室等。清洗的方法有所区别，如光栏有真空喷涂仪加热清洗，电子枪室用酒精和内酮按1：1混合用棉球清洗，但不论清洗哪一个部件，最好少用或不用抛光膏。

1.6 定期开启电镜各功能部分，每次时间不应小于1小时，防止电气元件的老化。

1.7 定期检测电镜X射线的泄漏情况。

2 故障的检修

电镜是由电源系统、真空系统、成像系统（镜，筒）三大部分组成。如出现故障，首先应判断故障的大体部位，然后逐级检查，将导致故障的范围逐渐缩小，最后查出故障的元件。

2.1 初步检查：故障出现后，切不可带也盲动，更不可乱拆乱卸。要用眼看（如电脑程序混乱、元件脱落、打火等现象），耳听（如声音的异常），鼻嗅（如高压放电的嗅氧味、元器件被烧的气味），手摸（元件是否发热等）来检查。

2.2 判断部位：如初检未能排除故障，就要进一步检查，首先检查各级供电电源的输入、输出信号，确定故障所发生的部位。

2.3 查找故障的元件：确定故障的部位后，要进一步检查，最后找出发生故障的元器件，采取措施，使仪器恢复正常的工作。

检查的手段很多，这里只介绍仪器检测法和替换法。

（a）仪器检测

采用示波器、数字电压表、信号发生器、频率计以及万用表等进行检查，速度快、效率高。根据故障的情况，可用不同的仪器进行波形法、电压法、电阻法检查。

波形法：凡用示波器能测出波形的电路都可用波形法检查。

电压法：除用波形法外应尽量的使用电压测试的方法，这种方法不必断开元器件，要求维修人员必须熟习电路和装配工艺。

电阻法：采用电压法虽然价值很大，但当电路出现元件的短路、冒烟、打火等现象时，就必须关掉电源。在这种情况下，就必须用欧姆表来检查元器件的开路、短路、虚焊等故障。

（b）替换法

这是日前对大型进口仪器较为实用、简便、准确的检查方法。因目前进口的大型仪器随机所带的线路图简单，有时，多个元件被封闭无法检查，所以只能替换同型号机器上的线路板或元件来确认故障的出处。替换时一定要确认机器型号一样，线路板编号一样，元件标号一样，注意安插到位以免短路造成更大的损失。

2.4 维修后的检查：故障排除后，不要立即开机使用，必须对所检查过的部位进行认真复查，确认无误后再开机使用。

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