扫描电子显微镜SEM的详情和应用

扫描电子显微镜是一种电子光学类仪器设备，其基本原理是利用聚焦电子束在样品表面进行逐行扫描，电子束与样品表面物质进行相互作用，产生俄歇电子、二次电子、背散射电子、特征x射线、连续谱X射线、透射电子，和吸收电流等信号，使用不同探测器将产生的信号收集起来，分别用二维图像和谱线的形式表示，就会得到相应信号的电子图像及谱图，从而开展样品的形貌分析、成分分析、晶体结构分析等应用研究。

SEM 主要构成

扫描电子显微镜由三大部分组成：真空系统，电子光学系统，电气控制系统。

SEM 基本参数

放大倍数：通常是指底片放大倍数，即在标准尺寸下，量得照片上的长度除以实际扫描的长度。

屏幕放大倍数：通过数码放大的方式，将照片进行虚拟放大，照片的实际长度就会比标准尺寸长度大很多，由此得到的放大倍数为屏幕放大倍数。盲目增大放大倍数，只能是虚拟放大，就像单反相机的实际放大倍数和虚拟放大倍数的差别。

景深：透镜系统，对样品表面各个高低不平部位同时进行聚焦成像的一个能力范围。

WD相同，物镜光阑越小，景深越好；

物镜光阑相同，WD越大，景深越好；

WD相同、光阑相同，放大倍数越小，景深越好；

所以，高倍数下想要获得好的景深，用小的光阑，适当增加WD。

工作距离：图像聚焦清晰时，样品表面距物镜下极靴的距离，简称WD。

缩短工作距离，在一点程度上可以减小像差，达到提高图像质量的目的。

SEM应用

扫描电镜在基础科学研究、生产工艺控制、产品质量鉴定等方面得到十分广阔的应用，主要应用于国防、航天、生命科学、医学、生物学、地质勘探、病虫害的防治、灾害鉴定、刑事侦察等。

具体为：

新能源、新材料：电池正负极材料，复合材料、高分子材料、纳米材料等；

半导体：器件表面、断面分析，半导体材料，封装焊点分析，硅片检查、电路分析等；

生物领域：海藻、硅藻等动植物、微生物；

冶金矿业：煤炭，石油、稀土、金属等；

建筑行业：混凝土、耐火砖、水泥粉末等；

化工行业：染料、四钼酸铵、碳酸锰凝聚颗粒等；

陶瓷行业：陶瓷晶粒、氧化锆、过滤陶瓷等陶瓷行业；

大束科技（北京）有限责任公司自主研发了电镜零部件，尤其是消耗型的部件都做到了国产化，例如液态镓离子源、电子源、钨灯丝、电子枪和离子枪配件、光阑、电镜上使用的各种电源等，可以完全替代进口产品。大束科技（北京）有限责任公司的可以量产的生产制造场地即将装修完毕投入使用，实现量产以后，在最极端的情况下，如果在国内已经安装的进口电镜原厂家不再提供配件，大束科技（北京）有限责任公司的产品可以保障国内这些进口电镜正常运行。此外，还为用户提供定制化电子显微镜以及电子枪系统等的维修服务，以及其他技术服务和产品升级等一站式、全方位的支持。在场发射电子源（电子显微镜灯丝）、离子源以及电镜上的高低压电源、电镜控制系统研发制造等领域等均具有优势。大束科技的技术服务团队也在不断地壮大，我们的工程师可以独立维修大部分型号的电子显微镜，同时也可以对大部分型号机器独立更换灯丝和离子源。