SEM扫描电镜灯丝损坏的原因

造成灯丝损坏的原因是多方面的。既有材料自身和工艺方面的因素，也有电镜参数选择和人为操作的因素。一般来说，电镜枪室的真空以及灯丝电流大小影响灯丝的使用寿命。真空度越高，使用寿命越长；灯丝电流处于饱和点时灯丝使用寿命最佳，再高就会降低使用寿命。

1、镜筒真空度偏低：

镜筒保持高真空度状态是电镜工作的首要条件。如果真空度不高，过低的真空度使灯丝表面侵蚀加快，尤其是高温状态下，镜筒内残余气体的氧气和水分与灯丝发生化学反应，会不断腐蚀灯丝缩短其使用寿命或更加促使灯丝熔断。因此真空度是引起灯丝损坏的主要原因之一。

2、灯丝安装位置不佳：

如果灯丝安装高度不合适，或灯丝对中不良偏离中心太靠近栅极，灯丝受热不均匀严重影响灯丝工作，这时束流过大，使灯丝寿命大打折扣相应缩短。

3、电子枪高压打火：

由于电子枪加速电压较高，几万伏的打火不仅可以造成灯丝的剥落，加快腐蚀，也可以因强烈的机械振动而造成灯丝折断。

4、灯丝老化

灯丝在高温下使用一定时间后，表面会发生升化现象，材料蒸发使灯丝毒化，这样既影响灯丝的工作效率，也使灯丝逐步老化减少灯丝使用寿命。

5、新灯丝除气不佳

新灯丝的表面可能吸附一定量的空气、水汽，当它被安装到电镜镜简里时，会从灯丝表面缓缓释放，低真空时其影响可能忽略不计。但镜简内达到高真空阶段时，灯丝的表面放气量已成为主要的气体来源，此时就会影响镜筒的真空度，腐蚀灯丝。

如果灯丝需要重新更换，各个厂家的更换方式略有不同，需要看您的电镜型号。还是需要询问电镜的专业维修人员，因为各个厂家的电镜是有很大差距的。

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