核心参数
产地类别: 进口
衬底尺寸: 见资料
工艺温度: 见资料
前驱体数: 见资料
重量: 见资料
尺寸(W x H x D): 见资料
均匀性: 见资料
用于沉积纳米级薄膜、纳米粉末包覆、长深孔样品镀膜;具有Thermal-ALD、PEALD、Particle-ALD和生产型ALD;具备近100种膜层工艺。
应用领域:
芯片封装、半导体High-k介电层、纳米涂层、3D涂层、锂电池、催化剂、太阳能电池、5G通讯(SAW器件)、生物医学仿生、荧光材料、OLED显示、有机材料、电子电路、光学膜等,细分及对应膜层如下:
-High-K介电材料(Al2O3,HfO2,ZrO2,PrAlO,Ta2O5,La2O3)
-导电门电极 (Ir, Pt, Ru, TiN)
-金属互联结构 (Cu WN,TaN,Ru,Ir)
-催化材料 (Pt,Ir,Fe,Co,TiO2,V2O5)
-纳米结构 (All ALD Material)
-生物医学涂层 (TiN,ZrN,TiAlN,AlTiN)
-金属 (Ru,Pd,Ir,Pt,Rh,Co,Cu,Fe,Ni)
-压电层 (ZnO,AlN,ZnS)
-透明电学导体 (ZnO:Al,ITO)
-紫外阻挡层 (ZnO,TiO2)
-光子晶体 (ZnO,ZnS:Mn,TiO2,Ta3N5)
-防反射滤光(Al2O3,ZnS,SnO2,Ta2O5)
-电致发光器件(SrS:Cu,ZnS:Mn,ZnS:Tb,SrS:Ce)
-工艺层如蚀刻栅栏、离子扩散栅栏等 (Al2O3,ZrO2)
-光学应用如太阳能电池、激光器、光学涂层、纳米光子等 (AlTiO,SnO2,ZnO)
-传感器 (SnO2,Ta2O5)
-磨损润滑剂、腐蚀阻挡层 (Al2O3,ZrO2,WS2)
-OLED钝化层 (Al2O3)
功能特点:
-采用热法和等离子法制备原子层纳米级薄膜
-一个循环周期小于2秒钟
-可以沉积有机高分子材料,实现表面亲疏水性
-可以在纳米粉末或纳米颗粒上沉积薄膜
-可以在三维、不规则体、带有长深孔(深宽比2500:1)样品上沉积薄膜
-可以沉积低饱和蒸汽压材料
-可增加在线椭偏仪和QCM检测
-可增加等离子体装置
-可扩展臭氧产生器
-可集成手套箱设备
-可增加Load-lock自动上下载片装置
可沉积膜层:
氧化物 | 氮化物 | 硫化物 | 金属/碲化物 |
原子层沉积Savannah100,200,300的工作原理介绍
原子层沉积Savannah100,200,300的使用方法?
Savannah100,200,300多少钱一台?
原子层沉积Savannah100,200,300可以检测什么?
原子层沉积Savannah100,200,300使用的注意事项?
Savannah100,200,300的说明书有吗?
原子层沉积Savannah100,200,300的操作规程有吗?
原子层沉积Savannah100,200,300报价含票含运吗?
Savannah100,200,300有现货吗?
企业名称
深圳市科时达电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440300215081067
成立日期
2020-10-20
注册资本
100
经营范围
电子产品销售;光电子器件销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;卫生用品和一次性使用医疗用品销售;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:第二类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口。
深圳市科时达电子科技有限公司
公司地址
深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203
客服电话