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核心参数
产地类别： 进口
衬底尺寸： 见资料
工艺温度： 见资料
前驱体数： 见资料
重量： 见资料
尺寸(W x H x D)： 见资料
均匀性： 见资料
Beneq TFS 200 是一款适用于科学研究和企业研发的最灵活的 ALD 平台。 Beneq TFS 200 是为多用户研究环境中将可能发生的交叉污染降至最低而特别设计的。各种配置选项和升级意味着 Beneq TFS 200 将与您一起成长，以满足高标准的研发需求。
Beneq TFS 200 不仅可以在晶圆，平面物体上镀膜，还适用于粉末，颗粒，多孔的基底材料，或是有高深径比的3D物体内沉积高保形薄膜。
直接和远程等离子体沉积 (PEALD) 可作为 Beneq TFS 200 的标准选项。等离子体是电容性耦合(CCP)，这是当今的工业标准。等离子体选件可为直径200毫米的基板（面朝上或面朝下）提供直接和远程等离子体增强沉积 (PEALD) 。
循环周期小于2秒。在特定的条件下可以小于1秒。
高深径比(HAR)选项适用于通孔和多孔的基底材料。
可快速加热和冷却的冷壁真空反应腔。
安装在真空反应腔的辅助接口可实现等离子体和在线诊断等。
加载锁可用于快速更换基底材料并与其他设备集成。
1325 x 600 x 1298 mm
ALD系统尺寸
Production/R&D
应用
25 – 500 °C
温度范围
Up to 8
气体管道
原子层沉积TFS 200的工作原理介绍
原子层沉积TFS 200的使用方法?
TFS 200多少钱一台?
原子层沉积TFS 200可以检测什么？
原子层沉积TFS 200使用的注意事项？
TFS 200的说明书有吗？
原子层沉积TFS 200的操作规程有吗？
原子层沉积TFS 200报价含票含运吗？
TFS 200有现货吗？
企业名称
深圳市科时达电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
440300215081067
成立日期
2020-10-20
注册资本
100
经营范围
电子产品销售;光电子器件销售;半导体器件专用设备销售;第一类医疗器械销售;卫生用品和一次性使用医疗用品销售;国内贸易代理;技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广。(除依法须经批准的项目外,凭营业执照依法自主开展经营活动),许可经营项目是:第二类医疗器械销售;货物进出口;技术进出口。
深圳市科时达电子科技有限公司
公司地址
深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203
客服电话
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公司地址： 深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203 联系人： 林建军 邮编： 518127 联系电话： 400-860-5168转4967
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