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核心参数
产地类别： 进口
测量原理： 其它
测量范围： 见资料
精度： 见资料
探针尖半径： 见资料
探针作用力： 见资料
扫描长度： 见资料
台阶高度重复性： 见资料
垂直方向分辨率： 见资料
测量样品最大尺寸： 见资料
佳重复性与线性度
• 采用直动式检测方式
• 可避免圆弧补正误差
• 可避免Bearing间隙误差
• 台阶测定重复性：1σ 0.2nm以内,但实际可达0.1nm
• Z方向线性度为±0.25% (样品厚度> 2000A);5A (样品厚度≤2000A)
高分辨率
• 纵轴高分辨率0.1nm
• 横轴高分辨率0.1um
• X测定速度可调：5μm~2mm/s
低测定力
• 测定力在 10 ~ 500uN、 1~50mgf 可任意设定
• 可测定软质材料面，如︰COLOR FILTER、SPACER、PI…等
真直度保证-1
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台阶仪ET200A报价含票含运吗？
ET200A有现货吗？
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深圳市光明区公明街道上村社区水贝北路大新华达工业园3号厂房203
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