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特征
电阻率的非接触式测量和成像
高频涡流传感原理与集成红外温度传感器可校正样品的温度变化
信号灵敏度
基于线圈频率读数（正在申请专利）的高信号灵敏度，可实现准确可靠的电阻率测量，并具有高再现性和可重复性
测量时间
测量时间 < 3 s，测量之间时间 < 1 s
测量速度
200 mm 晶圆/晶锭 < 30 s，9个点
多点测量及测绘显示
最高9999个点
材料外形尺寸
平坦或略微弯曲的晶圆、晶锭、锭板、毛坯和薄膜
X-Y位置分辨率
≥ 0.1mm
边缘扣除
5 mm
可靠性
模块化、紧凑的台式仪器设计，可靠性高，正常运行时间 > 99%
电阻率测量的重复性
≤ 0.15%，基于使用ANOVA Gage R&R方法对材料系统分析（MSA）
用户友好且先进的操作软件
+电阻率测量配方 +分析功能包；统计、方差分析、温度校正函数和库
+导出/导入功能和原始数据访问 +远程访问；基于互联网的系统允许在世界任何地
+多级用户账户管理方进行远程操作和技术支持 +所有执行的测量概览
+绘图选项（线、十字、星、完整地图、地形、用户定义图案）
更多技术规格和配置选项
| 为自动化流程做准备 | 可用于不同的平台 |
| 测量方法符合 | SEMI MF673标准 |
| 数据及数据有效性检查 | 使用NIST标准 |
| 校准精度 | ±1% |
| 集成红外温度传感器（±0.1°） | 允许报告标准温度下的电阻率，（与样品的实际温度不同） |
| 样品厚度校准 | 对于高频信号穿透深度大于穿透深度的样品 |
| 电力要求 | 100-250 VAC, 5 A |
| 尺寸 | 465 × 550 × 600 mm |
| 软件控制 | 配备Window10或最新版本的标准PC，2个以太网端口 |
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