灵敏度:半导体材料电学缺陷分析的高灵敏度
温度范围:液氮(77k)至500k。可选:液氦(4k)或更高温度
衰减常数范围:20纳秒到几毫秒
沾污检测:电学陷阱基本性能确定:激活能和陷阱的俘获截面,受温度和注入水平影响的少子寿命参数等
重复性:> 99.5%,测量时间:< 60分钟。液氮消耗:2升/次
灵活性:从365 nm 到1480nm,根据不同材料选择不同波长激发光源
可访问性:基于IP的系统允许来自世界任何地方的远程操作和技术支持
图2.不同缺陷的评价 图3.Arrhenius曲线图
从Arrhenius斜率(图3)可以确定活化能。利用这种新型MDPpicts设备,可在20~500k范围内测量温度依赖性的瞬态光电导。Si, GaAs, InP, SiC和其他很多半导体材料已成功采用了这种方法进行研究。
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少子寿命测试仪在半导体材料检测中的应用
半导体材料少数载流子寿命不仅可以表征半导体材料的质量,还可以评价器件制造过程中的质量控制,如集成电路公司利用载流子寿命来表征工艺过程的金属沾污程度,并研究造成器件性能下降原因。 Freiberg Instruments公司长期致力于开发半导体检测技术,提供不同需求的少子寿命检测设备。
半导体
2020/07/14
企业名称
弗莱贝格仪器(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
91310000MA1GCXGD7T
成立日期
2020-04-02
注册资本
72
经营范围
弗莱贝格仪器(上海)有限公司
公司地址
上海市松江区新桥镇千帆路288弄3号602-2室
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