关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转4419
仪器信息网认证电话，请放心拨打
核心参数
产地类别： 进口
分辨率： 可实现 0.8 µm
光源波长： 405 nm
曝光面积： 130 mm x 130 mm
其它参数
光掩模光刻可以随意进行纳米图案化，而不需要 缓慢且昂贵的光掩模。 这种便利对于研究和快速 原型制作特别有用。 POLOS® Beam 在不影响 性能的情况下将其带到桌面上，从而补充了现有 的优势。
光束引擎将紫外激光束聚焦成衍射限制点，并扫描该点以曝光光刻胶上的任意图案。为了曝光大的晶圆片，精密步进机移动晶圆片，并允许多次曝光缝合。Beam Engine能够在5”晶圆上产生小于（CD）0.8 µm的特征。
小巧的
全功能无掩模光刻，比台式电脑还小。
强大的
亚微米分辨率，同时在不到两秒的时间内暴露写入字段。
超快自动对焦
压电致动器与我们的闭环聚焦光学器件相结合，可在不到一秒的时间内达到聚焦。
隐秘多层
半自动准直可在几分钟内完成多层准直。
0.8 µm 锥形中间部分，侧面有 20 x 90 µm 接触垫。 使用的光刻胶：AZ5214E。
硅基板上的抗蚀剂微图案阵列。 每个单元尺寸为 50 x 63 µm，相邻图案之间的间距为 3 µm。 使用 AZ 5214 E 抗蚀剂
开环谐振器阵列。 右侧的间隔距离为 1.5 µm（箭头），左侧的间隔距离为 2 µm。 外环直径为 80 µm
具有 2 µm 手指的叉指电容器 (IDC)。 使用的光刻胶：AZ5214E
附带的软件可以快速完成任何图案工作； 只需加载、对齐和曝光即可。导航类似于数控系统。在多层曝光期间，GDS 图案会叠加以实现可视化。 控制 GUI（左侧窗口）具有已加载 GDS 的小地图，只需单击 1 次即可导航到晶圆上的任何区域
SPS-保罗激光直写光刻机BEAM的工作原理介绍
激光直写光刻机BEAM的使用方法?
SPS-保罗BEAM多少钱一台?
激光直写光刻机BEAM可以检测什么？
激光直写光刻机BEAM使用的注意事项？
SPS-保罗BEAM的说明书有吗？
SPS-保罗激光直写光刻机BEAM的操作规程有吗？
SPS-保罗激光直写光刻机BEAM报价含票含运吗？
SPS-保罗BEAM有现货吗？
更多
企业名称
上海迹亚国际商贸有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310141400044397
成立日期
2016-03-14
注册资本
100
经营范围
食品流通(凭许可证经营)、医疗器械、实验室试剂(药品、危险品除外)、实验室设备、环保设备、水处理设备、空调、仪器仪表、健身器材、化妆品、电子产品、办公用品的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外),并提供相关配套服务(不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的,按国家有关规定办理申请),健康信息咨询(诊疗、治疗、心理咨询除外)、商务信息咨询(金融信息除外)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海迹亚国际商贸有限公司
公司地址
上海市闵行区七莘路1839号财富108广场南楼2705室
客服电话
公司名称： 上海迹亚国际商贸有限公司
公司地址： 上海市闵行区七莘路1839号财富108广场南楼2705室 联系人： 翁莉娟 邮编： 201203 联系电话： 400-860-5168转4419
仪器信息网APP
展位手机站