关注
已关注
已认证
粉丝量 0
400-860-5168转4419
仪器信息网认证电话，请放心拨打
核心参数
仪器种类： 其他
产地类别： 进口
应用领域： 微电子学
基片尺寸： 15
靶材： 多晶硅，纯度99.999%
基片温度范围： 478.15K
成膜厚度均匀性： 1.5
极限真空： 1-100
产品概述
凭借其可配置的大容量腔室，手动加载的EcoCoat硅烷气相沉积系统旨在满足您的工艺开发和批量生产要求。 三条独立的蒸汽输送管线，出色的热均匀性和原位气体等离子体为系统提供了工艺灵活性，同时为晶圆，载玻片或热塑性表面保持了优异的硅烷单层沉积均匀性。
•表面改性以促进/防止粘附
•用于NIL，MEMS，AR/VR的防粘膜
•生物分子与玻璃，塑料或硅的共价键合
•等离子清洁和活化表面，控制疏水性
灵活的化学蒸汽输送系统可与多种有机硅烷兼容。 可以使用小型测试瓶或大型安瓿瓶，从而实现从研究到低成本的大批量生产的过渡。 三个独立的蒸汽输送管线可容纳多种前体或水，以实现表面水合，从而实现最佳的硅烷与底物的结合。 集成的等离子体功能通过三个独立的MFC控制的过程气体输入来实现。 灵活的腔室搁板/电极允许从晶片（200/300 mm）到载玻片和3D热塑设备使用各种各样的基板形状因子。
技术参数
射频等离子体频率/功率：40 kHz，100-1000瓦
工作温度：环境温度205°C
温度均匀度：稳定后±1.5％
腔室压力控制：100 mT-100 T
化学用量：0.1 – 3.0 mL（典型过程）
化学分配量：增加0.1 mL
化学物数量：最多三种
排气量：平均10 SCF运行
箱体材质：316L不锈钢
腔室尺寸：40.6厘米（宽）x 46厘米（深）x 40.6厘米（高）（16“ x 18” x 16“）
系统整体尺寸：116厘米（宽）x 98.4厘米（深）x 112.73厘米（高）（46英寸x 38.75英寸x 44.38英寸）灯塔增加了30厘米
装载：12个可移动的不锈钢架子可实现灵活的基板装载和多种等离子体操作模式，包括有源，下游，RIE和离子阱
晶圆容量：8盒100毫米-150毫米晶圆/ 2盒200毫米晶圆/ 1盒300毫米晶圆
滑轨容量：使用定制机架最多可容纳2,000个
蒸汽输送线：三条，具有独立的过程和温度控制
耶斯物理气相沉积YES-EcoCoat的工作原理介绍
物理气相沉积YES-EcoCoat的使用方法?
耶斯YES-EcoCoat多少钱一台?
物理气相沉积YES-EcoCoat可以检测什么？
物理气相沉积YES-EcoCoat使用的注意事项？
耶斯YES-EcoCoat的说明书有吗？
耶斯物理气相沉积YES-EcoCoat的操作规程有吗？
耶斯物理气相沉积YES-EcoCoat报价含票含运吗？
耶斯YES-EcoCoat有现货吗？
更多
更多
Yield Engineering Systems-HMDS VAPOR PRIME 工艺应用说明
自 70 年代初以来，旋转分配的 HMDS 底漆已被用于提高光刻胶对基材的附着力。 目前，HMDS 气相底漆已成为一种成熟且广泛使用的光刻胶涂层技术。 由于减少了化学品消耗，并且经过处理的表面在数周内保持化学稳定性，因此蒸汽底漆更安全、更便宜。 在这篇综述论文中，我们讨论了蒸汽灌注程序的各个方面； 旋涂、轨道分配HMDS 程序与 YES -HMDS Vapor Prime Oven 系统之间的比较结果。 我们还提供了一个统计设计实验 (DOE) 的示例，用于优化特定应用的过程参数，并总结了在德克萨斯大学达拉斯分校进行的统计设计实验 (DOE) 的结果。 介绍
电子/电气
2021/12/14
企业名称
上海迹亚国际商贸有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310141400044397
成立日期
2016-03-14
注册资本
100
经营范围
食品流通(凭许可证经营)、医疗器械、实验室试剂(药品、危险品除外)、实验室设备、环保设备、水处理设备、空调、仪器仪表、健身器材、化妆品、电子产品、办公用品的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外),并提供相关配套服务(不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的,按国家有关规定办理申请),健康信息咨询(诊疗、治疗、心理咨询除外)、商务信息咨询(金融信息除外)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海迹亚国际商贸有限公司
公司地址
上海市闵行区七莘路1839号财富108广场南楼2705室
客服电话
公司名称： 上海迹亚国际商贸有限公司
公司地址： 上海市闵行区七莘路1839号财富108广场南楼2705室 联系人： 翁莉娟 邮编： 201203 联系电话： 400-860-5168转4419
仪器信息网APP
展位手机站