YES TA系列真空固化/蒸气底漆系统使用六甲基二硅氮烷(HMDS)提供快速,均匀,经济的底漆,以改善光刻胶的附着力。 这些多功能系统还支持图像反转,以与正性抗蚀剂相同的分辨率和易用性形成负性图像。
有效的光致抗蚀剂附着力构成所有后续处理步骤的基础,并且只有完全上底漆的表面才能准确地复制亚微米CD,而不会出现底切或边缘不整齐的情况。 TA系统的真空固化可彻底使基材脱水,从而使HMDS层具有出色的粘合力,即使暴露在大气中数周后仍保持稳定。
真空固化/蒸汽灌注与湿灌注:
•化学沉积的均匀性
•接触角在±3度以内
•防潮表面改性
•流程步骤之间的可用时间增加
•增强的光刻胶附着力
•与湿底漆相比,化学消耗量和化学成本更低
除了硅晶片处理之外,TA系列还可以用于砷化镓,铌酸锂和其他奇特材料的低温HMDS底涂。
TA系列的优点:
•N 2预热可防止箱体冷却。
•过滤机制减少了颗粒物的引入。
•电涌抑制系统可在盒带装入期间限制湍流。
•先进的控制系统提供用户可选的温度,处理时间和腔室尺寸。
•在引入HMDS之前,为了安全起见,四个真空循环清除了O 2。
58TA 规格 硬件 310TA 规格 硬件
洁净室兼容性:10级
晶圆尺寸:最大300mm
容量:12个100mm晶圆盒-8个125mm或150mm晶圆盒-2个200mm晶圆盒-1个300mm晶圆盒。图像反转过程通常将纸盒容量降低?。
批处理吞吐量:2次/小时真空烘烤/蒸汽灌注— 1次/小时图像反转
温度:环境温度180°C
内部腔室尺寸:40.64 CM(宽)X 45.72 CM(D)X 40.64 CM(H)—(16” x 18” x 16”)
系统整体尺寸:73.5厘米(宽)x 62.56厘米(深)x 88.27厘米(高)—(28.94“ x 24.63” x 34.75“)
箱体材质:316L不锈钢,铝门板
工艺气体输入:1 N2排气,1氨气,1个蒸气瓶
清洁度:每150 mm晶片<5 x 1微米颗粒
耗氮量:每个过程16 SCF
软件
配方数:8个工艺配方
曝光时间范围:0-999999秒
定时器设定分辨率:1秒
性能
温度均匀度:稳定后±5°C
配件
电源要求:188-253VAC,50 / 60Hz,10 amps
洁净室相容性:Class 10
晶圆尺寸:最大200mm
容量:8个100mm晶片盒– 2个125mm晶片盒– 2个150mm晶片盒– 1个200mm晶片盒。图像反转过程通常将其 容量减少?。
批处理吞吐量:2次/小时真空烘烤/蒸汽灌注— 1次/小时图像反转
温度:环境温度160°C
内部腔室尺寸:30.48厘米(宽)x 33.66厘米(深)x 30.48厘米(高)—(12“ x 13.25” x 12“)
系统整体尺寸:63.195厘米(宽)x 50.17厘米(深)x 77.29厘米(高)—(24.88“ x 19.75” x 30.43“)
箱体材质:316L不锈钢,铝门板
工艺气体输入:1 N2排气,1氨气,1个蒸气瓶
清洁度:每150 mm晶片<5 x 1微米颗粒
氮消耗量:每个过程7 SCF
软件
配方数:8个工艺配方
曝光时间范围:0-999999秒
定时器设置分辨率:1秒
性能
温度均匀度:稳定后±5°C
配件
电源要求:188-253VAC,50 / 60Hz,10 amps
耶斯外延系统YES TA Series的工作原理介绍
外延系统YES TA Series的使用方法?
耶斯YES TA Series多少钱一台?
外延系统YES TA Series可以检测什么?
外延系统YES TA Series使用的注意事项?
耶斯YES TA Series的说明书有吗?
耶斯外延系统YES TA Series的操作规程有吗?
耶斯外延系统YES TA Series报价含票含运吗?
耶斯YES TA Series有现货吗?
更多
更多
Yield Engineering Systems-HMDS VAPOR PRIME 工艺应用说明
自 70 年代初以来,旋转分配的 HMDS 底漆已被用于提高光刻胶对基材的附着力。 目前,HMDS 气相底漆已成为一种成熟且广泛使用的光刻胶涂层技术。 由于减少了化学品消耗,并且经过处理的表面在数周内保持化学稳定性,因此蒸汽底漆更安全、更便宜。 在这篇综述论文中,我们讨论了蒸汽灌注程序的各个方面; 旋涂、轨道分配HMDS 程序与 YES -HMDS Vapor Prime Oven 系统之间的比较结果。 我们还提供了一个统计设计实验 (DOE) 的示例,用于优化特定应用的过程参数,并总结了在德克萨斯大学达拉斯分校进行的统计设计实验 (DOE) 的结果。 介绍
电子/电气
2021/12/14
企业名称
上海迹亚国际商贸有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310141400044397
成立日期
2016-03-14
注册资本
100
经营范围
食品流通(凭许可证经营)、医疗器械、实验室试剂(药品、危险品除外)、实验室设备、环保设备、水处理设备、空调、仪器仪表、健身器材、化妆品、电子产品、办公用品的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外),并提供相关配套服务(不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的,按国家有关规定办理申请),健康信息咨询(诊疗、治疗、心理咨询除外)、商务信息咨询(金融信息除外)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海迹亚国际商贸有限公司
公司地址
上海市闵行区七莘路1839号财富108广场南楼2705室
客服电话