真空固化的优势
•更快的流程:3.5小时vs 8个小时以上
•层流减少/消除了颗粒
•更彻底的固化(排气量减少5倍)
•减少膜应力,降低晶片翘曲
•功耗和N2消耗减少1.6到2倍
•大大降低了资本成本,降低了2-3倍的运营成本
PB8: 最多2个200mm晶圆盒
PB12: 最多2个300mm晶圆盒
硬件
洁净室相容性:10级
箱体清洁度:1级
晶圆尺寸:最大200mm
容量:每批最多可容纳50个8英寸晶圆(两个25个晶圆盒)
工作温度:环境温度450°C
氮气流量:1 SCFM
耗氮量:15-25升/分钟。
内腔尺寸:36.62厘米(内径)x 66.52厘米(深)—(14.42“ x 26.19”)
腔室处理面积:23.95厘米(宽)x45.97厘米(深)x24.69厘米(高)—(9.43“ x
18.10”x 9.72“)
系统整体尺寸:68.96厘米(宽)x145.92厘米(深)x 77.87厘米(高)—(27.15“
x 57.45”x 30.64“)
控制台尺寸:59.44厘米(宽)x 96.01厘米(深)x 23.62厘米(高)—(23.4“ x
37.8”x 9.3“)
箱体材质:316L不锈钢
工艺气体输入:1个标准,最多3个可选
质量流量控制器:可选–最多3个用于气体混合
层流过滤器:100微米Mott™板式过滤器
清洁度:减少大多数应用中的颗粒
软件
配方数:8种温度曲线
每个配方的步数:16个程序步
分段时间范围:0-99小时
定时器设定分辨率:1分钟
性能
温度均匀性:所有温度点稳定15分钟后,在保压期间保持±5°C
平均升温速度(150°C-450°C):5°C / min。 空箱负荷
平均冷却速度(450°C-150°C):4°C / min。 空箱负荷
氧气浓度:本底超过10 ppm
配件
电源要求:208V,40 A,50/60 Hz,3相
重量(约):575磅(261公斤)
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企业名称
上海迹亚国际商贸有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310141400044397
成立日期
2016-03-14
注册资本
100
经营范围
食品流通(凭许可证经营)、医疗器械、实验室试剂(药品、危险品除外)、实验室设备、环保设备、水处理设备、空调、仪器仪表、健身器材、化妆品、电子产品、办公用品的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外),并提供相关配套服务(不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的,按国家有关规定办理申请),健康信息咨询(诊疗、治疗、心理咨询除外)、商务信息咨询(金融信息除外)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海迹亚国际商贸有限公司
公司地址
上海市闵行区七莘路1839号财富108广场南楼2705室
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