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核心参数
产地类别： 进口
Lumina-200独立式高分辨率光刻/对准器。 Lumina系列为电子，光电，MEMS和许多其他应用中的高分辨率，精确对准，接触和接近光刻提供了高质量，可靠且经济高效的解决方案。 它具有易于使用的界面，高精度的载物台，高性能的光学元件和较小的占地面积。
主要特点
高分辨率光刻
高精度对准平台
最先进的对准光学
精确的间隙控制
用户友好的PC控制
占地面积小
具有成本效益的设计
背面对齐可选
应用领域：半导体器件 *微机电系统 *光电子学 *高级包装 *电力设备
技术参数
手册X-Y-? 带称重传感器的电动Z 移动范围： X和Y：1英寸 ?：10度 Z：0.25英寸 掩膜加载能力 5”口罩标准 其他尺寸可选 基板装载能力 4”标准 其他尺寸可选 对准 模式：接近、柔和、硬 对准光学 分割栏 5倍物镜，1到7倍变焦 2个独立的手动X，Y，Z显微镜移动 精细粗调 通过CCD相机成像 曝光系统 紫外线：汞灯，带有可选的G线或I线过滤器 紫外线灯功率：500瓦 紫外线均匀照射 电动紫外线灯移动 具有Microsoft Windows的基于PC的控制计算机 用户友好的控制软件 PC控制的CCD视频 紫外线灯曝光由电脑控制 占地面积：31英寸乘44英寸（780毫米乘1110毫米）
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企业名称
上海迹亚国际商贸有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
310141400044397
成立日期
2016-03-14
注册资本
100
经营范围
食品流通(凭许可证经营)、医疗器械、实验室试剂(药品、危险品除外)、实验室设备、环保设备、水处理设备、空调、仪器仪表、健身器材、化妆品、电子产品、办公用品的批发、进出口、佣金代理(拍卖除外),并提供相关配套服务(不涉及国营贸易管理商品,涉及配额、许可证管理商品的,按国家有关规定办理申请),健康信息咨询(诊疗、治疗、心理咨询除外)、商务信息咨询(金融信息除外)。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
上海迹亚国际商贸有限公司
公司地址
上海市闵行区七莘路1839号财富108广场南楼2705室
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公司名称： 上海迹亚国际商贸有限公司
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